声波谐振器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109818591B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN201811375268.8

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;谐振区域,包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层;以及连接电极,从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分,并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

    体声波谐振器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110166018B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201910085638.2

    申请日:2019-01-29

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,设置在所述第一电极的至少一部分上;以及第二电极,设置在所述压电层的至少一部分上。在所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述压电层之间形成有第一间隙。所述第一间隙包括第一内间隙和第一外间隙,所述第一内间隙设置在所述体声波谐振器的有效区中,并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有第一间隔距离,所述第一外间隙设置在所述有效区的外部,并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有不同于所述第一间隔距离的第二间隔距离。

    体声波谐振器
    4.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-公开

    公开(公告)号:CN118826684A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410461458.0

    申请日:2024-04-17

    Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分,谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度,并且沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。

    体声波谐振器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114793099A9

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202110801186.0

    申请日:2021-07-15

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:第一电极,设置在基板的上侧上;压电层,设置在所述第一电极的上表面上;以及第二电极,设置在所述压电层的上表面上,其中,所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区,其中,所述凹入区的深度为D,所述凹入区的宽度为W,并且谐振频率为F,并且ln为自然对数,并且其中,[{ln(D×W)}/(-0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]。

    声波谐振器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109818591A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201811375268.8

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;谐振区域,包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层;以及连接电极,从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分,并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

    体声波谐振器
    7.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-公开

    公开(公告)号:CN118868847A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410483538.6

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本公开涉及体声波谐振器。体声波谐振器包括:有效区域,在该有效区域中,设置在基板上的第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层、以及沿着高度方向设置在压电层上的第二电极在高度方向上彼此重叠;外围区域,在该外围区域中,第一电极或第二电极从有效区域向外延伸,使得第一电极和第二电极在外围区域中在高度方向上彼此不重叠;以及辅助层,设置在外围区域中,其中,有效区域的第一截止频率基本上等于外围区域的第二截止频率。

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