防雷压电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106872726A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710009381.3

    申请日:2017-01-06

    CPC classification number: G01P15/09 G01P1/023

    Abstract: 本发明公开了一种防雷压电式加速度传感器,包括传感器子组件、陶瓷外壳、底座,传感器子组件采用不锈钢材质全封闭结构,底座与传感器子组件之间用陶瓷外壳隔离,传感器子组件与陶瓷外壳之间填充结构胶固定,陶瓷外壳与底座之间填充结构胶固定。本发明的优越性是:1、结构简单,安装方便;2、价格经济;3、具有共模防浪涌±8kV等级。

    位置检测设备
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106546201A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:CN201610819882.3

    申请日:2016-09-13

    Inventor: S.施密特

    Abstract: 本发明涉及一种位置检测设备(100)以及这种位置检测设备(100)的应用,该位置检测设备具有位置固定的构件(105)、相对于其可运动的构件(150)和运动参数传感器,其中,位置检测设备(100)被设计用于检测运动参数传感器的信号,并由此求取可运动的构件(150)相对于位置固定的构件(105)的至少一个第一运动参数,其中,设有相对于可运动的构件(150)位置固定地设置的加速度传感器(180),其中,位置检测设备100)被设计用于检测加速度传感器(180)的信号,并且由此求取至少一个第二运动参数。

    一种使用纳米钛酸钡陶瓷制备的压电式加速度传感器

    公开(公告)号:CN106083035A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610458933.4

    申请日:2016-06-22

    Applicant: 刘和来

    Inventor: 刘和来

    CPC classification number: C04B35/468 C04B35/64 G01P15/09

    Abstract: 一种使用纳米钛酸钡陶瓷制备的压电式加速度传感器,其包括外壳、容置于外壳中的预压弹簧、质量块、由纳米钛酸钡陶瓷制造的压电元件,以及螺栓,基座,其中,所述纳米钛酸钡陶瓷制造的压电元件的上下表面形成有电极,通过检测压电元件受力时产生的电压或电流来检测加速度,其中所述纳米钛酸钡陶瓷通过独特的分段退火程序使得其具有较高的致密度和较低的漏电流。

    微压电加速度传感器芯片及其制作方法

    公开(公告)号:CN105540527A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510919806.5

    申请日:2015-12-10

    Inventor: 田边 刘汉月 杨宁

    CPC classification number: B81B3/0021 B81C1/0015 G01P15/09

    Abstract: 本发明公开了一种微压电加速度传感器芯片及其制作方法,芯片由一对敏感梁与一对补充梁共同支撑悬空质量块并使其悬空,质量块与敏感梁、补充梁及边框间有一定距离,使其保证质量块振动时不影响敏感梁及补充梁的运动,充分利用空间,增加质量块质量,从而增加了结构的灵敏度,敏感梁上布置了压电薄膜,压电薄膜的上下表面都布置有上下电极,其中芯片的制作方法是通过干法刻蚀以及光刻得到硅基底中的由悬空质量块、敏感梁和补充梁组成的可动结构,正面光刻并溅射形成芯片的上下电极,在硅质基底的背面粘结硼玻璃,硼玻璃与悬空质量块预留有一工作间隙,最后得到芯片,该芯片能够满足高灵敏度、低侧向效应的要求。

    力传感器及其可靠性测试方法

    公开(公告)号:CN103674400A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310385341.0

    申请日:2013-08-30

    Abstract: 本发明涉及一种力传感器及其可靠性测试方法,包括:具有在操作上连接至测量对象(9)的生成作用于测量对象(9)上的力的测量信号的测量元件(15,74)的换能器(8,73),彼此独立地传输所述测量信号的相应信号的两个传输通道(4,5,104,105)。为了更容易生产力传感器和/或提供力传感器改进的操作特性,将所述传输通道(4,5,104,105)并行连接至同一换能器(8,73),所传输的信号能够在每个传输通道的输出处验证。在一种测量方法中,测试信号在其内注入了所述测试信号的传输通道(4,5,104,105)内以及在其内尚未注入测试信号的另一传输通道内被评价。在另一种测试方法中,比较所传输的信号,比较的结果被用来评估所传输信号的正确性。

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