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公开(公告)号:CN102388533B
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201080016032.0
申请日:2010-04-07
申请人: NXP股份有限公司
发明人: 约普·M·博恩泰姆普斯 , 简·雅各布·康宁 , 卡斯·范德·阿沃尔特 , 约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克
CPC分类号: H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/2457 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要: 一种体声学模式MEMS谐振器,包括具有第一物理布图的第一部分以及布图修改特征。所述谐振频率是所述物理布图的函数,其设计为使得所述频率变化对于50nm谐振器形状边缘的边缘位置的偏差来说少于150ppm。这种设计按照以下方式结合了至少两个不同的布图特征,使得小的边缘位置变化(来自于不可控的工艺变化)对谐振频率的影响可以忽略。
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公开(公告)号:CN101939906B
公开(公告)日:2014-10-29
申请号:CN200880126205.7
申请日:2008-12-11
申请人: 康奈尔大学
IPC分类号: H03B5/12 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC分类号: H03B5/30 , H01L29/785 , H03H9/02259 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2009/02314 , H03H2009/02496
摘要: 一种谐振体,具有反转栅极、积累栅极和中心区域。所述谐振体还具有耦合至所述中心区域的源极触点,以及耦合至所述中心区域的漏极触点。所述谐振体还具有耦合在所述反转栅极与所述中心区域之间的第一电介质层。所述谐振体还具有耦合在所述积累栅极与所述中心区域之间的第二电介质层。还公开了一种谐振体晶体管。所述谐振体晶体管具有反转栅极电极、积累栅极电极、源极电极、漏极电极以及多个锚梁。所述谐振体晶体管还具有谐振体,所述谐振体通过所述多个锚梁耦合至且悬挂于所述反转栅极电极、所述积累栅极电极、所述源极电极以及所述漏极电极。还公开了一种谐振体振荡器。
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公开(公告)号:CN104052430A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201410087868.X
申请日:2014-03-11
申请人: 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司
IPC分类号: H03H9/24
CPC分类号: H03H9/2452 , B81B3/0078 , B81B2201/0271 , B81C1/00158 , B81C1/00246 , B81C1/00301 , B81C1/00396 , B81C2203/0145 , H03H3/0072 , H03H3/0073 , H03H9/02259 , H03H9/2463 , H03H2009/02291 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要: 本发明提供了一种微机电谐振器。实施例具体涉及能够施加最大可用芯片上电压的MEMS谐振器结构和方法。在实施例中,MEMS谐振器包括在接地电势与谐振器的间隙电极之间的连接。实施例也涉及复杂度较低并且能够生产减小尺寸的MEMS谐振器的制造系统和方法。
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公开(公告)号:CN101803191B
公开(公告)日:2013-05-29
申请号:CN200880107598.7
申请日:2008-09-19
申请人: 日本电信电话株式会社
IPC分类号: H03K19/162 , H01L27/10 , H03H9/24
CPC分类号: H03H9/2463 , G11C11/20 , G11C19/12 , H03H9/02259 , H03H2009/02496 , H03K19/162
摘要: 在一种逻辑元件(100)中,形成支持部(105,106)和在两端由它们支撑的梁(107)。梁(107)具有与衬底(101)的上侧表面隔开的背侧表面,在梁(107)和衬底(101)的相对表面之间建立间隔。激励电极(108)形成在一个支持部(105)上,而振动检测电极(110)形成在另一个支持部(106)上。
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公开(公告)号:CN101346879B
公开(公告)日:2012-12-05
申请号:CN200680048616.X
申请日:2006-12-18
申请人: NXP股份有限公司
发明人: 约瑟夫·T·M·范贝克 , 汉斯-彼得·勒布尔 , 弗里德里克·W·M·范赫尔门特
CPC分类号: H03H9/02448 , H03H3/0072 , H03H9/2447 , H03H2009/02496 , Y10T29/42
摘要: 本发明涉及一种MEMS谐振器,其包括可移动元件(48),所述可移动元件(48)包括具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数的第一部分(A),所述可移动元件(48)还包括具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数的第二部分(B),第二温度系数的符号与第一温度系数的符号至少在该MEMS谐振器的工作条件下是相反的,第一部分(A)的横截面积和第二部分(B)的横截面积是这样的:第一部分(A)的杨氏模量的绝对温度系数与第一部分(A)的横截面积的乘积对第二部分(B)的杨氏模量的绝对温度系数与第二部分(B)的横截面积的乘积的偏离不超过20%,横截面积是局部垂直于可移动元件(48)测得的。
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公开(公告)号:CN102388533A
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN201080016032.0
申请日:2010-04-07
申请人: NXP股份有限公司
发明人: 约普·M·博恩泰姆普斯 , 简·雅各布·康宁 , 卡斯·范德·阿沃尔特 , 约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克
CPC分类号: H03H3/0076 , H03H9/2405 , H03H9/2457 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要: 一种体声学模式MEMS谐振器,包括具有第一物理布图的第一部分以及布图修改特征。所述谐振频率是所述物理布图的函数,其设计为使得所述频率变化对于50nm谐振器形状边缘的边缘位置的偏差来说少于150ppm。这种设计按照以下方式结合了至少两个不同的布图特征,使得小的边缘位置变化(来自于不可控的工艺变化)对谐振频率的影响可以忽略。
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公开(公告)号:CN102187573A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN200980140746.X
申请日:2009-10-13
申请人: NXP股份有限公司
发明人: 金·范乐 , 约瑟夫·T·M·范贝克
CPC分类号: H03H9/02259 , H03H9/2431 , H03H2009/02307 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496
摘要: 描述了一种新型的Si MEMS压阻谐振器。所述谐振器具有框形,例如环形框或多边形框,具有两个或更多锚定点。使用位于谐振结构的外缘或内缘的电极,来将该结构静电激励为具有所需模式形状的谐振。将该结构上的一个或多个局部掺杂区用于信号的压阻读出。在最优选的实施例中,该结构是环,所述环具有四个锚定点、两个电极以及在该结构的不同段处的四个压阻区。压阻区交替地位于该结构的外缘和内缘,使得可以收集来自不同区域的相同符号的压阻信号。该器件的优势在于大读出信号、大电极面积、鲁棒性、抑制平面外振动以及更大的可使用线性范围。
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公开(公告)号:CN101946400A
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200880127024.6
申请日:2008-11-26
申请人: 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号: H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
摘要: 本发明提供一种微机电谐振器,所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块,所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态,在所述第一状态下,所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩,并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀,所述第二方向与所述第一方向相反,所述第四方向与所述第三方向相反。
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公开(公告)号:CN101939906A
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200880126205.7
申请日:2008-12-11
申请人: 康奈尔大学
IPC分类号: H03B5/12 , H01L21/336 , H01L29/78
CPC分类号: H03B5/30 , H01L29/785 , H03H9/02259 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2009/02314 , H03H2009/02496
摘要: 一种谐振体,具有反转栅极、积累栅极和中心区域。所述谐振体还具有耦合至所述中心区域的源极触点,以及耦合至所述中心区域的漏极触点。所述谐振体还具有耦合在所述反转栅极与所述中心区域之间的第一电介质层。所述谐振体还具有耦合在所述积累栅极与所述中心区域之间的第二电介质层。还公开了一种谐振体晶体管。所述谐振体晶体管具有反转栅极电极、积累栅极电极、源极电极、漏极电极以及多个锚梁。所述谐振体晶体管还具有谐振体,所述谐振体通过所述多个锚梁耦合至且悬挂于所述反转栅极电极、所述积累栅极电极、所述源极电极以及所述漏极电极。还公开了一种谐振体振荡器。
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公开(公告)号:CN101931379A
公开(公告)日:2010-12-29
申请号:CN201010205441.7
申请日:2010-06-12
申请人: 索尼公司
发明人: 盛田伸也
CPC分类号: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02433 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H2009/02488 , H03H2009/02496 , H03H2009/2442 , Y10T29/49117
摘要: 本发明提供了一种共振器及其制造方法、包括该共振器的振荡器和电子设备。这里公开的共振器包括振动部分,振动部分具有导体部分以及三个以上的绝缘部分,其设置为使其将所述导体部分电分离为多个块;其中,当在所述三个以上的绝缘部分中的每一者的两端之间产生电势差时,所述振动部分按照输入到所述导体部分中的所述多个块中的相应一者的A.C.信号的频率,进行基于纵波振动的共振振动。
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