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公开(公告)号：CN118826684A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410461458.0
申请日：2024-04-17
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分，谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度，并且沿着高度方向，第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。
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公开(公告)号：CN114793099A9
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202110801186.0
申请日：2021-07-15
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板的上侧上；压电层，设置在所述第一电极的上表面上；以及第二电极，设置在所述压电层的上表面上，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区，其中，所述凹入区的深度为D，所述凹入区的宽度为W，并且谐振频率为F，并且ln为自然对数，并且其中，[{ln(D×W)}/(-0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]。
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公开(公告)号：CN115483903A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202111550566.8
申请日：2021-12-17
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括基板、设置在所述基板上的第一电极、设置成覆盖所述第一电极的至少一部分的压电层、以及设置成覆盖所述压电层的至少一部分的第二电极，其中，所述压电层包括中间层、设置在所述中间层上的第一层和设置在所述中间层下方的第二层，所述第一层和所述第二层相对于所述中间层的中心线穿过的平面在厚度方向上对称，并且所述中间层的厚度大于所述第一层和所述第二层中的每个的厚度。
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公开(公告)号：CN114465597A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110811548.4
申请日：2021-07-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及保护层，设置在所述谐振部的上表面上。所述保护层包括：第一保护层，利用金刚石薄膜形成；以及第二保护层，堆叠在所述第一保护层上，并且利用介电材料形成。
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公开(公告)号：CN112311351B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010748289.0
申请日：2020-07-30
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；下电极，设置在所述基板上；压电层，至少部分地覆盖所述下电极；以及上电极，至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上，所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114362708B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202110848246.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。
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公开(公告)号：CN115811295A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202210609093.2
申请日：2022-05-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；保护层；以及谐振部，包括压电层、第一电极和第二电极，所述第一电极设置在所述压电层与所述基板之间，所述第二电极设置在所述压电层与所述保护层之间。所述保护层覆盖反射部和所述谐振部的中央部，所述反射部围绕所述中央部并且形成在所述第二电极的上表面相对于所述中央部升高的区域中。所述保护层的覆盖所述反射部的部分的上表面比所述第二电极在所述反射部中的部分的上表面更平缓地倾斜。
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公开(公告)号：CN114362708A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202110848246.4
申请日：2021-07-27
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，其中，在所述基板与所述第一电极之间形成腔；压电层，设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置；第二电极，设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置；钝化层，具有设置在所述第二电极上的至少一部分，并且与所述第二电极的至少一部分叠置；以及下框架，与所述基板间隔开，并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部，并且所述下框架的内端和所述突出部的端部水平地间隔开。
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公开(公告)号：CN113541633A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202011537681.7
申请日：2020-12-23
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：第一电极；压电层，至少部分地设置在所述第一电极的上部上；以及第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述第二电极包括设置在所述体声波谐振器的有效区域的边缘处的框架，并且所述第一电极、所述压电层和所述第二电极设置为在所述有效区域的所述边缘处彼此叠置。所述框架包括设置在所述有效区域的所述边缘处的壁和形成在所述壁的内侧上的沟槽。所述沟槽的内边界线在与所述框架的上表面平行的平面中具有凹凸形状。
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公开(公告)号：CN116192084A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202211406156.0
申请日：2022-11-10
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上按顺序堆叠的第一电极、压电层和第二电极；以及种子层，设置在所述第一电极下方，其中，所述谐振部包括设置在所述谐振部的中央部中的有效部，以及设置为围绕所述有效部的横向谐振抑制部，其中，所述种子层、所述第一电极、所述压电层和所述第二电极在所述横向谐振抑制部中的厚度分布与在所述有效部中的厚度分布不同。
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