公开(公告)号：CN109818591B

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN201811375268.8

申请日：2018-11-19

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勋 ,  孙尚郁 ,  韩源 ,  金锺云

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/10 ,  H03H9/13 ,  H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；谐振区域，包括设置在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极以及沿所述谐振区域的外围设置的反射层；以及连接电极，从所述第二电极延伸。所述反射层包括第一部分和设置在所述谐振区域和所述连接电极之间的第二部分，并且所述第一部分的截面积不同于所述第二部分的截面积。

公开(公告)号：CN110166018B

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN201910085638.2

申请日：2019-01-29

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  孙尚郁 ,  金泰润 ,  金锺云

IPC: H03H9/02

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置在所述第一电极的至少一部分上；以及第二电极，设置在所述压电层的至少一部分上。在所述第一电极和所述第二电极中的一个与所述压电层之间形成有第一间隙。所述第一间隙包括第一内间隙和第一外间隙，所述第一内间隙设置在所述体声波谐振器的有效区中，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有第一间隔距离，所述第一外间隙设置在所述有效区的外部，并且在所述第一电极和所述第二电极中的所述一个与所述压电层之间具有不同于所述第一间隔距离的第二间隔距离。

公开(公告)号：CN107528565B

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：CN201710032359.0

申请日：2017-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  李泰勋 ,  丁大勋 ,  李文喆 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/64

Abstract: 提供一种声波滤波器装置，所述声波滤波器装置包括：下电极，设置在基板和压电层之间；上电极，设置在压电层上；频率调节层，设置在上电极上。频率调节层使上电极的部分暴露。

公开(公告)号：CN112311351A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010748289.0

申请日：2020-07-30

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金成昱 ,  丁大勳 ,  孙尚郁 ,  韩相宪 ,  柳廷勳

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

公开(公告)号：CN108631742A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810077058.4

申请日：2018-01-26

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 丁大勋 ,  孙尚郁 ,  金泰润 ,  金大虎

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/17 ,  H03H3/02

CPC classification number: H01L41/047 ,  H01L41/22 ,  H03H9/54

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：谐振部，包括设置在第一电极和第二电极之间的压电层；以及框架部，沿所述第二电极的外边缘设置。所述框架部包括反射在所述谐振部中产生的横向波的至少三个反射部。

公开(公告)号：CN107528565A

公开(公告)日：2017-12-29

申请号：CN201710032359.0

申请日：2017-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  李泰勋 ,  丁大勋 ,  李文喆 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/64

Abstract: 提供一种声波滤波器装置，所述声波滤波器装置包括：下电极，设置在基板和压电层之间；上电极，设置在压电层上；绝缘层，设置在上电极上。绝缘层使上电极的部分暴露。

公开(公告)号：CN107404304A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201611233848.4

申请日：2016-12-28

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 金大虎 ,  丁大勋 ,  韩源 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供了一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的下电极、压电层和上电极以及沿着上电极的边缘形成在上电极上的框架；沟槽部，形成在谐振部的至少一侧并使得谐振部的厚度是不均匀的。

公开(公告)号：CN118826684A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410461458.0

申请日：2024-04-17

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  孙尚郁 ,  金锺云 ,  金成昱 ,  柳廷勳 ,  丁大勳 ,  廉定恩 ,  韩相宪 ,  金贞儿 ,  李华善

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/13 ,  H03H9/02

Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分，谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度，并且沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。

公开(公告)号：CN113497599A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202011082734.0

申请日：2020-10-12

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金泰润 ,  林昶贤 ,  孙尚郁 ,  吉宰亨 ,  丁大勳

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05 ,  H03H9/17

Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板上方；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极全部设置为彼此叠置的有效区域中，在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极中的任意一个或者任意两个或更多个的任意组合中形成至少一个台阶。

公开(公告)号：CN113497598A

公开(公告)日：2021-10-12

申请号：CN202011022362.2

申请日：2020-09-25

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 李泰京 ,  韩源 ,  孙尚郁 ,  李华善 ,  李文喆

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/13 ,  H03H9/205 ,  H03H9/54

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和体声波滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；以及第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分。当从上方观察所述第一电极和所述第二电极彼此叠置的有效区域时，在由所述有效区域形成的多边形的至少三个顶点接触的矩形的四条边中，最长的边定义为边B，并且连接到边B的边定义为边A，并且高宽比(边B/边A)为1.3至3。