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公开(公告)号：CN108761128B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201811031507.8
申请日：2018-09-05
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本发明的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。
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公开(公告)号：CN103115630B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310032828.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本发明的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。
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公开(公告)号：CN115876831A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211662502.1
申请日：2022-12-23
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种热形变解耦的MEMS微应力放大表征结构及传感装置，该MEMS微应力放大表征结构包括外框、用于测量所述外框上的应力的微应力测量结构以及用于测量热形变应力的第一热形变解耦结构；第一热形变解耦结构包括相互交叉设置的第一梳指电极以及第二梳指电极，通过第一梳指电极和第二梳指电极能够测量出外框所受应力的热形变应力分量，只需要在微应力测量结构测得的应力值中减去热形变应力分量的干扰，即可得到准确的应力值；也就是说，采用本申请的MEMS微应力放大表征结构，能够降低温度变化以及热膨胀、热收缩对待测应力的影响，具有更高的测量精度。
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公开(公告)号：CN109323711B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201811471847.2
申请日：2018-12-04
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统。该方法包括：采用虚拟激励法对目标陀螺仪、参考陀螺仪的刻度因子进行校准，得到校准后的目标陀螺仪和参考陀螺仪；获取校准后的目标陀螺仪处于正常工作状态时和处于模态反转态时输出的角速率信号；利用零偏估计算法对在两种模态下得到的测量值进行处理，得到零偏估计值；利用零偏估计值对校准后的目标陀螺仪输出的信号进行校准，得到零偏校准值；依据零偏校准值和参考陀螺仪处于正常工作状态时输出的角速率信号确定目标陀螺仪零位自校正后的输出信号。本发明能够同时实现非对称表芯结构的MEMS陀螺仪刻度因子与零偏的实时自校准，校正精度高，泛化能力强，环境适应性好，易于加工，便于实现。
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公开(公告)号：CN108761128A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201811031507.8
申请日：2018-09-05
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
Abstract: 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所述中间极板构成第一电容，所述下极板与所述中间极板构成第二电容，所述第一电容与所述第二电容构成一对差分电容；所述振动台包括反馈层和振动层，所述反馈层位于所述下极板下侧，所述振动层位于所述反馈层下侧；所述反馈层表面引出反馈输出正电极和反馈输出负电极，所述振动层表面引出驱动正电极和驱动负电极。采用本发明的表芯和加速度计能够实现对振动层振动幅度的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109323711A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811471847.2
申请日：2018-12-04
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5649 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种陀螺仪模态反转零位自校正方法及系统。该方法包括：采用虚拟激励法对目标陀螺仪、参考陀螺仪的刻度因子进行校准，得到校准后的目标陀螺仪和参考陀螺仪；获取校准后的目标陀螺仪处于正常工作状态时和处于模态反转态时输出的角速率信号；利用零偏估计算法对在两种模态下得到的测量值进行处理，得到零偏估计值；利用零偏估计值对校准后的目标陀螺仪输出的信号进行校准，得到零偏校准值；依据零偏校准值和参考陀螺仪处于正常工作状态时输出的角速率信号确定目标陀螺仪零位自校正后的输出信号。本发明能够同时实现非对称表芯结构的MEMS陀螺仪刻度因子与零偏的实时自校准，校正精度高，泛化能力强，环境适应性好，易于加工，便于实现。
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公开(公告)号：CN102829800B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201210312072.0
申请日：2012-08-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种手持式微机械陀螺测试仪，所述的由显示面板、调节旋钮、处理器、ADC芯片、供电模块、串口、总线接口构成的主机；由芯片插座、驱动检测电路、管脚配置电路、总线接口构成的测试电路板和由电力线、驱动检测电路控制线、管脚配置电路控制线、信号线构成的总线电缆组成。通过总线电缆将驱动检测模块与主机相连接。通过24V电源或自备电池组进行供电，进行自主扫频测试、驱动直流偏置电压扫描测试，特性曲线绘制，通过串口将数据传送至PC机进行后期分析。手持式微机械陀螺测试仪具有小批量并行测试功能，适合科研、小批量生产中微机械陀螺芯片的性能检测，或其它需要灵活、便携地测试微机械陀螺芯片的场合。
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公开(公告)号：CN102829800A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210312072.0
申请日：2012-08-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种手持式微机械陀螺测试仪，所述的由显示面板、调节旋钮、处理器、ADC芯片、供电模块、串口、总线接口构成的主机；由芯片插座、驱动检测电路、管脚配置电路、总线接口构成的测试电路板和由电力线、驱动检测电路控制线、管脚配置电路控制线、信号线构成的总线电缆组成。通过总线电缆将驱动检测模块与主机相连接。通过24V电源或自备电池组进行供电，进行自主扫频测试、驱动直流偏置电压扫描测试，特性曲线绘制，通过串口将数据传送至PC机进行后期分析。手持式微机械陀螺测试仪具有小批量并行测试功能，适合科研、小批量生产中微机械陀螺芯片的性能检测，或其它需要灵活、便携地测试微机械陀螺芯片的场合。
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公开(公告)号：CN103115630A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310032828.0
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本发明的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。
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公开(公告)号：CN203053456U
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201320046536.8
申请日：2013-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本实用新型提供了一种批量微机械陀螺测试装置，所述测试装置包括上下两层圆台、数根圆柱形支撑柱、圆柱空腔、电路板。上层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条，下层圆台包括数根“F”形测试电路板固定条以及安装锚点。圆柱空腔包括上下两个半空腔，其顶面和侧面分别设有通道开关、电源接口、主串口、主CAN总线接口、主模拟信号接口。电路板包括数块测试电路板和一块主电路板。测试电路板固定在上下两层圆台“F”形固定条上，上下两层圆台通过数根圆柱形支撑柱连接，圆柱空腔嵌入双层圆台中央通孔中，主电路板置于圆柱空腔内部。本实用新型的批量微机械陀螺测试装置适用于小批量测试微机械陀螺，适合小批量微机械陀螺生产中的性能测试和筛选场合。
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