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公开(公告)号：CN104229721A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247128.8
申请日：2014-06-05
Applicant: 硅谷实验室公司
CPC classification number: H02N1/00 , B81B3/0081 , H03B5/30 , H03H3/013 , H03H9/02259 , H03H2007/006 , H03H2009/02291 , H03H2009/02385 , H03H2009/0248 , H03H2009/2442 , H03L1/02 , H03L1/04 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117
Abstract: 一种以减少或消除应变从基板至结构，或者应变至电极和主体的传递以使得变换器为耐应变的传递方式，来机械锚定悬浮电极的MEMS结构的技术将MEMS设备从应变源解耦。该技术包括使用嵌入至传导结构材料中的电绝缘材料以用于机械地耦合和电绝缘。一种装置包括MEMS设备，该MEMS设备包括第一电极和第二电极以及从MEMS设备的基板悬浮的主体。主体和第一电极形成第一静电变换器。主体和第二电极形成第二静电变换器。所述装置包括机械地耦合至主体并与主体电隔离的悬浮无源元件。
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公开(公告)号：CN102067442B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200980122614.4
申请日：2009-06-18
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 皮特·杰拉德·斯普内肯 , 约瑟夫·T·M·范贝克 , 克劳斯·雷曼
IPC: H03D7/00
CPC classification number: H03D7/00 , H03H9/02259 , H03H9/02275 , H03H9/2452 , H03H9/465 , H03H2009/02496 , H03H2009/2442
Abstract: 一种操作微机电系统对多个信号进行滤波和混合的方法，所述机电系统包括谐振器、激励电极以及第一检测电极。所述方法包括将第一交流电压信号施加于激励电极，其中产生频率带宽大于且包括谐振器机械频率响应的谐振带宽的激励力，以及其中产生谐振器位移，所述位移由机械频率响应滤波并且改变第一检测电极电特性的数值。所述方法还包括将第二交流电压信号施加于第一检测电极，其中第二第一信号与变化值混合以产生第一交流电流信号。检测第一检测电极处的第一交流电流信号。
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公开(公告)号：CN102037644B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN200980117911.X
申请日：2009-05-08
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 彼得·G·斯蒂内肯
CPC classification number: H03H9/2436 , H03H9/02244 , H03H9/02433 , H03H2009/0237 , H03H2009/2442 , Y10T29/49002
Abstract: 一种微机电谐振器包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料。谐振器的形状使得从谐振器的质心到谐振器的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离。对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。
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公开(公告)号：CN102640417A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080012037.6
申请日：2010-03-15
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 皮特·斯蒂内肯
CPC classification number: H03H9/02433 , H03H9/2405 , H03H9/2436 , H03H2009/02354 , H03H2009/0237 , H03H2009/0244 , H03H2009/02527 , H03H2009/2442
Abstract: 谐振器装置(200)包括基板(206)和振动单元(212)，所述基板包括锚状物(204)，所述振动单元(212)与锚状物(204)相连。振动单元(212)被配置为具有第一振动模式(218)和与第一振动模式(218)不相同的第二振动模式(216)。根据实施例，配置振动单元(212)，以使第一振动模式(218)和第二振动模式(216)在锚状物(204)处相消干涉。
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公开(公告)号：CN102577118A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080043268.3
申请日：2010-09-27
Applicant: VTT技术研究中心
CPC classification number: H03H9/02259 , B81B3/0081 , B81B2201/0271 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H9/2463 , H03H2003/027 , H03H2003/0407 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241 , H03H2009/2442
Abstract: 本发明涉及微机械谐振器，包括：第一材料(2)的基底(1)；悬挂至支承结构(1)的谐振器(3)，谐振器(3)至少部分地具有与支承结构的材料相同的材料(2)，并且形成用于以特定频率f0谐振的尺寸；用于启动、维持谐振器(3)的谐振并且将谐振器(3)的谐振耦接至外部电路(6)的耦接装置(5)；以及所述谐振器(3)包括有第二材料(4)，第二材料(4)的热性质不同于第一材料(2)的热性质。根据本发明，谐振器(3)包括集中位于所述谐振器(3)的特定位置的第二材料(4)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109417373A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780040389.4
申请日：2017-06-29
Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司
CPC classification number: H03H9/02448 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02385 , H03H2009/02527 , H03H2009/2442
Abstract: 本公开描述一种微机械谐振器，所述微机械谐振器包括具有长度(l1)和与长度垂直的宽度(w1)的谐振器元件(40)。谐振器元件具有在1.8至2.2的范围内的长宽比。谐振器元件悬置到有两个或多个锚(41，43)的支撑结构。两个或多个锚中的每一个都附接到第一位置或第二位置。第一位置在谐振器元件的较短侧(42)。第一位置将谐振器元件的宽度(w1)分成较大部分(w3)和较小部分(w2)，使得所述较小部分(w2)和整个宽度(w1)之间的比例在0.10到0.28的范围内。第二位置在较长侧(44)。第二位置将谐振器元件的长度(l1)分成较大部分(l3)和较小部分(l2)，使得所述较小部分(l2)和整个长度(l1)之间的比例在0.36至0.48的范围内。
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公开(公告)号：CN105340177B
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201480031140.3
申请日：2014-07-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H01L41/053 , H01L41/0933 , H02N2/0055 , H03H9/02244 , H03H9/02448 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02511 , H03H2009/2442
Abstract: 本发明提供一种能够将振动部的振动可靠地封闭于振动部侧的振动装置。在振动装置(1)中，支承部(4)的第一端部连结于振动部(2)，框状的基部(3)与支承部(4)的第二端部相连接，被设置成包围振动部(2)，在基部(3)形成有向与支承部(4)延伸的方向交叉的方向延伸的狭缝(3a)，以便在支承部(4)与基部(3)的连结于支承部(4)的第二端部的部分之间设置弯曲振动部(5)，弯曲振动部(5)的两端与基部(3)的剩余部分连续，连续的部分被作为弯曲振动部(5)的固定端，当将与振动部(2)中的固有振动的频率对应的该弯曲振动的波长设为λ时，弯曲振动部(5)的连结于支承部(4)的第二端部的部分与弯曲振动部(5)的固定端之间的长度被设为λ/4。
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公开(公告)号：CN105340177A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480031140.3
申请日：2014-07-03
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H01L41/053 , H01L41/0933 , H02N2/0055 , H03H9/02244 , H03H9/02448 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02511 , H03H2009/2442
Abstract: 本发明提供一种能够将振动部的振动可靠地封闭于振动部侧的振动装置。在振动装置(1)中，支承部(4)的第一端部连结于振动部(2)，框状的基部(3)与支承部(4)的第二端部相连接，被设置成包围振动部(2)，在基部(3)形成有向与支承部(4)延伸的方向交叉的方向延伸的狭缝(3a)，以便在支承部(4)与基部(3)的连结于支承部(4)的第二端部的部分之间设置弯曲振动部(5)，弯曲振动部(5)的两端与基部(3)的剩余部分连续，连续的部分被作为弯曲振动部(5)的固定端，当将与振动部(2)中的固有振动的频率对应的该弯曲振动的波长设为λ时，弯曲振动部(5)的连结于支承部(4)的第二端部的部分与弯曲振动部(5)的固定端之间的长度被设为λ/4。
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公开(公告)号：CN102037644A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200980117911.X
申请日：2009-05-08
Applicant: NXP股份有限公司
Inventor： 彼得·G·斯蒂内肯
CPC classification number: H03H9/2436 , H03H9/02244 , H03H9/02433 , H03H2009/0237 , H03H2009/2442 , Y10T29/49002
Abstract: 一种微机电谐振器包括具有各向异性的方向性弹性特性的材料。谐振器的形状使得从谐振器的质心到谐振器的外围边缘上第一点的第一方向上的第一距离大于从质心到边缘上不同的第二点的第二方向上的第二距离。对于每一第一方向和每一第二方向，材料在第一方向上的弹性模量小于在第二方向上的弹性模量。
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公开(公告)号：CN101931379A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010205441.7
申请日：2010-06-12
Applicant: 索尼公司
Inventor： 盛田伸也
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02433 , H03H9/2431 , H03H9/2436 , H03H9/2452 , H03H2009/02488 , H03H2009/02496 , H03H2009/2442 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明提供了一种共振器及其制造方法、包括该共振器的振荡器和电子设备。这里公开的共振器包括振动部分，振动部分具有导体部分以及三个以上的绝缘部分，其设置为使其将所述导体部分电分离为多个块；其中，当在所述三个以上的绝缘部分中的每一者的两端之间产生电势差时，所述振动部分按照输入到所述导体部分中的所述多个块中的相应一者的A.C.信号的频率，进行基于纵波振动的共振振动。
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