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公开(公告)号：CN114362708B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202110848246.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。
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公开(公告)号：CN115996037A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202210473021.X
申请日：2022-04-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器。所述体声波滤波器包括连接到串联臂的串联谐振器以及连接到并联臂的并联谐振器，所述并联臂连接到所述串联臂。所述串联谐振器中的两个或更多个串联谐振器并联设置在所述串联臂上，并且均包括：基板；下电极，位于所述基板上；压电层，位于所述下电极上；以及上电极，位于所述压电层上，其中，当从上方观察其中所述下电极、所述压电层和所述上电极彼此叠置的有效区时，所述有效区的质心和限定所述有效区的高宽比的矩形的中心彼此匹配，并且当从上方观察所述有效区时，所述有效区具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的中心的至少一个轴对称的多边形的形状。
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公开(公告)号：CN108336982B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201810039429.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
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公开(公告)号：CN114362708A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202110848246.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。
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公开(公告)号：CN114006592A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110417729.9
申请日：2021-04-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外围设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层与所述基板之间以升高所述压电层。所述插入层包括第一插入层和第二插入层，所述第一插入层的面对所述中央部的侧表面形成为第一倾斜表面，所述第二插入层设置在所述第一插入层与所述压电层之间并且具有相对于所述第一电极的表面延伸的方向与所述第一倾斜表面间隔开的第二倾斜表面。所述第一插入层比所述第二插入层薄。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113541633A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202011537681.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极；压电层，至少部分地设置在所述第一电极的上部上；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述第二电极包括设置在所述体声波谐振器的有效区域的边缘处的框架，并且所述第一电极、所述压电层和所述第二电极设置为在所述有效区域的所述边缘处彼此叠置。所述框架包括设置在所述有效区域的所述边缘处的壁和形成在所述壁的内侧上的沟槽。所述沟槽的内边界线在与所述框架的上表面平行的平面中具有凹凸形状。
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公开(公告)号：CN105628011B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201510784514.5
申请日：2015-11-16
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01C19/56
Abstract: 提供一种角速度传感器，所述角速度传感器包括：第一框架内的第一质量体和第二质量体；第一柔性连接器系统，将所述第一质量体和所述第二质量体连接至所述第一框架，并包括检测所述第一质量体和所述第二质量体的位移的至少一个传感器；第二柔性连接器系统，将所述第一框架连接至被设置为与所述第一框架分开的第二框架，并包括驱动器，以驱动所述第一框架相对于第二框架的运动，从而可基于所述第一质量体和所述第二质量体能够在第一轴方向旋转且能够在第二轴方向平移，并基于所述第一框架柔性连接至所述第二框架以使所述第一框架在第三轴方向产生角位移来测量角速度。
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公开(公告)号：CN107947751A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710940292.0
申请日：2017-10-11
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02118 , H03H9/132 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/547 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/0442 , H03H2009/02173 , H03H9/02015 , H03H9/02086
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器包括：膜层，设置在基板上并且形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上，并且包括框架部，所述框架部设置在有效区域的边缘处并且具有比所述上电极的设置在所述有效区域的中央部分中的部分的厚度大的厚度；及频率调节层，设置在所述压电层和所述上电极上。所述频率调节层从所述框架部的倾斜表面被去除，或所述频率调节层的在所述倾斜表面上的部分的厚度小于所述频率调节层的其他部分的厚度。所述频率调节层设置在所述压电层的从所述上电极突出的部分上。
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公开(公告)号：CN107786182A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710740128.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02015 , H01L41/047 , H03H3/02 , H03H9/02062 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/542 , H03H9/545 , H03H9/547 , H03H9/562 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H9/02047 , H03H9/0514 , H03H9/172
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为 或更小。
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