角速度传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106233090A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN201580020476.4

    申请日:2015-04-17

    Abstract: 一种角速度传感器,具有:具有第1面(20a)以及与第1面相反侧的第2面(20b)的第1衬底向上振动的驱动片(24、25、114)的振动体(22)、配置于第1衬底的第1面侧的第2衬底(50)、形成于第2衬底侧的部分的第1驱动片控制电极(34a、35a)、形成于第2衬底中的与驱动片的可变位区域相对置的部分且在与第1驱动片控制电极之间构成电容(CV1、CV2)的第1驱动片辅助电极(52、53)、以及对第1驱动片辅助电极施加电压的第1驱动片控制电路(100a、100b),第1驱动片控制电路基于在第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间构成的电容,调整对第1驱动片辅助电极施加的电压,以使第1驱动片控制电极与第1驱动片辅助电极之间的距离固定。(20)、形成于第1衬底且具有在第1衬底的平面方

    一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法

    公开(公告)号:CN104819711A

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201510142038.7

    申请日:2015-03-27

    CPC classification number: G01C19/5628 B81C1/00166

    Abstract: 本发明提供了一种加工三维石英微机械陀螺音叉侧电极的方法,包括:在石英晶片上依次形成多层金属层,采用光刻-湿法腐蚀方法刻蚀多层金属层及石英晶片,形成三维石英微机械陀螺音叉结构和表面电极;以光刻胶为掩膜,对三维述石英微机械陀螺音叉基片进行溅射镀膜,形成侧面电极、减薄梁电极和表面电连接电极;剥离所述光刻胶,得到三维石英微机械陀螺音叉侧电极。本发明极大地简化了制备工艺流程,工艺兼容性好且易于加工,适用于大批量生产。

    振动片、振子、物理量传感器以及电子设备

    公开(公告)号:CN102098022B

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201010583309.X

    申请日:2010-12-10

    Inventor: 西泽竜太

    CPC classification number: H03H9/19 G01C19/5628 H03H9/215

    Abstract: 本发明提供降低了振动损失,在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有:基部(20);从基部延伸的多个振动臂(40、50),具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52),至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44),振动片具有:检测电极(71),设于振动臂(40)的侧面(42);检测电极(72),设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置;检测电极(73),设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。

    振动装置以及振动装置的制造方法

    公开(公告)号:CN103363975A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310102718.7

    申请日:2013-03-27

    Inventor: 花冈辉直

    CPC classification number: G01H17/00 G01C19/5621 G01C19/5628 Y10T29/49004

    Abstract: 本发明提供一种振动装置以及振动装置的制造方法,该振动装置实现了搭载有振动元件的半导体基板的小型化。所述振动装置的特征在于,具有:半导体基板;第一电极,其设置在半导体基板的第一面上;保护层,其覆盖第一面的端部并被设置在第一面上;振动元件,其包括振动部、位于振动部上的质量调节部、以及第二电极,在振动元件中,质量调节部位于在俯视观察时与保护层重叠的位置处,并且振动元件的一部分被配置在俯视观察时不与第一面重叠的位置处,第一电极和第二电极被连接并被搭载在第一面上。

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