公开(公告)号：CN105594114B

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201480054282.1

申请日：2014-09-08

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 藁科祯久

IPC: H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G01J3/26 ,  G02B6/29395 ,  G02B26/001 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/008

Abstract: 光学模块(1A)包括：半导体基板(2)；静电致动器(10)，其具有固定部(11)和可动部(12)，该固定部(11)固定在半导体基板(2)，该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动；第一弹簧部(20)，其与可动部(12)连接，具有第一弹簧常数K1；第二弹簧部(30)，其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间，具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2；可动反射镜(5)，其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件，由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

公开(公告)号：CN105025802B

公开(公告)日：2018-01-05

申请号：CN201480010856.5

申请日：2014-02-27

Applicant: 德克萨斯仪器股份有限公司

Inventor： P·B·约翰逊 ,  I·O·伍感特

IPC: A61B8/00 ,  H01L29/84 ,  H01L21/02

CPC classification number: B06B1/0292 ,  A61B8/4483 ,  B06B2201/76 ,  H02N1/002 ,  H02N1/006 ,  H02N1/008

Abstract: 一种电容式微加工超声换能器(CMUT)器件100，该器件包括至少一个CMUT单元101a，其包括具有顶部的第一衬底101，该顶部上包括图案化介电层，该图案化介电层包括厚介电区106和薄介电区107。隔膜层120b接合在该厚介电区上并且在薄介电区上方以在微机电系统(MEMS)腔114上方提供可移动隔膜。穿透衬底通孔(TSV)111包括介电衬垫，其从第一衬底的底部延伸到所述隔膜层的顶部表面。顶部金属层161包括TSV上方、可移动隔膜上方的第一部分，并且将TSV耦合到可移动隔膜。图案化的金属层167在第一衬底的底部表面上，包括与对TSV侧向的第一衬底的底部接触的第一图案化的层部分。

公开(公告)号：CN103449352B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201310206782.X

申请日：2013-05-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 前田佳男

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5719

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B7/0074 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00293 ,  B81C2201/019 ,  B81C2203/051 ,  G01C19/5719 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/1461 ,  H05K13/00 ,  Y10T29/49002 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种电子装置及其制造方法、以及电子设备，所述电子装置更有助于小型化和节约空间化。本发明所涉及的电子装置包括：第一基体；第二基体；第三基体，其被所述第一基体和所述第二基体夹持；第一功能元件，其被设置在被所述第一基体和所述第三基体所包围的第一腔室内；第二功能元件，其被设置在被所述第二基体和所述第三基体所包围的第二腔室内。

公开(公告)号：CN105849617A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201480070960.3

申请日：2014-12-30

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： 尼基尔·贾扬特·乔希 ,  乔伊斯·吴

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G06T1/60 ,  G02B26/02 ,  G02B26/023 ,  G06T1/20 ,  H02N1/006 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供用于致动基于机电系统EMS的光调制器的系统、方法及设备。用于基于EMS的光调制器的致动器可由驱动电极、锚定快门电极及悬浮快门电极的组合形成。所述驱动电极的平行板部分连同所述悬浮快门电极一起形成所述致动器的平行板部分。所述驱动电极的拉链部分及所述锚定快门电极形成所述致动器的拉链部分。

公开(公告)号：CN103809286A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310537546.6

申请日：2013-11-04

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 岛田康弘 ,  尾崎裕之 ,  玉森研爾

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/06 ,  A61B3/14 ,  A61B3/12

CPC classification number: H02N1/008 ,  A61B3/1225 ,  A61B3/14 ,  G02B26/0841

Abstract: 本发明涉及致动器、可变形镜、使用可变形镜的自适应光学系统和使用自适应光学系统的扫描激光检眼镜。提供了一种致动器，其包括：衬底；可动部，设置为使得相对于衬底可动；至少三个弹性体，用于以可移位方式将可动部支撑到衬底上；由可动部支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的可动梳状电极；以及由衬底支撑并且在与衬底的表面平行的方向上延伸的固定梳状电极，其中可动梳状电极和固定梳状电极被布置为使得在有间距的情况下交替地彼此啮合，并且所有弹性体中的每一个弹性体具有相对于其它弹性体中的至少一个弹性体形成大于90°且小于或等于180°的角度的长轴。

公开(公告)号：CN101919159B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN200980102639.8

申请日：2009-01-23

Applicant: 村田电子有限公司

Inventor： 维耶勒·卡亚卡里

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/2463 ,  H02N1/008 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/02275 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2478 ,  H03H9/2484 ,  H03H2009/02299

Abstract: 本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。

公开(公告)号：CN102107844B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201010536780.3

申请日：2010-11-05

Applicant: 先进微系统科技股份有限公司

Inventor： 洪昌黎 ,  林大为

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H02N1/008

Abstract: 一种具有多面梳状电极的双轴微机电致动器，包含：一第一半导体层其包含一具有梳状电极的可动件、一具有内梳状电极与外梳状电极的承载件及一具有梳状电极的固定件；一电性绝缘层；及一第二半导体层其设具有一腔体供该可动件及承载件作平面外转动。该承载件的内梳状电极与该可动件的梳状电极交错排列以及该承载件的外梳状电极与该固定件的梳状电极交错排列在由第一半导体层所界定的同一平面上以形成一水平梳状电极驱动致动器。该第二半导体层可还包含梳状电极用以与承载件的外梳状电极垂直地交错排列以形成一垂直梳状电极驱动致动器。结合该水平梳状电极驱动及垂直梳状电极驱动致动器，该可动件即能控制以进行双轴的光栅型式扫描运动。

公开(公告)号：CN102387983A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200980129796.8

申请日：2009-06-15

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： T·弗里德里希 ,  D·C·迈泽尔 ,  C·劳德兹斯

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0037 ,  B81B2201/033 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。

公开(公告)号：CN101183838B

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200710186924.5

申请日：2007-11-13

Applicant: 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司

Inventor： L·帕拉特 ,  W·诺埃尔 ,  J-P·里贝欧蒂 ,  N·戈雷 ,  Y·彼得曼德 ,  A·赞耐特 ,  F·布朗蒂欧 ,  P-A·梅斯特

IPC: H02N1/00 ,  G04C3/00

CPC classification number: G04C3/12 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明涉及微机电系统微型马达和装备该微型马达的时计。本发明建议了产生在由晶体或非晶体材料，特别是基于硅的材料制成的板中的MEMS微型马达，该板包括形成基片的下部层、和至少一个促动器和一个转子蚀刻到其中的上部层，促动器驱动转子绕轴(64)旋转，其特征在于，轴(64)连接到板(30)，该轴(64)为阶梯的，且轴向延伸通过板(30)的孔(74)，且轴(64)通过弹性固定结构(96)在孔(74)中夹紧和定心，该弹性固定结构通过蚀刻在基片(32)中产生，且布置在孔(74)的周边上。

公开(公告)号：CN101677221A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200910173512.7

申请日：2009-09-15

Applicant: 伊塔瑞士钟表制造股份有限公司

Inventor： M·比西格

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  G04C3/08

Abstract: 静电马达包括静电致动器(10)和用于通过足以驱动所述马达的能量对所述致动器进行致动的脉冲发生器(7、8)，所述脉冲发生器适于确定脉冲电压电平(U D )和缩短的脉冲持续时间，所述脉冲持续时间与该确定的电压电平(U D )和为驱动所述马达所需的电能之间存在函数关系，且所述脉冲持续时间与所述致动器的寄生电容(C P )和最大电容(C act_n )之间存在函数关系，以便降低致动器中的静电损失。