公开(公告)号：CN108075740A

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：CN201711143853.0

申请日：2017-11-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 尹湘基 ,  朴炯哉 ,  朴南洙 ,  金钟云 ,  李文喆

IPC: H03H3/007 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17

CPC classification number: H03H9/17 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/081 ,  H01L41/18 ,  H01L41/29 ,  H01L41/35 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02118 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/13 ,  H03H9/173 ,  H03H2003/021

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板，所述基板上设置有基板保护层；膜层，与所述基板一起形成腔；及谐振部，设置在所述膜层上。所述腔通过使用通过混合卤化物基气体和氧气而获得的混合气体去除牺牲层形成，并且在形成所述腔后，所述膜层和所述基板保护层中的至少一者具有170或更小的厚度差。

公开(公告)号：CN104078560B

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201410048610.9

申请日：2014-02-11

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 末永和史 ,  柴田宪治 ,  渡边和俊 ,  堀切文正 ,  野口将希

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H01L41/053

CPC classification number: H01L41/0805 ,  H01L41/081 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明提供一种压电体薄膜层叠基板，其使用非铅系压电体，可获得具有高的压电特性并且每个元件的压电特性的偏差小的压电体薄膜元件。本发明的压电体薄膜层叠基板的特征在于，是在基板上至少依次层叠有密合层、下部电极层和非铅系压电体薄膜层的压电体薄膜层叠基板，前述非铅系压电体薄膜层由铌酸锂钾钠(组成式(NaxKyLiz)NbO3，0＜x＜1、0＜y＜1、0≤z≤1、x＋y＋z=1)形成，前述基板的与前述密合层对置的面的表面粗糙度按最大高度Rz计为2nm以下，前述密合层由第4族元素的非晶质氧化物或者第5族元素的非晶质氧化物形成，其厚度为1nm以上2nm以下且为前述基板表面的最大高度Rz以上。

公开(公告)号：CN105814794A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480066958.9

申请日：2014-12-19

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 山根毅 ,  岩本英树 ,  冈田圭司 ,  木户俊介 ,  太田川真则 ,  初田一平 ,  伊藤是清

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

CPC classification number: H03H9/6496 ,  H01L41/047 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/081 ,  H01L41/18 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/14532 ,  H03H9/14576 ,  H03H9/14579 ,  H03H9/14594

Abstract: 提供能有效果地抑制横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜上层叠IDT电极(11～14)，IDT电极(11)具有多条第1电极指(11c)、多条第2电极指(11d)，将第1电极指(11c)的前端彼此或第2电极指(11d)的前端彼此连结的线相对于弹性波传播方向倾斜，成倾斜角度(v)，该倾斜角度(v)为0.4°以上、10°以下。

公开(公告)号：CN105409119A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201480041519.2

申请日：2014-06-09

Applicant: 日本碍子株式会社 ,  NGK陶瓷设备株式会社

Inventor： 多井知义 ,  堀裕二 ,  山寺乔纮 ,  服部良祐 ,  铃木健吾

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08

CPC classification number: H01L41/081 ,  H01L41/277 ,  H01L41/312 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02834

Abstract: 复合基板10是通过使用离子束的直接接合将压电基板12和支撑基板14接合而形成的。压电基板12的一面为负极化面12a，另一面为正极化面12b。用强酸蚀刻的速率是负极化面12a大于正极化面12b。压电基板12以正极化面12b与支撑基板14直接接合，正极化面12b在表面露出。另外，压电基板12的负极化面12a被强酸蚀刻。支撑基板14由用强酸蚀刻时的速率比压电基板12的负极化面12a大的材质制作。

公开(公告)号：CN103443946B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201380000872.1

申请日：2013-02-28

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 张替贵圣 ,  田中良明 ,  足立秀明 ,  藤井映志

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G01C19/5607 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/39

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5769 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/081 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高的结晶取向性和高的强介电特性的NBT-BT无铅压电体膜。本发明的压电体膜具备NaxM1-x层和（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层。（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层形成在NaxM1-x层上，M表示Pt、Ir或PtIr，x表示0.002以上0.02以下的值，NaxM1-x层和（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层均仅具有（001）取向、仅具有（110）取向或仅具有（111）取向。

公开(公告)号：CN103745915A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201310721032.6

申请日：2013-12-24

Applicant: 上海新傲科技股份有限公司

Inventor： 魏星 ,  母志强 ,  薛忠营 ,  狄增峰 ,  方子韦

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L41/39 ,  H01L41/081

Abstract: 本发明提供了一种应变层的生长方法以及带有应变层的衬底。所述方法包括如下步骤：提供衬底，所述衬底包括支撑层，支撑层表面的埋层以及埋层表面的顶层半导体层；在顶层半导体层中形成贯通的腐蚀窗口；在顶层半导体层的腐蚀窗口处形成桥接条，所述桥接条包括上电极层、下电极层以及压电材料层；通过腐蚀窗口腐蚀埋层，以使桥接条和部分的顶层半导体层悬空；在所述上电极层和下电极层之间施加电压，使所述压电材料层发生形变，从而使悬空的顶层半导体层发生应变。本发明的优点在于，利用了压电材料的逆压电现象，即外加电场会在压电材料中引入明显的尺寸改变的特性，通过桥接条引入足够的应变力，是一种低成本而高效的方法。

公开(公告)号：CN102648862A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210048313.5

申请日：2012-02-28

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 平林恭稔 ,  藤井隆满

IPC: A61B17/00

CPC classification number: A61B17/320036 ,  A61B17/2202 ,  A61B2017/00526 ,  H01L41/081 ,  H01L41/25 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42

Abstract: 提供了一种可以达到高振动速度的共振换能器、制造共振换能器的方法和包括所述共振换能器的超声处置工具。具体地，提供了一种共振换能器，其包括：振动板；以及压电元件，该压电元件包括层压在振动板上的压电膜和上电极，其中，压电膜被施加有压缩应力，并且提供了一种制造共振换能器的方法和包括共振换能器的超声处置工具。优选地，施加至压电膜的内应力为等于大于100MPa的压缩应力。

公开(公告)号：CN108209964A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711270184.3

申请日：2017-12-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山田昌佳

IPC: A61B8/00

CPC classification number: A61B8/4427 ,  A61B8/4281 ,  A61B8/4488 ,  A61B8/4494 ,  A61B8/461 ,  A61B8/52 ,  B06B1/0622 ,  B06B1/0629 ,  G10K11/02 ,  G10K11/30 ,  H01L41/081 ,  H01L41/332 ,  A61B8/4444

Abstract: 本申请公开了一种超声波探头，具备：声学透镜，位于超声波元件射出的超声波的射出方向上，并且在与所述射出方向交叉的方向上具有端面；以及树脂部，在将所述声学透镜的端面设为声学透镜端面的情况下与所述声学透镜端面对置，并且包含填料以及树脂。

公开(公告)号：CN104272482B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201380023215.9

申请日：2013-04-30

Applicant: 法国圣戈班玻璃厂

Inventor： C.莱德尔 ,  V.莫罗 ,  J.鲁赫曼-埃波塞斯特恩丘斯 ,  孙佳玫 ,  M.皮东 ,  D.拉明 ,  A.韦尔热

IPC: H01L41/08 ,  G10K11/18 ,  B32B17/10

CPC classification number: G02B27/0006 ,  H01L41/081

Abstract: 本发明涉及一种透明衬底（1），其在其至少一面上包括至少一个透明压电元件，每个压电元件位于第一和第二透明电极之间，并且每个压电元件（5）以及第一和第二透明电极是以层的形式，以使得形成至少一个透明压电换能器。本发明提出了一种透明衬底，其包括至少一个压电元件，所述压电元件不妨碍穿过包括所述透明衬底的装配玻璃的视野并且使得能够精确地控制透明衬底的振动。

公开(公告)号：CN106313895A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610494817.8

申请日：2016-06-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高部本规 ,  矢崎士郎 ,  福泽祐马 ,  平井荣树

IPC: B41J2/045

CPC classification number: B41J2/14274 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/11 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/081 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0838 ,  H01L41/09 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/332 ,  B41J2/0453 ,  B41J2/04581

Abstract: 本发明提供一种能够缓和能动部的端部处的应力的压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置。通过对作为空室的压力室(22)进行划分的压力室形成基板(20)、和被接合于该压力室形成基板上的连通基板(14)而构成了空室部件。以在压力室形成基板的一个面上在与压力室之间夹着可挠面(21)的方式而设置有压电元件(26)。通过利用连通基板(14)来封堵压力室形成基板的凹部(34)从而划分形成空部(35)。该空部(35)被形成于，在俯视观察时与压电元件的能动部的两端(E)重叠的位置处。