体声波滤波器装置及制造体声波滤波器装置的方法

    公开(公告)号:CN107800402B

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN201710733413.4

    申请日:2017-08-24

    IPC分类号: H03H9/54 H03H9/02 H03H3/02

    摘要: 本发明提供一种体声波滤波器装置及制造体声波滤波器装置的方法,所述体声波滤波器装置包括:基板,包括由第一凹槽和与所述第一凹槽相邻的第二凹槽形成的通孔;膜层,与所述基板形成腔;滤波器,包括设置在所述膜层上的下电极、被设置为覆盖所述下电极的部分的压电层以及形成为覆盖所述压电层的部分的上电极;以及电极连接构件,设置在所述基板中,并且连接到所述下电极和所述上电极中的任一个,其中,所述电极连接构件包括设置在所述第一凹槽中的插入电极以及连接到所述插入电极并设置在所述第二凹槽的内周表面和所述基板的表面上的过孔电极。

    声波谐振器封装件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110719082B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN201910362382.5

    申请日:2019-04-30

    IPC分类号: H03H9/10 H03H9/17

    摘要: 本公开提供了一种声波谐振器封装件,所述声波谐振器封装件包括:基板;声波谐振器,设置在所述基板上;盖,设置在所述基板和所述声波谐振器上;结合部,使所述基板与所述盖彼此结合,其中,所述盖包括沟槽和保护层,所述沟槽围绕所述结合部形成,并且所述保护层覆盖所述盖中的所述沟槽的表面,并且其中,所述结合部的一部分填充所述沟槽的至少一部分。

    声波谐振器封装件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110719082A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201910362382.5

    申请日:2019-04-30

    IPC分类号: H03H9/10 H03H9/17

    摘要: 本公开提供了一种声波谐振器封装件,所述声波谐振器封装件包括:基板;声波谐振器,设置在所述基板上;盖,设置在所述基板和所述声波谐振器上;结合部,使所述基板与所述盖彼此结合,其中,所述盖包括沟槽和保护层,所述沟槽围绕所述结合部形成,并且所述保护层覆盖所述盖中的所述沟槽的表面,并且其中,所述结合部的一部分填充所述沟槽的至少一部分。