角速度传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105628011B

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201510784514.5

    申请日:2015-11-16

    Abstract: 提供一种角速度传感器,所述角速度传感器包括:第一框架内的第一质量体和第二质量体;第一柔性连接器系统,将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架,并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器;第二柔性连接器系统,将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架,并包括驱动器,以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动,从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移,并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。

    角速度传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105628011A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201510784514.5

    申请日:2015-11-16

    Abstract: 提供一种角速度传感器,所述角速度传感器包括:第一框架内的第一质量体和第二质量体;第一柔性连接器系统,将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架,并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器;第二柔性连接器系统,将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架,并包括驱动器,以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动,从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移,并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。

    体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法

    公开(公告)号:CN108736856B

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN201810030542.1

    申请日:2018-01-12

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法。所述体声波谐振器包括:基板,包括腔槽;膜层,设置在所述基板的上方并包括凸起部。下电极的一部分设置在所述凸起部上。所述体声波谐振器还包括压电层和上电极,所述压电层被构造为使得所述压电层一部分设置在所述凸起部之上,所述上电极设置在所述压电层上。通过所述腔槽形成的第一空间以及通过所述凸起部形成的第二空间形成腔,所述腔槽设置在有效区域之下,所述凸起部包括设置在所述腔槽的外部的倾斜表面。

Patent Agency Ranking