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公开(公告)号：CN115507830B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202211143552.9
申请日：2022-09-20
Applicant: 苏州市职业大学
Inventor： 卜峰
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776 , G05B11/42
Abstract: 本发明公开了一种微机械陀螺仪的控制方法、系统、装置及存储介质，涉及微机械陀螺仪控制领域，首先获取由信号拾取电路将陀螺检测电极的电容变化量转换为电信号并通过载波解调器将电信号解调后得到的振动位移电信号，分别利用基波和谐波对振动位移电信号进行解调得到基波幅度和谐波幅度，利用谐波幅度除以基波幅度的商作为谐波基波幅度比从而能够消除信号拾取电路的增益的影响，进而使得利用谐波基波幅度比与参考幅度值生成激励信号的方式能够不受外界环境及信号拾取电路的电路结构的影响，从而保证对微机械陀螺仪的振动位移的控制的高稳定性。
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公开(公告)号：CN119030547B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411495502.6
申请日：2024-10-25
Applicant: 华芯拓远(天津)科技有限公司
Abstract: 本发明提供具备正交误差补偿和模态匹配的陀螺仪接口系统和方法，包括驱动模块和感测模块，驱动模块和感测模块均连接正交补偿模块，正交补偿模块用于从感测模态的输出信号中提取出驱动模态和感测模态之间耦合导致的正交误差，将其转换成正交反馈信号并反馈至陀螺仪的质量块上，以减小驱动模态和感测模态之间的耦合；通过寄存器控制模态匹配模块以改变感测模态上驱动电压大小，随之改变感测模态的有效弹性系数以及谐振频率。本发明能够有效抑制驱动模态和感测模态之间耦合导致的正交误差、减小驱动模态和感测模态之间的谐振频率频差，提高陀螺仪工作在闭环模式时的线性度和灵敏度。
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公开(公告)号：CN119430063A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202411049154.X
申请日：2024-08-01
Applicant: 意法半导体国际公司
Inventor： M·里亚尼 , C·瓦尔扎西纳 , G·J·亚里科·桑切斯 , L·奎利诺尼
Abstract: 本公开涉及能从静摩擦状态恢复的微机电设备。一种MEMS(微机电系统)设备包括：支撑体；可移动质量块，通过挠曲件被约束至支撑体，从而能够在主方向上振荡；致动器设备，被配置为横向于主方向向可移动质量块施加静电致动力；以及控制电路，被配置为检测可移动质量块通过静摩擦力粘附至支撑体的静摩擦状态，并且响应于对静摩擦状态的识别来驱动致动器设备。致动力是具有致动频带的可变力，致动频带包含包括粘附至支撑体的可移动质量块的机械系统在横向于主方向的方向上的至少一个谐振频率。
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公开(公告)号：CN118999509A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410637486.3
申请日：2024-05-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： O-A·普吕茨
IPC: G01C19/56 , G01C19/5733 , G01C19/5719
Abstract: 提出一种具有拥有主延伸平面衬底和驱动装置的转速传感器，驱动装置用于驱动第一和第二震动质量沿着基本上平行于主延伸平面走向的驱动方向的驱动运动，转速传感器配置成使得基于第一和第二震动质量的至少部分区域沿着基本上垂直于主延伸平面走向的探测方向的偏转来探测绕敏感方向的转速，敏感方向垂直于驱动方向并且也基本上平行于主延伸平面走向，转速传感器具有至少一个耦合结构以及至少一个第一和第二固定于衬底的探测电极，至少一个耦合结构与第一和第二震动质量均耦合成，使得在使用至少第一和第二探测电极的情况下，由于基于第一和第二震动质量的至少部分区域沿着探测方向进行的、至少一个耦合结构的探测偏转而进行转速的探测。
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公开(公告)号：CN118960706A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411058348.6
申请日：2024-08-02
Applicant: 西安电子科技大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种全差分李萨如调频MEMS陀螺仪，包括：陀螺传感单元、差分接口单元；陀螺传感单元，用于响应于控制信号产生谐振状态，并在谐振状态下获取角速率信号，对角速率信号进行差分处理，获得第一信号和第二信号，以及将第一信号和第二信号发送给差分接口单元；差分接口单元，用于向陀螺传感单元提供控制信号，并对接收的第一信号和第二信号进行差频谐波滤除处理和同步解调处理，滤除第一信号和第二信号存在的干扰信号，获得无干扰的角速率信号。该方法可以消除干扰信号对检测精度的影响，扩宽李萨如调频MEMS陀螺仪的可用带宽与无杂散动态范围，极大提高李萨如调频MEMS陀螺仪的检测精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118851086A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410844572.1
申请日：2024-06-27
Applicant: 武汉衡惯科技发展有限公司
Abstract: 本发明涉及惯性传感器技术领域，具体涉及一种MEMS惯性传感器及其晶圆级制作方法，该方法包括如下步骤：S1、在ASIC晶圆上制作第一牺牲层并图形化，得到第一中间结构；S2、在第一中间结构上制作敏感结构层，得到第二中间结构；S3、在第二中间结构上制作第二牺牲层并图形化，得到第三中间结构；S4、在第三中间结构上制作盖板；S5、释放所述第一牺牲层和所述第二牺牲层，形成具有多个MEMS惯性传感器的晶圆结构；S6、对所述晶圆结构进行划片，得到多个MEMS惯性传感器。本发明在制作好的ASIC晶圆上进行敏感结构层和盖板的晶圆级制备，ASIC晶圆作为MEMS惯性传感器的下盖，无需单独制备下盖结构，能够有效简化工艺，提高不同MEMS惯性传感器之间的一致性；且不存在多层结构的键合，避免了高温高压过程，提升MEMS惯性传感器的性能。
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公开(公告)号：CN113670286B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202111101048.8
申请日：2021-09-18
Applicant: 西安建筑科技大学
Abstract: 本发明公开了一种双模式输出小量程MEMS陀螺仪及其制造方法，包括：电源电路、MEMS陀螺仪、温度传感器、AD参考电压电路、微控制器、滤波电路；所述电源电路分别与所述MEMS陀螺仪、温度传感器、AD参考电压电路和所述微控制器连接；所述微控制器与所述MEMS陀螺仪、温度传感器、AD参考电压电路和所述滤波电路连接；本发明补偿后的角速率既可模拟输出，也可数字输出，主要针对数字用户，能够提高整个系统的工作性能和性价比。
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公开(公告)号：CN118776540A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410856050.3
申请日：2024-06-28
Applicant: 苏州感测通信息科技有限公司
IPC: G01C19/5776 , G01C19/56
Abstract: 本发明揭示了一种MEMS陀螺仪可切换多驱动实现方法，基于现场可编程逻辑阵列数字平台构建自激闭环驱动电路、锁相环驱动电路和状态切换电路，首先通过自激闭环驱动电路驱动MEMS陀螺仪使之处于谐振状态，再对进入现场可编程逻辑阵列数字平台的反馈信号利用状态切换电路进行过零检测，在以零幅值为中心的死区范围内捕捉幅值超过死区上限时的信号上升沿，并打开锁相环驱动电路，将反馈信号的频率f和相位θ同步至锁相环驱动电路的两个DDS中。
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公开(公告)号：CN118533158A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410159553.5
申请日：2024-02-04
Applicant: 绍兴圆方半导体有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请实施例提供一种陀螺仪及电子设备，陀螺仪包括：衬底及设置于衬底上方的四个第一类质量块及两个第二类质量块；其中，两个第二类质量块间弹性连接，四个第一类质量块包括逐一弹性连接的第一质量块、第二质量块、第三质量块及第四质量块，第一质量块与第四质量块间弹性连接，一第二类质量块弹性连接于第一质量块与第四质量块之间，另一第二类质量块弹性连接于第二质量块与第三质量块之间；每一第二类质量块用于驱动相应的两个第一类质量块做相反方向的旋转运动；或者，四个第一类质量块用于驱动两个第二类质量块做相反方向的旋转运动。本申请有利于提高陀螺仪的检测精度。
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公开(公告)号：CN118518084A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410842083.2
申请日：2024-06-27
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种自带基准电阻的柔性快速响应热流陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括柔性底板、柔性敏感层和柔性上盖，柔性敏感层的上表面设置有两个对称的加热器以及一个中心加热器和一对平行的热敏电阻以及一对基准电阻；柔性上盖上刻蚀有凹槽，且与柔性敏感层的上表面密闭连接。本发明采用一种基于高速激光雕刻技术的柔性快速响应热流陀螺的制作方法制作，具有轻量化、成本低、制作工艺简单、对环境友好等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。
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