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公开(公告)号：CN105556840A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480051082.0
申请日：2014-09-11
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/171 , H03H3/0072 , H03H3/02 , H03H9/02448 , H03H9/2484 , H03H9/2489 , H03H2003/027 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/241
摘要： 本发明提供振动装置及其制造方法，能够抑制由于温度变化而产生的共振频率的偏差。振动装置(1)具备：支承部(2)；与上述支承部(2)连接，且具有作为简并半导体的n型Si层(11)的振动臂(3a、3b、3c)；以及被设置为使上述振动臂(3a、3b、3c)激振的电极(16、17)，以与上述n型Si层(11)的下表面接触的方式设置含有杂质的硅氧化膜(12、13)。
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公开(公告)号：CN104236534A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
申请人： 索尼公司
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
摘要： 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN1292535C
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN01820933.5
申请日：2001-11-13
申请人： 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司
CPC分类号： H03H9/2484 , H03H9/21 , H03H2009/02299
摘要： 描述了一种包括谐振器(4)和用于驱动谐振器振荡并响应于此振荡而产生预定频率的信号的集成电子电路(3)的时基。谐振器为支撑于衬底(2)之上的集成微机械音叉谐振器(4)，其在基本上平行于衬底的平面内振荡。音叉谐振器包括从衬底中基本上垂直地延伸出来的基体件(5)、独立的基本上平行的叉齿(7，8)和设置在叉齿附近并与集成电子电路相连的电极结构(9)。
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公开(公告)号：CN104236534B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201410247140.9
申请日：2014-06-05
申请人： 索尼公司
IPC分类号： G01C19/5607
CPC分类号： H03H9/21 , G01C19/5607 , H03H9/02259 , H03H9/2484 , H03H9/2489
摘要： 本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。
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公开(公告)号：CN101919159A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200980102639.8
申请日：2009-01-23
申请人： VTI技术有限公司
发明人： 维耶勒·卡亚卡里
CPC分类号： H03H9/2463 , H02N1/008 , H03H3/0076 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2478 , H03H9/2484 , H03H2009/02299
摘要： 本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。
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公开(公告)号：CN102762954A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201180010540.2
申请日：2011-02-18
申请人： VTI技术有限公司
发明人： 维耶勒·卡亚卡里
IPC分类号： G01C19/5621
CPC分类号： G01C19/5621 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2484 , H03H9/2494
摘要： 本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。
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公开(公告)号：CN100510630C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN02823621.1
申请日：2002-11-26
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5607 , H03H9/21 , H03H9/2484 , H03H2003/0492
摘要： 本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上，分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压，音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
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公开(公告)号：CN1481612A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN01820933.5
申请日：2001-11-13
申请人： 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司
CPC分类号： H03H9/2484 , H03H9/21 , H03H2009/02299
摘要： 描述了一种包括谐振器(4)和用于驱动谐振器振荡并响应于此振荡而产生预定频率的信号的集成电子电路(3)的时基。谐振器为支撑于衬底(2)之上的集成微机械音叉谐振器(4)，其在基本上平行于衬底的平面内振荡。音叉谐振器包括从衬底中基本上垂直地延伸出来的基体件(5)、独立的基本上平行的叉齿(7，8)和设置在叉齿附近并与集成电子电路相连的电极结构(9)。
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公开(公告)号：CN102762954B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180010540.2
申请日：2011-02-18
申请人： 村田电子有限公司
发明人： 维耶勒·卡亚卡里
IPC分类号： G01C19/5621
CPC分类号： G01C19/5621 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2484 , H03H9/2494
摘要： 本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。
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公开(公告)号：CN101919159B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN200980102639.8
申请日：2009-01-23
申请人： 村田电子有限公司
发明人： 维耶勒·卡亚卡里
CPC分类号： H03H9/2463 , H02N1/008 , H03H3/0076 , H03H9/02275 , H03H9/02338 , H03H9/2478 , H03H9/2484 , H03H2009/02299
摘要： 本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。
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