声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107404304A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201611233848.4

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架;沟槽部,形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

    体声波滤波器装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN107592091B

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201710532587.4

    申请日:2017-07-03

    Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法,所述体声波滤波器装置包括:基板;下电极,在所述基板上;压电层,覆盖所述下电极的至少部分;及上电极,覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层,所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上,所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

    体声波滤波器装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN107592091A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710532587.4

    申请日:2017-07-03

    Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法,所述体声波滤波器装置包括:基板;下电极,在所述基板上;压电层,覆盖所述下电极的至少部分;及上电极,覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层,所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上,所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

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