公开(公告)号：CN102195604A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110063784.9

申请日：2011-03-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  市川想

IPC: H03H9/19

CPC classification number: H03H9/215 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/097 ,  H03H9/19

Abstract: 本发明提供振动片、传感器元件、传感器以及电子设备，使传感器元件的灵敏度提高，推进振动片的小型化。振动片(90)的特征在于包括第一基部(100a)和从第一基部沿第一方向延伸的振动臂(200)，振动臂包括沿第一方向从第一基部侧依次排列的第一区域(ZA)、第二区域(ZB)和第三区域(ZC)，第一～第三区域包括沿俯视与第一方向垂直的第二方向产生电场且彼此电独立的第一电极(Na1～Na3)和第二电极(Nb1～Nb3)，第一、第三区域的电场方向(E5、E7)与第二区域的电场方向(E6)互为相反方向，借助第二方向的电场使振动臂产生第一方向的伸缩，使振动臂向与第一方向和第二方向分别垂直的方向即第三方向振动。

公开(公告)号：CN103575429A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310335021.4

申请日：2013-08-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川想

IPC: G01L1/10

CPC classification number: H01L41/047 ,  G01L9/0022

Abstract: 本发明提供一种振动片、电子装置以及电子设备，所述振动片能够防止或抑制断线、特别是制造时的断线。振动片（5）包括：一对基部（311、312），其以分隔的方式而配置；一对振动臂（313、314），其被配置在一对基部（311、312）之间。此外，振动臂（313、314）分别具有位于延伸方向上的两端部处的一对端部区域（A1、A2）、和位于端部区域（A1、A2）之间的中央部区域（A3）这三个振动区域。在各个区域（A1～A3）中分别配置有从振动臂（313、314）的侧面跃上至主面上的电极片（611、621），并且被配置在端部区域（A1、A2）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W1），大于被配置在中央部区域（A3）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W2）。

公开(公告)号：CN103575429B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201310335021.4

申请日：2013-08-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川想

IPC: G01L1/10

CPC classification number: H01L41/047 ,  G01L9/0022

Abstract: 本发明提供一种振动片、电子装置以及电子设备，所述振动片能够防止或抑制断线、特别是制造时的断线。振动片（5）包括：一对基部（311、312），其以分隔的方式而配置；一对振动臂（313、314），其被配置在一对基部（311、312）之间。此外，振动臂（313、314）分别具有位于延伸方向上的两端部处的一对端部区域（A1、A2）、和位于端部区域（A1、A2）之间的中央部区域（A3）这三个振动区域。在各个区域（A1～A3）中分别配置有从振动臂（313、314）的侧面跃上至主面上的电极片（611、621），并且被配置在端部区域（A1、A2）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W1），大于被配置在中央部区域（A3）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W2）。