发明授权
- 专利标题： 逻辑元件
- 专利标题（英）： Logical element
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申请号： CN200880107598.7申请日： 2008-09-19
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公开(公告)号： CN101803191B公开(公告)日： 2013-05-29
- 发明人: 山口浩司 , 伊姆兰·马赫布卜 , 冈本创
- 申请人： 日本电信电话株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 日本电信电话株式会社
- 当前专利权人： 日本电信电话株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王波波
- 优先权： 2007-251116 2007.09.27 JP
- 国际申请： PCT/JP2008/066989 2008.09.19
- 国际公布： WO2009/041362 JA 2009.04.02
- 进入国家日期： 2010-03-18
- 主分类号： H03K19/162
- IPC分类号： H03K19/162 ; H01L27/10 ; H03H9/24
摘要：
在一种逻辑元件(100)中，形成支持部(105，106)和在两端由它们支撑的梁(107)。梁(107)具有与衬底(101)的上侧表面隔开的背侧表面，在梁(107)和衬底(101)的相对表面之间建立间隔。激励电极(108)形成在一个支持部(105)上，而振动检测电极(110)形成在另一个支持部(106)上。
公开/授权文献
- CN101803191A 逻辑元件 公开/授权日：2010-08-11
IPC分类:
