角速度传感器
摘要:
提供一种角速度传感器,所述角速度传感器包括:第一框架内的第一质量体和第二质量体;第一柔性连接器系统,将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架,并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器;第二柔性连接器系统,将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架,并包括驱动器,以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动,从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移,并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。
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