体声波谐振器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114362708B

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202110848246.4

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,其中,在所述基板与所述第一电极之间形成腔;压电层,设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置;第二电极,设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置;钝化层,具有设置在所述第二电极上的至少一部分,并且与所述第二电极的至少一部分叠置;以及下框架,与所述基板间隔开,并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部,并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。

    体声波谐振器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114362708A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202110848246.4

    申请日:2021-07-27

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,其中,在所述基板与所述第一电极之间形成腔;压电层,设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置;第二电极,设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置;钝化层,具有设置在所述第二电极上的至少一部分,并且与所述第二电极的至少一部分叠置;以及下框架,与所述基板间隔开,并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部,并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。

    体声波滤波器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107276556A

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201710078137.2

    申请日:2017-02-14

    Abstract: 本发明提供一种体声波滤波器及其制造方法。所述体声波滤波器包括:基板,包括彼此分开的第一安装区域和第二安装区域;第一固定构件,与第一安装区域相邻设置;第二固定构件,与第二安装区域相邻设置;Tx滤波器,安装在第一安装区域上,并通过第一固定构件固定;Rx滤波器,安装在第二安装区域上,并通过第二固定构件固定。

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