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公开(公告)号：CN104075701A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410119976.0
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制造方法，所述振动片具有较高的检测灵敏度。振动片具有第一振动模式和第二振动模式，其中，所述第一振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相反的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式，所述第二振动模式为，使第一检测部以及第二检测部以与根据科里奥利力而彼此向相反的方向进行振动的第一驱动部以及第二驱动部相同的相位、且彼此向相反的方向进行弯曲振动的振动模式。第二振动模式时的等效串联电阻R2相对于第一振动模式时的等效串联电阻R1的比率r＝R2／R1被设定在0.15～6.0之间。
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公开(公告)号：CN102192735B
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201110066550.X
申请日：2011-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西泽竜太
IPC: G01C19/5642
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供振动型陀螺元件、传感器及其物理量检测方法和电子设备。其课题在于提高振动型陀螺传感器检测精度。振动型陀螺元件具有：基部；从所述基部起在规定面内朝第一方向延伸的检测臂；第一驱动臂，其从检测臂的连接部起朝在规定面内作为与第一方向交叉的方向的正的第二方向延伸；以及第二驱动臂，其从检测臂的连接部起朝负的第二方向延伸，第一驱动臂与第二驱动臂分别以沿与规定面垂直的第三方向且位移方向彼此相同的方式进行振动，利用绕第一方向的轴作用的角速度，沿第二方向产生科里奥利力，在检测臂上产生第二方向的检测振动，对应于检测振动所造成的变形而产生电场，电荷进行移动，从设置在检测臂上的检测电极提取出电信号。
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公开(公告)号：CN101162237B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200710152427.3
申请日：2007-10-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种小型且灵敏度高的加速度传感器。加速度传感器(1)是由固定在基座上的基部(20)和从基部延伸出来并以预定的谐振频率在平面方向上弯曲振动的梁状的振动臂(21)构成的振动体(10)，其中，振动臂具有：在宽度方向的中央部被在与振动方向垂直且开设于长度方向上的贯通开口(22)剖分的振动臂部(23、24)；具有与连接被剖分的振动臂部的前端部的基部同等或者更大质量的附加质量部(25)；以及设置在振动臂部上的励磁电极(31～34)，振动臂由基部与附加质量部以伪双端固定结构支撑，该加速度传感器检测当被施加加速度时的由附加质量部的惯性效果带来的振动体的谐振频率变化。
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公开(公告)号：CN102195604A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110063784.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/19
CPC classification number: H03H9/215 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5656 , G01P15/097 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供振动片、传感器元件、传感器以及电子设备，使传感器元件的灵敏度提高，推进振动片的小型化。振动片(90)的特征在于包括第一基部(100a)和从第一基部沿第一方向延伸的振动臂(200)，振动臂包括沿第一方向从第一基部侧依次排列的第一区域(ZA)、第二区域(ZB)和第三区域(ZC)，第一～第三区域包括沿俯视与第一方向垂直的第二方向产生电场且彼此电独立的第一电极(Na1～Na3)和第二电极(Nb1～Nb3)，第一、第三区域的电场方向(E5、E7)与第二区域的电场方向(E6)互为相反方向，借助第二方向的电场使振动臂产生第一方向的伸缩，使振动臂向与第一方向和第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。
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公开(公告)号：CN106482719B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201610719483.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104949666B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201510130881.3
申请日：2015-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642 , G01C19/5649
CPC classification number: G01L1/162 , G01C19/5607 , G01C19/5614 , G01C19/5621 , G01L1/106 , H01L41/094
Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。
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公开(公告)号：CN103389083A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310163126.6
申请日：2013-05-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西泽竜太
IPC: G01C19/5628
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C25/00 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制造方法以及陀螺传感器、电子设备、移动体。所述振动片能够提高输出信号的S/N比。振动片具备至少局部由压电体构成的驱动臂，所述驱动臂包括：第一面，其沿着激发振动的方向而延展；第二面，其在所述第一面的相反侧；第一侧面，其连接所述第一面和所述第二面；第二侧面，其被配置于所述第一侧面的相反侧且连接所述第一面和所述第二面，所述驱动臂具有：第一电极，其被配置于所述第一面和所述第二面中的至少一个面侧；第二电极，其被配置于所述第一侧面和所述第二侧面中的至少一个面侧，所述第一电极被设置为，关于与所述驱动臂的激发振动的方向正交的、所述驱动臂的等分割面而非对称。
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公开(公告)号：CN103363974A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310094984.X
申请日：2013-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/1132 , H01L41/1136
Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。
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公开(公告)号：CN102192735A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110066550.X
申请日：2011-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 西泽竜太
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供振动型陀螺元件、传感器及其物理量检测方法和电子设备。其课题在于提高振动型陀螺传感器检测精度。振动型陀螺元件具有：基部；从所述基部起在规定面内朝第一方向延伸的检测臂；第一驱动臂，其从检测臂的连接部起朝在规定面内作为与第一方向交叉的方向的正的第二方向延伸；以及第二驱动臂，其从检测臂的连接部起朝负的第二方向延伸，第一驱动臂与第二驱动臂分别以沿与规定面垂直的第三方向且位移方向彼此相同的方式进行振动，利用绕第一方向的轴作用的角速度，沿第二方向产生科里奥利力，在检测臂上产生第二方向的检测振动，对应于检测振动所造成的变形而产生电场，电荷进行移动，从设置在检测臂上的检测电极提取出电信号。
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公开(公告)号：CN113048967A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110318966.X
申请日：2016-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5614
Abstract: 本申请提供能够实现小型化以及生产率的提高的物理量检测装置及其制造方法、电子设备以及移动体。陀螺振动元件(1)具备：驱动信号图案(D1)，其包括被施加驱动信号的驱动电极(130)以及与驱动电极(130)连接的驱动信号配线(132)；第一检测信号图案(S1)，其包括输出第一检测信号的第一检测电极(S1a)以及与第一检测电极(S1a)连接的第一检测信号配线(S1b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C1)；第二检测信号图案(S2)，其包括输出与第一检测信号反相的第二检测信号的第二检测电极(S2a)以及与第二检测电极(S2a)连接的第二检测信号配线(S2b)，并与驱动信号图案(D1)电容耦合(C2)，第一检测信号图案(S1)、第二检测信号图案(S2)以及驱动信号图案(D1)中的任意一个包括对该信号图案的面积进行调节的调节用图案(P)。
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