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公开(公告)号：CN107925398A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050398.7
申请日：2016-07-07
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 广田和香奈
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/0595 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/215 , H03H9/2489 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供谐振子和谐振装置，在谐振子中，能够在维持振荡电路的振荡效率的状态下，实现谐振子的小型化。谐振子具备基部和具备多个振动臂的振动部，该多个振动臂具有一端和另一端，该一端与基部连接，多个振动臂具有压电薄膜和层叠于该压电薄膜的电极，随着从一端趋向另一端，多个振动臂的各自宽度变大，在多个振动臂，随着从该振动臂的一端趋向另一端，电极的宽度分别变大。
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公开(公告)号：CN102025337A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010294462.0
申请日：2010-09-21
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 卡斯·范·德·阿沃尔特 , 约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 , 约翰内斯·范·温格登 , 约卜·邦当 , 罗伯特·詹姆斯·帕斯克·兰德
CPC分类号： H03H9/02448 , H03H3/0076 , H03H9/2447 , H03H9/2473 , H03H9/2489
摘要： 一种谐振器，包括由第一材料和第二材料形成的梁，第一材料具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数，第二材料具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数，至少在谐振器的工作条件之内第二温度系数的符号与第一温度系数的符号相反，其中第一材料的截面积与第二材料的截面积的比值沿着梁的长度而改变，实质上垂直于梁测量截面积。
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公开(公告)号：CN108141197A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680060159.X
申请日：2016-08-01
申请人： 株式会社村田制作所
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/0595 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H9/2489 , H03H2009/155
摘要： 本发明提供谐振子和谐振装置。能够在面外折曲的谐振子中抑制寄生模式的产生。谐振子具备：基部；多个振动臂，它们具有压电体和之间隔着该压电体相互对置的一对电极层，被设置为一端与基部的前端连接，且相互空开规定空间地向离开基部的方向延伸；以及连结部，其将多个振动臂中的在施加了电场的情况下向相同方向折曲的振动臂的局部彼此连结起来。
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公开(公告)号：CN104236534A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
申请人： 索尼公司
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
摘要： 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN108141195A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680056495.7
申请日：2016-08-16
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H01L41/053 , H03B5/32 , H03H9/02433 , H03H9/0595 , H03H9/1057 , H03H9/2489
摘要： 在谐振子中，抑制谐振频率的偏移。具备：振动部，其具有基部、和一端与基部连接的多个振动臂；保持部，其设在振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，其设在振动部与保持部之间，一端与基部中的隔着基部与和振动臂连接的前端对置的后端连接，另一端与保持部连接，保持臂具有：一对第一支臂，各自的一端在后端与基部连接；以及连结部，其将一对第一支臂连结并与保持部连接。
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公开(公告)号：CN105556840A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480051082.0
申请日：2014-09-11
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/171 , H03H3/0072 , H03H3/02 , H03H9/02448 , H03H9/2484 , H03H9/2489 , H03H2003/027 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241
摘要： 本发明提供振动装置及其制造方法，能够抑制由于温度变化而产生的共振频率的偏差。振动装置(1)具备：支承部(2)；与上述支承部(2)连接，且具有作为简并半导体的n型Si层(11)的振动臂(3a、3b、3c)；以及被设置为使上述振动臂(3a、3b、3c)激振的电极(16、17)，以与上述n型Si层(11)的下表面接触的方式设置含有杂质的硅氧化膜(12、13)。
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公开(公告)号：CN102025337B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201010294462.0
申请日：2010-09-21
申请人： NXP股份有限公司
发明人： 卡斯·范·德·阿沃尔特 , 约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 , 约翰内斯·范·温格登 , 约卜·邦当 , 罗伯特·詹姆斯·帕斯克·兰德
CPC分类号： H03H9/02448 , H03H3/0076 , H03H9/2447 , H03H9/2473 , H03H9/2489
摘要： 一种谐振器，包括由第一材料和第二材料形成的梁，第一材料具有第一杨氏模量和第一杨氏模量的第一温度系数，第二材料具有第二杨氏模量和第二杨氏模量的第二温度系数，至少在谐振器的工作条件之内第二温度系数的符号与第一温度系数的符号相反，其中第一材料的截面积与第二材料的截面积的比值沿着梁的长度而改变，实质上垂直于梁测量截面积。
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公开(公告)号：CN103684338A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310409523.7
申请日：2013-09-10
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H03B5/30 , H03H9/2489
摘要： 本发明提供一种振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，即使小型化，也能够防止由导电性粘接剂的泄漏扩展引起的导电盘侧的短路。该振动片具有：基部；至少2个振动臂，其从所述基部朝相同侧突出，排列设置在预定方向上；支承臂，其从所述基部朝与所述2个振动臂相同侧突出，位于所述2个振动臂之间，而且在一个主面具有凹部；以及第1导电盘和第2导电盘，在俯视所述一个主面时，该第1导电盘和第2导电盘隔着所述凹部而排列设置。
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公开(公告)号：CN104236534B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
申请人： 索尼公司
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
摘要： 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN106664073A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580041879.7
申请日：2015-09-18
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/2447 , B06B1/0603 , H03H3/0072 , H03H9/1057 , H03H9/2489 , H03H2009/02299
摘要： 在共振装置中，实现薄型化并且抑制变形、破损。共振装置具备：下侧基板；上侧基板，与下侧基板之间形成振动空间；突起部，形成在下侧基板或者上侧基板的内面，并向振动空间突出；以及共振子，被配置在振动空间内。共振子具有基部、和从基部并列地沿下侧基板或者上侧基板的内面延伸并朝向内面在垂直方向进行振动的多个振动臂。
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