微型机械及其制造方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1268538C

    公开(公告)日:2006-08-09

    申请号:CN03801273.1

    申请日:2003-08-08

    IPC分类号: B81B3/00 B81C1/00

    摘要: 本发明提供了一种用于具有高Q值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械(20)包括:设置在衬底(1)上的输出电极(7);包括第一绝缘薄膜(9)和第二绝缘薄膜(11)的夹层绝缘薄膜,所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极(7);孔(11a),设置在所述第二绝缘薄膜(11)中以到达所述输出电极(7);以及带状振动器电极(15),设置在所述第二绝缘薄膜(11)上,从而横过由所述孔(11a)内部构成的间隔部分(A)的上侧。

    振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN104579225A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410584193.X

    申请日:2014-10-27

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/19

    摘要: 本发明提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制,振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于,具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式,在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中,将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃],将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃],并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时,Ta低于Tb及Tc,或者,Ta高于Tb及Tc。