体声波谐振器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108429543A

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201810052173.6

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极连接构件,设置在所述基板上;谐振构件,包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极;以及上电极连接构件,将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状,从而支撑所述谐振构件的边缘。

    声波谐振器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109818591A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201811375268.8

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;谐振区域,包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层;以及连接电极,从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分,并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

    体声波谐振器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108429543B

    公开(公告)日:2021-08-31

    申请号:CN201810052173.6

    申请日:2018-01-19

    Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;下电极连接构件,设置在所述基板上;谐振构件,包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极;以及上电极连接构件,将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状,从而支撑所述谐振构件的边缘。

    声波谐振器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107404304B

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201611233848.4

    申请日:2016-12-28

    Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架;沟槽部,形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

    声波谐振器
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109818591B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN201811375268.8

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;谐振区域,包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层;以及连接电极,从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分,并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

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