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公开(公告)号:CN1533030B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200410029608.3
申请日:2004-03-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 田中雅子
Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电振子及压电器件。该压电振动片在将晶体的电轴设为X轴,机械轴设为Y轴,光学轴设为Z轴的条件下,由具有与在Z轴的圆周上使X轴顺时针方向旋转大于3度、小于等于30度而设定的X’轴平行的边,和与在所述X’轴的圆周上使所述Z轴顺时针方向旋转大于33度、小于等于36度而设定的Z’轴平行的边的晶体板构成,所述晶体板具有:与在成为其厚度方向的Y’轴的圆周上顺时针方向旋转大于-35度小于等于-2度的X”轴和Z”轴分别平行的边。由此可实现宽温度范围的稳定频率,并且即使改变形状也能使频率稳定。
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公开(公告)号:CN100481548C
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200610057739.1
申请日:2006-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/1035 , H03H9/0595
Abstract: 本发明提供即使施加落下等的冲击,也能防止连接部破损的使耐冲击性提高的压电振动片和压电振动器。作为本发明的压电振动片的一例的石英振动片(10)使用石英基板(11),并由以下构成:主振动部(12),形成在主振动部(12)的表背面(23、24)上的激励电极(13a、13b),大致沿着主振动部(12)的外侧设置的外框部(20),以及连接主振动部(12)和外框部(20)的连接部(18a、18b)。连接部(18a、18b)由槽部(16a、16b、16c)和平坦部(17a、17b)构成。主振动部(12)使用设置在其周围的连接部(18a、18b)和贯通孔(15)来形成4端(4边),至少一端由于贯通孔(15)而成为开放端(14)。
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公开(公告)号:CN1665129A
公开(公告)日:2005-09-07
申请号:CN200510051403.X
申请日:2005-03-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 田中雅子
CPC classification number: H03H9/17 , H03H9/02086 , H03H9/0519 , H03H9/0547
Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电振子及压电振荡器。在以厚度方向的滑动振动为主振动的压电振动片(10)中,形成包围主面(11)的中央部的第1槽部(12)、第2槽部(13),使第1槽部(12)、第2槽部(13)的厚度形成为是振动片(10)的中央部厚度的96%以上70%以下。由此,在压电振动片中,可以抑制主振动的衰减振动到达压电振动片的四周端部,不会使CI值恶化,并且不会诱发其他振动模式,可以使谐振频率稳定。
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公开(公告)号:CN104079255A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410106982.2
申请日:2014-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02023 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/02062 , H03H9/172 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够降低由加速度等外力引起的振动特性的变化,发挥稳定的振动特性。振动元件(1)具有包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)的压电基板(2)。此外,厚壁部(22)具有沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(212)设置的第2厚壁部(24)以及沿着第3外缘(213)设置的第3厚壁部(25),在压电基板(2)的连接第2厚壁部(24)和第3厚壁部(25)的角部上,设有分别相对于X轴方向和Z’轴方向这两个方向倾斜的第1倾斜外缘部(26)。
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公开(公告)号:CN104079254A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410104441.6
申请日:2014-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/172 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/0538 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(1)具有压电基板(2),该压电基板(2)包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)。并且,厚壁部(22)具有:沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(212)设置的第2厚壁部(24)、以及沿着第3外缘(213)设置的第3厚壁部(25),当设第2厚壁部(24)在振动方向的最大尺寸为Lmax,最小尺寸为Lmin时,平均尺寸(Lmax+Lmin)/2为100μm以下。
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公开(公告)号:CN101162237A
公开(公告)日:2008-04-16
申请号:CN200710152427.3
申请日:2007-10-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种小型且灵敏度高的加速度传感器。加速度传感器(1)是由固定在基座上的基部(20)和从基部延伸出来并以预定的谐振频率在平面方向上弯曲振动的梁状的振动臂(21)构成的振动体(10),其中,振动臂具有:在宽度方向的中央部被在与振动方向垂直且开设于长度方向上的贯通开口(22)剖分的振动臂部(23、24);具有与连接被剖分的振动臂部的前端部的基部同等或者更大质量的附加质量部(25);以及设置在振动臂部上的励磁电极(31~34),振动臂由基部与附加质量部以伪双端固定结构支撑,该加速度传感器检测当被施加加速度时的由附加质量部的惯性效果带来的振动体的谐振频率变化。
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公开(公告)号:CN1893269A
公开(公告)日:2007-01-10
申请号:CN200610099799.X
申请日:2006-06-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明在以厚度切变振动为主振动的双旋转切的石英振动片中,减小DLD所致的频率变化量,提供需要更大的驱动功率的小型形状的石英振动片、使用了该石英振动片的石英振子以及石英振荡器。对石英的正交的3个晶轴进行如下设定,即,把电轴设为X轴,把与其正交的机械轴设为Y轴,把与X轴、Y轴正交的光轴设为Z轴。首先,设定以石英坯料(15)的Z轴为中心、将X轴以顺时针方向旋转大于等于6.5度且小于等于17.5度的任意角度φ而得到的X’轴,用于得到本发明的石英振动片(20)的石英板(10)具有与该X’轴平行的边。进而,石英板(10)具有平行于以X’轴为中心、将Z轴以顺时针方向旋转大于等于34度且小于等于35度10分的任意角度θ而得到的Z’轴的边。
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公开(公告)号:CN1652459A
公开(公告)日:2005-08-10
申请号:CN200510007369.6
申请日:2005-02-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 田中雅子
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/02086 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供一种压电振动片,其特征在于,在压电振动片的主面(11)上形成有用于抑制在厚度方向上的滑动振动从主面(11)的中心部(12)向外周部(11)传播的多个槽(13、14),并把该多个槽(13、14)设置成包围至少一侧的所述主面(11)的中心部(12)的大致封闭状。相对于以往的把用于抑制振动传播的一个槽接近主电极的外周设置的结构,本发明解决了因振动急剧衰减,使主振动的电特性受到影响,不能取得一定的频率可变量等的问题。
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公开(公告)号:CN104079254B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201410104441.6
申请日:2014-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/172 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/0538 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件(1)具有压电基板(2),该压电基板(2)包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)。并且,厚壁部(22)具有:沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(212)设置的第2厚壁部(24)、以及沿着第3外缘(213)设置的第3厚壁部(25),当设第2厚壁部(24)在振动方向的最大尺寸为Lmax,最小尺寸为Lmin时,平均尺寸(Lmax+Lmin)/2为100μm以下。
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公开(公告)号:CN104079260A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410104030.7
申请日:2014-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H01L41/053 , H01L41/0913 , H01L41/0993 , H03B5/32 , H03H9/0538 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/172
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,可以在抑制大型化的同时,减少由加速度(振动)等的外力引起的振动特性的变化,发挥稳定的振动特性。振动元件(1)具有压电基板(2),该压电基板(2)包含振动部(21)和厚度比振动部(21)厚的厚壁部(22)。并且,厚壁部(22)具有:沿着振动部(21)的第1外缘(211)设置的第1厚壁部(23)、沿着第2外缘(213)设置的第2厚壁部(24)、以及沿着第1外缘(212)设置的第3厚壁部(25),在压电基板(2)的前端部设置有分别与X轴和Z’轴这两个轴交叉的倾斜外缘部(26)。
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