体声波谐振器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112311351A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010748289.0

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地覆盖所述下电极;以及上电极,至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上,所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

    声波谐振器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111342802B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN201911255335.7

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:谐振单元,包括压电层、设置在所述压电层的下侧上的第一电极和设置在所述压电层的上侧上的第二电极;基板,设置在所述谐振单元的下方;支撑单元,在所述基板与所述谐振单元之间形成腔;以及柱,延伸穿过所述腔,并将所述谐振单元连接到所述基板。所述谐振单元还包括设置在所述柱的上方的第一插入层。

    体声波谐振器
    4.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-实审

    公开(公告)号:CN113541633A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202011537681.7

    申请日:2020-12-23

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:第一电极;压电层,至少部分地设置在所述第一电极的上部上;以及第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述第二电极包括设置在所述体声波谐振器的有效区域的边缘处的框架,并且所述第一电极、所述压电层和所述第二电极设置为在所述有效区域的所述边缘处彼此叠置。所述框架包括设置在所述有效区域的所述边缘处的壁和形成在所述壁的内侧上的沟槽。所述沟槽的内边界线在与所述框架的上表面平行的平面中具有凹凸形状。

    体声波谐振器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113497597B

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202011072161.3

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分;金属焊盘,连接到所述第一电极和所述第二电极;以及连接构件,连接到所述金属焊盘的上表面。所述连接构件的下端部包括在朝向所述连接构件的下端的方向上直径减小的锥形部,并且所述锥形部的倾斜表面与所述金属焊盘的所述上表面之间的角度为45°至80°。

    体声波谐振器
    6.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-公开

    公开(公告)号:CN118826684A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410461458.0

    申请日:2024-04-17

    Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分,谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度,并且沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。

    体声波谐振器
    8.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-实审

    公开(公告)号:CN113497599A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202011082734.0

    申请日:2020-10-12

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:第一电极,设置在基板上方;压电层,设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;以及第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分。在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极全部设置为彼此叠置的有效区域中,在所述第一电极、所述压电层和所述第二电极中的任意一个或者任意两个或更多个的任意组合中形成至少一个台阶。

    体声波谐振器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112311351B

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202010748289.0

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地覆盖所述下电极;以及上电极,至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上,所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

    体声波谐振器及声波谐振器

    公开(公告)号:CN114448378A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202110768025.6

    申请日:2021-07-07

    Abstract: 提供一种体声波谐振器及声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极;以及温度补偿层,设置在所述压电层的上方和下方中的至少一个处,其中,所述温度补偿层的材料的热膨胀系数的符号与所述压电层的材料的热膨胀系数的符号相反,并且其中,所述温度补偿层的厚度与所述压电层的厚度的关系满足下式:0.25≤温度补偿层的厚度/压电层的厚度≤0.33。

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