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公开(公告)号：CN107276557A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710421696.9
申请日：2012-10-11
申请人： 斯沃奇集团研究和开发有限公司
CPC分类号： H01L41/04 , G04B17/22 , H03H3/0076 , H03H9/02448 , H03H9/2468 , H03H2003/027 , H03H9/131 , H03H3/0075 , H03H3/04 , H03H9/215 , H03H2003/0407
摘要： 本发明涉及一种温度补偿谐振器(1，11)，该谐振器(1，11)包括能够变形的本体(5，15)，所述本体(5，15)的芯部(8，18)由陶瓷形成。根据本发明，所述本体(5，15)的至少一部分包括至少一个涂层(2，4，6，12，14，16)，该涂层的杨氏模量随温度的变化(CTE)与用于所述芯部(8，18)的所述陶瓷的杨氏模量随温度的变化(CTE)具有相反的符号，使得所述谐振器具有至少一阶(α，β)基本上为零的频率随温度的变化。本发明还涉及用于钟表的部件的领域。
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公开(公告)号：CN102986046B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201180033513.7
申请日：2011-07-05
申请人： 法国原子能及替代能源委员会 , SOI科技有限公司
发明人： 克里斯特尔·德古特 , 尼古拉斯·勃朗 , 布鲁诺·因贝特 , 让-塞巴斯蒂安·穆莱
IPC分类号： H01L41/33
CPC分类号： H01L41/22 , H01L41/313 , H03H3/02 , H03H9/131 , Y10T29/42
摘要： 本发明涉及一种由压电材料制成的结构的制造方法，包括：a）在由压电材料制成的基板（20）上制造包括至少一个金属层（22）和至少一个导电层（26）的叠层，其中，在导电层（26）和叠层外部的金属元件（29）之间建立至少一个电接触（31），b）通过所述导电层（26）和所述金属层（22）注入离子和/或原子，c）使所述基板转移至转移基板（30）上，随后使转移的压电基板的脆化区（27）破裂。
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公开(公告)号：CN103973258A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410042168.9
申请日：2014-01-28
申请人： 太阳诱电株式会社
CPC分类号： H03H9/70 , H03H9/02015 , H03H9/02047 , H03H9/02118 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H9/588 , H03H9/589
摘要： 压电薄膜谐振器、滤波器和双工器。一种压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；隔着所述压电膜的至少一部分彼此相对的下电极和上电极；插入膜，其插入进所述压电膜，并且位于所述下电极和所述上电极隔着所述压电膜彼此相对的谐振区域内的外周区域的至少一部分中，并且不位于所述谐振区域的中心区域中。
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公开(公告)号：CN101741343B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200910168371.X
申请日：2009-08-31
申请人： 太阳诱电株式会社
摘要： 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括：基板；下电极；压电薄膜，设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜，第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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公开(公告)号：CN101111995B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200680003381.2
申请日：2006-01-25
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/132 , H03H3/04 , H03H9/02086 , H03H9/13 , H03H9/131 , H03H9/176 , H03H2003/0428
摘要： [目的]为了减小由频率常数中的变化导致的频率偏差，并在压电基板的频率常数具有梯度时抑制非必要振动。[解决手段]压电谐振器包括具有形成于基板(1a)的两个主表面上的振动电极(4，5)，以便使它们彼此相对并且在两个振动电极之间生成陷获振动。压电基板(1a)具有固定厚度，其频率常数在平面方向上具有梯度，并且振动电极(4，5)被形成为在薄膜厚度中具有梯度，从而薄膜厚度向着其中压电基板的频率常数增加的方向递增。通过在振动电极的薄膜厚度中提供梯度，有可能抑制带内非必要振动并减小频率偏差。
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公开(公告)号：CN103311430B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201310081559.7
申请日：2013-03-14
申请人： 日本电波工业株式会社
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/293
CPC分类号： H01L41/0805 , H01L24/97 , H01L41/29 , H01L2224/16225 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/1035 , H03H9/131 , H03H2003/022 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供一种压电装置以及压电装置的制造方法，压电装置具有：压电振动片，包含形成激振电极的振动部及引出电极；基础板，在一个主面上载置压电振动片且形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面上形成有安装端子；以及盖板。安装端子的至少一部分包括：第1金属膜，通过溅镀或者真空蒸镀而层叠多个金属层；第2金属膜，层叠与第1金属膜同样的多个金属层，且以覆盖第1金属膜的方式形成，或者形成于第1金属膜的表面的一部分上，且第2金属膜的面积不同于第1金属膜；以及无电解镀敷膜，至少在第2金属膜的表面通过无电解镀敷而形成。本发明的压电装置以及压电装置的制造方法，能够防止通过无电解镀敷而形成的电极的剥离。
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公开(公告)号：CN102957394B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210291072.7
申请日：2012-08-15
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/047 , H01L41/08 , H03H9/0542 , H03H9/0552 , H03H9/1021 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/19 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法。本发明以基波实现CI值较小，从而抑制了附近的寄生响应的高频的小型压电振动元件。压电振动元件（1）具备：压电基板（10），其具有矩形的振动部（12）、和厚壁部（13）；激励电极（25a、25b）；引线电极27a、27b）。厚壁部（13）具备第四厚壁部（14）、第三厚壁部（15）、第一厚壁部（16）和第二厚壁部17）。第三厚壁部（15）具备第三倾斜部（15b）和第三厚壁部主体（15a），在第三厚壁部（15）上设置有至少一个狭缝（20）。
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公开(公告)号：CN106165294A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201580017712.7
申请日：2015-03-31
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 丰田祐二
CPC分类号： H03H9/02535 , H03H3/08 , H03H9/02992 , H03H9/131 , H03H9/64
摘要： 声表面波装置具备：压电基板(1)、具有形成在压电基板(1)上的梳齿状的电极指(3)的IDT电极(2)、和与IDT电极(2)连接的布线电极(5)，电极指(3)在与长边方向正交的剖面，下边的线宽以及上边的线宽比该电极指的最大的线宽小。
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公开(公告)号：CN105811913A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610037045.5
申请日：2016-01-20
申请人： 太阳诱电株式会社
CPC分类号： H03H9/725 , H03H9/02559 , H03H9/02669 , H03H9/131 , H03H9/14541 , H03H9/1457 , H03H9/64 , H03H9/02543 , H03H9/02818 , H03H9/25
摘要： 一种声波器件，该声波器件包括：Y?切割X?传播钽酸锂基板，所述Y?切割X?传播钽酸锂基板具有20°或更大且48°或更小的切割角；以及格栅电极，所述格栅电极由层叠在基板上的一个或更多个金属膜组成，并且激发声波，其中，当所述一个或更多个金属膜中的各个金属膜的密度由ρi表示，各个金属膜的泊松比由Pi表示，各个金属膜的膜厚度由hi表示，Cu的密度由ρ0表示，Cu的泊松比由P0表示，并且节距由λ表示时，对于所述一个或更多个金属膜，各个金属膜的“(hi/λ)×(ρi/ρ0)×(Pi/P0)”的总值大于0.08。
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公开(公告)号：CN102904542B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210228562.2
申请日：2012-07-02
申请人： 日本电波工业株式会社
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/131 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/021
摘要： 本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
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