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公开(公告)号：CN118204641A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410476225.8
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种基于高速激光雕刻技术的柔性热流陀螺的制作方法，该方法使用一种新的工艺流程，新的流程是先用高速激光雕刻机以聚酰亚胺薄膜为掩膜，雕刻出热流陀螺的电极部分敏感丝结构，再将这层掩膜贴在相应的聚酰亚胺基底上，进行溅射。本发明采用高速激光雕刻技术，这种技术高速激光雕刻技术是一种非接触性加工技术，它使用激光束直接照射到工件表面，而无需接触式掩膜或光刻胶等材料。本申请降低了制造过程中的污染风险和机械损耗，简化了加工过程，减少了材料和时间成本。
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公开(公告)号：CN118518084A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410842083.2
申请日：2024-06-27
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明涉及一种自带基准电阻的柔性快速响应热流陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括柔性底板、柔性敏感层和柔性上盖，柔性敏感层的上表面设置有两个对称的加热器以及一个中心加热器和一对平行的热敏电阻以及一对基准电阻；柔性上盖上刻蚀有凹槽，且与柔性敏感层的上表面密闭连接。本发明采用一种基于高速激光雕刻技术的柔性快速响应热流陀螺的制作方法制作，具有轻量化、成本低、制作工艺简单、对环境友好等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。
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公开(公告)号：CN118670386A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410841960.4
申请日：2024-06-27
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明公开了一种低耦合MEMS柔性测量单元，该低耦合MEMS柔性测量单元包括柔性底层、柔性敏感层、和柔性上盖；柔性敏感层由基底层和基底层上表面的金属层组成，金属层包括一个加热器和四对热敏电阻；柔性敏感层上表面设置有一个加热器和四对热敏电阻，加热器由四个加热器丝组成，在加热器丝和热敏电阻丝之间以及热敏电阻和热敏电阻之间有切割出的腔体，在加热器丝的间隙有切割出的腔体，在热敏电阻丝的间隙和电极之间有切割出的腔体；本发明继承了MEMS惯性器件的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。这种测量单元具有测量Z轴角速度、X轴加速度、Y轴加速度等多种功能，且交叉耦合较低。本发明采用柔性基底，柔性材料能够吸收外部振动和冲击，有助于提高测量单元的稳定性和可靠性。同时柔性材料可以弯曲和形变，以此满足测量单元的柔性结构需求，实现曲面测量的目的。
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公开(公告)号：CN118583312A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411008728.9
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本发明采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118424244A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410476444.6
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明提供一种基于无掩膜技术的柔性热流陀螺的制作方法，包括清洗有机玻璃衬底和聚酰亚胺基底，用固体胶将聚酰亚胺基底和有机玻璃衬底粘在一起，通过涂胶，曝光，显影在聚酰亚胺薄膜上形成图案，使用激光切割机对基底进行切割形成丝与电极以及腔体结构，在聚酰亚胺薄膜上分别溅射铬、铂、金三层金属，用NMP溶液清洗剥离光刻胶，并把基底层从衬底上剥离下来，键合引线，并进行封装，形成热流陀螺的最终结构。本发明具有工艺简单、成本低，更容易实现腔体结构和金属丝的结构，更容易地实现热流陀螺的柔性结构，实现曲面测量，工艺生产效率高、一致性好等优点。
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公开(公告)号：CN118603347A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202411008893.4
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种五边辐式柔性温压双模态传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性衬底层和柔性封装层，衬底层的上表面设置有五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元；一个纵向分布的金属温敏薄膜作为压力检测单元；柔性衬底层设有空腔，且与封装层的密闭连接。五边辐式温敏薄膜的均匀分布可以有效地分散压力，减小局部应力集中所造成的测量误差，结构稳定性强。温敏薄膜采用MEMS技术进行加工制作，具有轻量化、造价低、制作工艺简单等优点，可广泛应用于可穿戴电子设备等领域。
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公开(公告)号：CN116625346A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310668551.4
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，该独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺包括敏感层、和盖板；敏感层上表面有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽；四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个独立敏感单元，共两个独立敏感单元，用于敏感Z轴的角速度；盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间。本发明继承了MEMS热膨胀流陀螺的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。本发明采用独立敏感单元，使陀螺具有较高的灵敏度。本发明的敏感元件中无悬臂梁结构，具有良好的抗冲击性能、结构简单、成本极低、可靠性高等特点。
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公开(公告)号：CN222598994U
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202421780040.8
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本实用新型采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。
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公开(公告)号：CN222318253U
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202421780411.2
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种五边辐式柔性温压双模态传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性衬底层和柔性封装层，衬底层的上表面设置有五个横向分布的金属温敏薄膜作为温度检测单元；一个纵向分布的金属温敏薄膜作为压力检测单元；柔性衬底层设有空腔，且与封装层的密闭连接。五边辐式温敏薄膜的均匀分布可以有效地分散压力，减小局部应力集中所造成的测量误差，结构稳定性强。温敏薄膜采用MEMS技术进行加工制作，具有轻量化、造价低、制作工艺简单等优点，可广泛应用于可穿戴电子设备等领域。
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