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公开(公告)号：CN114006592A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202110417729.9
申请日：2021-04-19
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外围设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层与所述基板之间以升高所述压电层。所述插入层包括第一插入层和第二插入层，所述第一插入层的面对所述中央部的侧表面形成为第一倾斜表面，所述第二插入层设置在所述第一插入层与所述压电层之间并且具有相对于所述第一电极的表面延伸的方向与所述第一倾斜表面间隔开的第二倾斜表面。所述第一插入层比所述第二插入层薄。
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公开(公告)号：CN111327290A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201910584478.6
申请日：2019-07-01
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
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公开(公告)号：CN116192084A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202211406156.0
申请日：2022-11-10
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上按顺序堆叠的第一电极、压电层和第二电极；以及种子层，设置在所述第一电极下方，其中，所述谐振部包括设置在所述谐振部的中央部中的有效部，以及设置为围绕所述有效部的横向谐振抑制部，其中，所述种子层、所述第一电极、所述压电层和所述第二电极在所述横向谐振抑制部中的厚度分布与在所述有效部中的厚度分布不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114793099A
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202110801186.0
申请日：2021-07-15
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板的上侧上；压电层，设置在所述第一电极的上表面上；以及第二电极，设置在所述压电层的上表面上，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区，其中，所述凹入区的深度为D，所述凹入区的宽度为W，并且谐振频率为F，并且ln为自然对数，并且其中，[{ln(D×W)}/(‑0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{‑0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{‑0.59×(3.5GHz)}]。
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公开(公告)号：CN113497597A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202011072161.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；金属焊盘，连接到所述第一电极和所述第二电极；以及连接构件，连接到所述金属焊盘的上表面。所述连接构件的下端部包括在朝向所述连接构件的下端的方向上直径减小的锥形部，并且所述锥形部的倾斜表面与所述金属焊盘的所述上表面之间的角度为45°至80°。
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公开(公告)号：CN113497597B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202011072161.3
申请日：2020-10-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；金属焊盘，连接到所述第一电极和所述第二电极；以及连接构件，连接到所述金属焊盘的上表面。所述连接构件的下端部包括在朝向所述连接构件的下端的方向上直径减小的锥形部，并且所述锥形部的倾斜表面与所述金属焊盘的所述上表面之间的角度为45°至80°。
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公开(公告)号：CN114793099A9
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202110801186.0
申请日：2021-07-15
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：第一电极，设置在基板的上侧上；压电层，设置在所述第一电极的上表面上；以及第二电极，设置在所述压电层的上表面上，其中，所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区，其中，所述凹入区的深度为D，所述凹入区的宽度为W，并且谐振频率为F，并且ln为自然对数，并且其中，[{ln(D×W)}/(-0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]。
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公开(公告)号：CN111327290B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201910584478.6
申请日：2019-07-01
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
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