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公开(公告)号：CN108780222A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680081338.1
申请日：2016-12-08
申请人： 密歇根大学董事会
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B6/26 , G02B21/0048 , G02B23/24
摘要： 一种用于在光学探针中使用的光学探针扫描组件，所述光学探针扫描组件包括反射镜组件，所述反射镜组件将照射光束路径和收集光束路径聚焦在样品内的感兴趣的区域处。照射光束和收集光束重叠以形成共焦光束区域。反射镜组件在x轴方向上和在y轴方向上是可移动的以扫描样品内的共焦光束区域。扫描组件进一步包括扫描悬架系统，所述扫描悬架系统包括万向节组件，所述万向节组件连接到反射镜组件以允许反射镜组件围绕一个或多个轴旋转。反射镜由此适于沿着至少两个不同的正交平面扫描，所述正交平面中的一个垂直地延伸到样品中。
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公开(公告)号：CN105103030B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201480013316.2
申请日：2014-01-28
申请人： 斯维尔系统
CPC分类号： G01J3/06 , G01B9/02071 , G01J3/4535 , G01N2021/3595 , G02B26/06 , G02B26/0841
摘要： 一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。
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公开(公告)号：CN104380172B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201380032513.4
申请日：2013-06-19
申请人： 株式会社尼康
CPC分类号： G02B26/0841 , G03F7/70058 , G03F7/70116
摘要： 本发明涉及一种空间光调制器，包括：基板；固定电极，设置于基板的表面上；连结部，一端与表面相连结；可动部，与连结部的另一端相连结，通过连结部的弹性形变而相对于基板摆动；支柱部，一端与可动部相接合，沿基板的厚度方向延伸，与可动部一体摆动；反射部件，与支柱部的另一端相接合，具有与可动部及支柱部一体摆动的反射面；可动电极，设置于反射部件的面向固定电极的面上；导体层，具有比可动电极的膜厚大的膜厚，设置在支柱部上，将可动部与可动电极之间电接合。
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公开(公告)号：CN104937473B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201480004389.5
申请日：2014-05-23
申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
发明人： 弗兰克·维佩曼 , 安德烈亚斯·赖曼 , 尼古拉斯·兰格 , 安德烈亚斯·布罗伊尔
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/08 , G02B26/0841
摘要： 描述一种具有光学结构、连接片和静电执行器的设备，其中连接片将光学结构与用于承载的结构连接并且静电驱动器构成用于使光学结构转向。
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公开(公告)号：CN106796328A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580052957.3
申请日：2015-09-01
申请人： 华为技术有限公司
发明人： 阿兰·弗兰克·格拉维斯 , 多米尼克·约翰·古德威尔
IPC分类号： G02B6/35
CPC分类号： B81B7/008 , G02B6/2935 , G02B6/30 , G02B6/32 , G02B6/3512 , G02B6/3556 , G02B26/0841
摘要： 在一个实施例中，一种对准微机电系统(MEMS)光子交换机的反射镜的方法包括：在第一时间段期间，由第一控制光束照射与所述MEMS光子交换机的第一反射镜阵列的第一反射镜相关的第一组光电二极管，以及在第二时间段期间，由第二控制光束照射与所述第一反射镜阵列的第二反射镜相关的第二组光电二极管，其中所述第二控制光束在所述第一时间段期间关闭，所述第一控制光束在所述第二时间段期间关闭，并且所述第二时间段在所述第一时间段之后。该方法还包括：在第三时间段期间，由所述第一控制光束照射所述第一组光电二极管，其中所述第二控制光束在所述第三时间段期间关闭，并且所述第三时间段在所述第二时间段之后。
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公开(公告)号：CN106604887A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201480080900.X
申请日：2014-08-04
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B25J7/00 , B81B3/0037 , B81B3/0062 , B81B2201/047 , B81B2203/0136 , B81B2203/053 , H02N1/002
摘要： 公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成致动器的转子。该转子通过机械弹簧连接到定子。致动器的转子提供3‑DOF运动，包括垂直平移和围绕结构的轴线的双轴旋转。本活塞管致动器利用能够使用宽广区域电极的构造，并且因此提供使得转子能够平移的高输出力或者能够使转子旋转的高输出转矩。
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公开(公告)号：CN104932098B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201510421259.8
申请日：2015-07-17
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
发明人： 王尚
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B26/101 , H04N5/7458
摘要： 本发明公开了一种微镜阵列和应用该微镜阵列的背光模组及显示装置。所述微镜阵列中的每一个反射镜具有第一偏转轴和垂直于所述第一偏转轴的第二偏转轴，并且其偏转角度单独连续可控。背光模组包括光源、微镜阵列以及控制单元。控制单元响应于背光控制信号来调节微镜阵列中的每一个反射镜的偏转角度，使得微镜阵列取决于背光控制信号将光源发射的光均匀地反射到显示屏幕的整个表面或者汇聚于显示屏幕的一个或多个区域。所提供的背光模组通过利用基于反射原理的微镜阵列可以对背光强度的分布进行灵活地控制。特别地，微镜阵列中的反射镜是机械式地偏转，并且因此对于光源的寿命没有影响，导致背光模组的寿命更长。
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公开(公告)号：CN106537200A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201580021753.3
申请日：2015-03-09
申请人： 瓦里奥管理有限合伙
发明人： 迈克尔·曼拿徳 , 弗雷德里克·纳比克 , 穆罕默德·拉希姆 , 乔纳森·布里埃 , 菲利普·奥利维尔·比尤利
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/12007 , G02B6/124 , G02B6/3596 , G02B6/4208 , G02B26/0841
摘要： 与大多数在多个光设备中两个不同位置之间简单切换的微机电系统设备配置不同，最新微光机电系统在所有转换位置中都很重要。它可以决定一个和其他应用中光延迟线路系统以及借此的光学相干断层成像术系统的特性、波长通道的数量和在其他应用中动态波长切换性能。微机电系统的作用非常重要，它可改变任一设备中不同波长的路径，有益于提升这种微机电系统的性能，并由此提升光组件和光系统等组成部分的性能。发明者对这种微光机电系统反射镜、平面内光处理的光波导技术以及中红外光谱学的设计和实施进行了改进。
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公开(公告)号：CN103842875B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201280047680.1
申请日：2012-09-28
申请人： 数位光学MEMS有限公司
CPC分类号： G03B5/00 , G02B26/0841 , G02B27/646 , G03B2205/0015 , G03B2205/0053 , H04N5/23258 , H04N5/23287
摘要： 提供了一种照相机（800），该照相机（800）包括：多个MEMS静电梳状致动器（1‑3），每个致动器可操作用于对至少一个透镜施加力；以及光学图像稳定（OIS）算法模块（805），其可操作用于响应于照相机（800）的运动，命令多个致动器（1‑3）致动所述至少一个透镜。
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公开(公告)号：CN106054373A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610143833.2
申请日：2016-03-14
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 伊藤智
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/00 , B81C1/00174 , G02B26/0833
摘要： 本发明提供能够以在支撑镜的镜支撑部(镜柱内)未残留有牺牲层的方式形成的电光装置、电光装置的制造方法、以及电子设备。电光装置(100)在扭转铰链(扭矩铰链)(35)上设有第一开口部(351)，在第一开口部(351)的周围，筒状的镜支撑部(41)的第一连接部(411)从与基板(1)侧相反的一侧接触于扭转铰链(35)。在镜支撑部(41)的内部未残留有构成牺牲层的树脂。镜支撑部(41)的与基板(1)相反一侧的第二端部(418)为平板部(416)，镜(51)与该第二端部(418)接触。因此，在镜(51)的表面未产生凹陷。
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