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公开(公告)号：CN108964631A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201711444086.7
申请日：2017-12-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H3/0077 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H7/422 , H03H9/0095 , H03H9/0542 , H03H9/173 , H03H2003/0071 , H03H2003/021 , H03H9/15 , H03H2009/155
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极、上电极连接构件和介电层，其中，所述下电极、所述压电层和所述上电极嵌入在所述介电层中。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。延伸部从所述下电极或所述上电极延伸以从所述谐振部向外突出。所述延伸部、所述上电极连接构件的部分以及所述介电层的部分构成电容器部，其中，所述上电极连接构件的所述部分设置在所述延伸部之上，所述介电层的所述部分设置在所述延伸部和所述上电极连接构件的设置在所述延伸部之上的所述部分之间。
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公开(公告)号：CN108429543A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810052173.6
申请日：2018-01-19
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02086 , H01L41/0472 , H01L41/0475 , H03H9/132 , H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；下电极连接构件，设置在所述基板上；谐振构件，包括设置在所述下电极连接构件上的下电极、设置在所述下电极上的压电层和设置在所述压电层上的上电极；以及上电极连接构件，将所述上电极和所述基板彼此电连接。所述上电极连接构件在所述谐振构件的外部从所述基板延伸并连接到所述上电极的顶表面。所述下电极连接构件将所述下电极和所述基板彼此电连接并具有与所述谐振构件的形状对应的环形形状，从而支撑所述谐振构件的边缘。
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公开(公告)号：CN107786182A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201710740128.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02015 , H01L41/047 , H03H3/02 , H03H9/02062 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/173 , H03H9/542 , H03H9/545 , H03H9/547 , H03H9/562 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H9/02047 , H03H9/0514 , H03H9/172
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为 或更小。
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公开(公告)号：CN107623500A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710564814.1
申请日：2017-07-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波滤波器装置及制造该体声波滤波器装置的方法。所述体声波滤波器装置包括：第一层，与基板一起形成气隙；下电极，设置在所述第一层之上；压电层，设置为覆盖所述下电极的一部分；上电极，设置在所述压电层之上；框架层，设置在所述上电极之上或者之下；以及下电极增强层，设置在所述下电极的除了设置有所述压电层的部分之外的部分上。所述下电极增强层通过在形成所述上电极时使所述下电极增强层与所述上电极分开而形成或者通过在形成所述框架层时使所述下电极增强层与所述框架层分开而形成。
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公开(公告)号：CN108964628B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN201810001918.6
申请日：2018-01-02
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括具有第一过孔和第二过孔的基板、下电极连接构件、下电极、压电层、上电极和与所述下电极连接构件分开的上电极连接构件。所述下电极、所述压电层和所述上电极构成谐振部。所述下电极连接构件将所述下电极电连接到所述第一过孔并支撑所述谐振部的第一边缘部。所述上电极连接构件将所述上电极电连接到所述第二过孔并支撑所述谐振部的第二边缘部。所述上电极连接构件和所述下电极连接构件中的任意一者或两者包括连接到设置在所述谐振部下方的所述第一过孔和所述第二过孔中的相应的一个的相应的延伸部。
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公开(公告)号：CN107623500B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201710564814.1
申请日：2017-07-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波滤波器装置及制造该体声波滤波器装置的方法。所述体声波滤波器装置包括：第一层，与基板一起形成气隙；下电极，设置在所述第一层之上；压电层，设置为覆盖所述下电极的一部分；上电极，设置在所述压电层之上；框架层，设置在所述上电极之上或者之下；以及下电极增强层，设置在所述下电极的除了设置有所述压电层的部分之外的部分上。所述下电极增强层通过在形成所述上电极时使所述下电极增强层与所述上电极分开而形成或者通过在形成所述框架层时使所述下电极增强层与所述框架层分开而形成。
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公开(公告)号：CN108696262B
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN201810224679.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于减小谐波失真的体声波谐振器及体声波滤波器，所述体声波(BAW)谐振器包括：基板；第一BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第一气腔，还包括堆叠在所述第一气腔上的第一电极、第一压电层和第二电极；第二BAW谐振器，包括设置在所述基板上的第二气腔，还包括堆叠在所述第二气腔上的第一电极、第二压电层和第二电极，其中，所述第二BAW谐振器并联连接到所述第一BAW谐振器并且具有与所述第一BAW谐振器的极性相反的极性；以及补偿电容器电路，连接在所述第一BAW谐振器与所述第二BAW谐振器之间。
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