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公开(公告)号:CN107720687A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201710684081.5
申请日:2017-08-11
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02 , B81B1/00 , B81C1/00 , B23K26/382
CPC classification number: B23K26/26 , B23K1/0016 , B23K26/0622 , B23K26/0624 , B23K26/0661 , B23K26/324 , B23K26/382 , B23K26/402 , B23K2101/42 , B81B7/0041 , B81B7/02 , B81C2203/0145 , G01C19/5628 , G01C19/5663 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/0802 , B81C1/00087 , B81B1/002 , B81C1/00531
Abstract: 本发明涉及一种微机械装置,具有第一衬底(11)、具有至少一个第一空腔(100)、具有通到第一空腔(100)的封闭的通道(1),其中,通道穿过第一衬底(11)延伸。本发明的核心在于,通道(1)具有激光钻孔的第一部分区段(12)和等离子蚀刻的第二部分区段(13),其中,等离子蚀刻的第二部分区段(13)具有通到第一空腔(100)的开口,其中,通道(1)在第一部分区段(12)中通过由至少第一衬底(11)的熔化物构成的熔化封口部(5)封闭。本发明还涉及用于制造微机械装置的组合式激光钻孔和等离子蚀刻方法。
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公开(公告)号:CN102980584B
公开(公告)日:2017-12-19
申请号:CN201110260585.7
申请日:2011-09-02
Applicant: 深圳市大疆创新科技有限公司
IPC: G01C21/24
CPC classification number: G01P1/003 , B64C2201/14 , B64D45/00 , F16F7/104 , F16F15/00 , G01C19/16 , G01C19/56 , G01C19/5628 , G01C19/5663 , G01C19/5769 , G01C19/5783 , G01C21/16 , G01C25/00 , G01P1/023 , G01P15/08 , G01P15/0802
Abstract: 本发明涉及一种无人飞行器惯性测量模块,包括壳体组件、传感组件以及减振器,减振器包括第一减振垫,传感组件包括第一电路板、第二电路板、以及连接第一电路板与第二电路板的柔性信号线,第二电路板上固定有惯性传感器,第一电路板固定在壳体组件上;还包括增重块,第二电路板、增重块、第一减振垫以及第一电路板依次粘结形成的整体卡接于壳体组件内。本发明将惯性传感器等对振动性能要求高的元器件集成在第二电路板上,通过设置第一减振垫,使得惯性传感器受到的振动衰减至未使用减振垫时的振动的30%以下,极大减小无人飞行器的工作振动频率对惯性传感器的影响,提高惯性传感器测量的稳定性。
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公开(公告)号:CN107228660A
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201710161665.4
申请日:2017-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 上原纯
CPC classification number: G01P3/00 , G01C19/5614 , G01C19/5628 , G01C19/5776 , G01C19/5783 , G01P15/00 , G01P15/125 , G05F3/02 , H03H7/06 , H03M1/122 , G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种电路装置、物理量检测装置、电子设备及移动体,其能够减轻在设置有与多个物理量变换器对应的多个检测电路的情况下的特性的劣化等。电路装置(20)包括:第一、第二检测电路(61、62);多路调制器;A/D转换电路(100);逻辑电路(110)。第一检测电路(61)被配置在与电路装置(20)的第一边(SD1)相比靠第二方向(DR2)侧,第二检测电路(62)被配置在与第一边(SD1)相比靠第二方向(DR2)侧且与第一检测电路(61)相比靠第一方向(DR1)侧,A/D转换电路(100)被配置在第一、第二检测电路(61、62)中的至少一方与逻辑电路(110)之间。
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公开(公告)号:CN106233090A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201580020476.4
申请日:2015-04-17
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5628 , G01C19/5614 , H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/113
CPC classification number: G01C19/5614 , G01C19/5607 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5642 , H01L41/042 , H01L41/047 , H01L41/1132 , H03H9/21
Abstract: 一种角速度传感器,具有:具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b),第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容,调整对第1驱动片辅助电极施加的电压,以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方
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公开(公告)号:CN104819711A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201510142038.7
申请日:2015-03-27
Applicant: 北京晨晶电子有限公司
IPC: G01C19/5628 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5628 , B81C1/00166
Abstract: 本发明提供了一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法,包括:在石英晶片上依次形成多层金属层,采用光刻-湿法腐蚀方法刻蚀多层金属层及石英晶片,形成三维石英微机械陀螺音叉结构和表面电极;以光刻胶为掩膜,对三维述石英微机械陀螺音叉基片进行溅射镀膜,形成侧面电极、减薄梁电极和表面电连接电极;剥离所述光刻胶,得到三维石英微机械陀螺音叉侧电极。本发明极大地简化了制备工艺流程,工艺兼容性好且易于加工,适用于大批量生产。
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公开(公告)号:CN102098022B
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201010583309.X
申请日:2010-12-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西泽竜太
IPC: G01C19/5628
CPC classification number: H03H9/19 , G01C19/5628 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供降低了振动损失,在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有:基部(20);从基部延伸的多个振动臂(40、50),具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52),至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44),振动片具有:检测电极(71),设于振动臂(40)的侧面(42);检测电极(72),设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置;检测电极(73),设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。
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公开(公告)号:CN103890987A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201380003348.X
申请日:2013-04-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , C23C14/34 , C30B29/32 , G01C19/5628 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , H02N2/18
CPC classification number: H01L41/1878 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C30B23/02 , C30B29/32 , G01C19/56 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0477 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H02N2/18 , Y10T428/12493
Abstract: 本发明的目的在于提供具有高结晶取向性和高强介电特性的NBT-BT非铅压电体膜。本发明的压电体膜具备仅具有(001)取向的(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3―αBiQO3层。(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO3―αBiQO3层形成在NaxM1-x层之上,M表示Pt、Ir或PtIr,Q表示Fe、Co、Zn0.5Ti0.5或Mg0.5Ti0.5,x表示0.002以上0.02以下的值,而且,α表示0.20以上0.50以下的值。
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公开(公告)号:CN103363975A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310102718.7
申请日:2013-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 花冈辉直
IPC: G01C19/5607 , G01P15/08 , B23K26/03
CPC classification number: G01H17/00 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , Y10T29/49004
Abstract: 本发明提供一种振动装置以及振动装置的制造方法,该振动装置实现了搭载有振动元件的半导体基板的小型化。所述振动装置的特征在于,具有:半导体基板;第一电极,其设置在半导体基板的第一面上;保护层,其覆盖第一面的端部并被设置在第一面上;振动元件,其包括振动部、位于振动部上的质量调节部、以及第二电极,在振动元件中,质量调节部位于在俯视观察时与保护层重叠的位置处,并且振动元件的一部分被配置在俯视观察时不与第一面重叠的位置处,第一电极和第二电极被连接并被搭载在第一面上。
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公开(公告)号:CN103222080A
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN201180037747.9
申请日:2011-08-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/316 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , B41J2/14 , B41J2/16 , H02N2/18
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明的目的在于提供及时施加40kV/cm以上的施加电场,也能够进行正确的量的墨水的排出、正确的角速度的测定和基于正压电效应的发电的喷墨头、角速度传感器和压电发电元件。本发明所使用的压电体膜具备压电体层和夹着该压电体层的第一电极和第二电极,第一电极具备(001)取向,压电体层含有具备(001)取向的(1-z)(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-zBaTiO3,x是0.30以上0.46以下,y是0.51以上0.62以下,z是0.07以上0.09以下。
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公开(公告)号:CN102859736A
公开(公告)日:2013-01-02
申请号:CN201180019166.2
申请日:2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , B41J2/14 , C01G23/00 , C01G29/00 , C23C14/02 , C23C14/08 , G01C19/5607
CPC classification number: C01G23/006 , B41J2/14274 , C01G29/006 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2002/72 , C01P2006/32 , C01P2006/40 , C23C14/0021 , C23C14/025 , C23C14/088 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/1871
Abstract: 本发明的目的在于提供含有非铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT相同的高压电性能的压电体膜及其制造方法。本发明的压电体膜具备具有(111)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2-BaTiO3层(0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62)。