光学模块
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105594114B

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201480054282.1

    申请日:2014-09-08

    Inventor: 藁科祯久

    Abstract: 光学模块(1A)包括:半导体基板(2);静电致动器(10),其具有固定部(11)和可动部(12),该固定部(11)固定在半导体基板(2),该可动部(12)通过在与固定部(11)之间产生的静电力相对于固定部(11)移动;第一弹簧部(20),其与可动部(12)连接,具有第一弹簧常数K1;第二弹簧部(30),其连接至第一弹簧部(20)与半导体基板(2)之间,具有比第一弹簧常数K1大的第二弹簧常数K2;可动反射镜(5),其是连接至第一弹簧部(20)与第二弹簧部(30)的连接部(13)的光学部件,由此实现能够使用静电致动器、稳定且高精度地使光学部件动作的光学模块。

    具有多面梳状电极的双轴微机电致动器

    公开(公告)号:CN102107844B

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201010536780.3

    申请日:2010-11-05

    Inventor: 洪昌黎 林大为

    CPC classification number: H02N1/008

    Abstract: 一种具有多面梳状电极的双轴微机电致动器,包含:一第一半导体层其包含一具有梳状电极的可动件、一具有内梳状电极与外梳状电极的承载件及一具有梳状电极的固定件;一电性绝缘层;及一第二半导体层其设具有一腔体供该可动件及承载件作平面外转动。该承载件的内梳状电极与该可动件的梳状电极交错排列以及该承载件的外梳状电极与该固定件的梳状电极交错排列在由第一半导体层所界定的同一平面上以形成一水平梳状电极驱动致动器。该第二半导体层可还包含梳状电极用以与承载件的外梳状电极垂直地交错排列以形成一垂直梳状电极驱动致动器。结合该水平梳状电极驱动及垂直梳状电极驱动致动器,该可动件即能控制以进行双轴的光栅型式扫描运动。

    包括致动器的静电马达
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101677221A

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200910173512.7

    申请日:2009-09-15

    Inventor: M·比西格

    CPC classification number: H02N1/008 G04C3/08

    Abstract: 静电马达包括静电致动器(10)和用于通过足以驱动所述马达的能量对所述致动器进行致动的脉冲发生器(7、8),所述脉冲发生器适于确定脉冲电压电平(U D )和缩短的脉冲持续时间,所述脉冲持续时间与该确定的电压电平(U D )和为驱动所述马达所需的电能之间存在函数关系,且所述脉冲持续时间与所述致动器的寄生电容(C P )和最大电容(C act_n )之间存在函数关系,以便降低致动器中的静电损失。

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