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公开(公告)号：CN103328372B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201180061504.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: H02N2/005 , B81B7/0006 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2207/07
Abstract: 本发明涉及一种装置，其可包括由第一半导体材料形成的挠曲。第一沟槽可形成在所述挠曲中。所述第一沟槽可将所述第一半导体材料分离成其第一部分及第二部分。氧化物层可形成在所述第一沟槽中。所述氧化物层可在所述第一半导体材料的顶部部分上延伸。第二半导体材料可形成在所述氧化物层上。所述第一沟槽及所述氧化物层可协作以将所述第一部分及所述第二部分彼此电隔离。
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公开(公告)号：CN103314320A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201180061580.X
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
Inventor： 罗伯特·J·卡尔韦特 , 罗曼·C·古铁雷斯 , 王桂芹
CPC classification number: G02B7/04 , G02B7/003 , G02B7/08 , G03B13/34 , Y10T29/49002 , Y10T29/49117 , Y10T29/49899
Abstract: 本发明涉及一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如，致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法，其包含：将多个径向延伸的凸片安置在所述致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在所述邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。
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公开(公告)号：CN105209950B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201480028034.X
申请日：2014-03-14
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
Abstract: 在一个实施方案中，静电致动器包括大致平面的固定框架，通过屈曲部耦联到固定框架以便相对于固定框架进行基本上共面的、垂直的运动的大致平面的移动框架，多个相互交叉的齿，齿的固定部分附接到固定框架，齿的移动部分附接到移动框架，和具有相反的输入和输出端的细长输出轴，输入端耦联到移动框架。
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公开(公告)号：CN105209370B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201480026711.4
申请日：2014-03-14
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
CPC classification number: H02N1/008 , B81B3/0051 , B81B2201/033 , G02B7/08
Abstract: 在一个实施方案中，致动器包括移动框架，其通过多个细长的平行运动屈曲部耦联到固定框架以相对于固定框架在制造位置和展开位置之间进行大致平行的运动。屈曲部布置成当移动框架布置在制造位置中时，相对于垂直于移动框架和固定框架延伸的线呈第一角度，并且当移动框架布置在展开位置中时，相对于同一线呈第二角度。通过将第一角度的值约束成小于第一和第二角度总和的大约一半，来控制第一框架相对于第二框架的弧形运动。
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公开(公告)号：CN106154686A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610663277.1
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
Inventor： 罗曼·C·古铁雷斯
CPC classification number: G02B27/646 , B81B7/0067 , G02B7/04 , G03B3/10 , G03B5/00 , G03B2205/0007 , G03B2205/0084 , H02N1/008 , H04M1/0264 , H04N5/2328 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明涉及具有内部致动器的微机械运动控制装置。所述装置(100)可包括外部框架(506)、平台(520)及运动控制机构(501、505、514、515、516)。所述运动控制机构可经调适以准许所述平台相对于所述外部框架在所要的方向上移动及抑制所述平台(520)相对于所述外部框架(506)的旋转。致动器(550)可至少部分包含在所述运动控制机构内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105487194A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201610024046.6
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
Inventor： 罗曼·C·古铁雷斯
CPC classification number: H02N11/006 , B81B3/0035 , B81B3/0051 , G02B6/3584 , G02B7/102 , G02B26/0841 , G03B3/00 , G03B2205/0084 , H02K41/02 , H02N1/008 , Y10T29/49826 , Y10T29/49863 , Y10T74/18072 , G02B7/08 , G03B3/10 , G03B2205/0007 , G03B2205/0046 , G03B2205/0053 , G03B2205/0061
Abstract: 本申请涉及线性部署的致动器。本发明涉及一种用于制造致动器的方法，所述方法包括：形成导电材料的实质上平面致动器装置，所述装置并入有外框架、附接到所述外框架的固定框架、平行于所述固定框架而安置的可移动框架、将所述可移动框架耦合到所述外框架以用于相对于所述外框架及所述固定框架的共面、直线移动的运动控制挠曲及并入有多个相互交叉的齿的致动器，所述致动器的固定部分附接到所述固定框架且所述致动器的移动部分附接到所述可移动框架；将所述可移动框架移动到部署位置，所述部署位置与所述固定框架共面、平行且与所述固定框架间隔开所选择的距离；及将所述可移动框架固定在所述部署位置处以用于相对于所述固定框架的实质上直线、垂直移动。
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公开(公告)号：CN103842875A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280047680.1
申请日：2012-09-28
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
CPC classification number: G03B5/00 , G02B26/0841 , G02B27/646 , G03B2205/0015 , G03B2205/0053 , H04N5/23258 , H04N5/23287
Abstract: 提供了一种照相机（800），该照相机（800）包括：多个MEMS静电梳状致动器（1-3），每个致动器可操作用于对至少一个透镜施加力；以及光学图像稳定（OIS）算法模块（805），其可操作用于响应于照相机（800）的运动，命令多个致动器（1-3）致动所述至少一个透镜。
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公开(公告)号：CN103328372A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201180061504.9
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: H02N2/005 , B81B7/0006 , B81B2201/033 , B81B2203/0154 , B81B2207/07
Abstract: 本发明涉及一种装置，其可包括由第一半导体材料形成的挠曲。第一沟槽可形成在所述挠曲中。所述第一沟槽可将所述第一半导体材料分离成其第一部分及第二部分。氧化物层可形成在所述第一沟槽中。所述氧化物层可在所述第一半导体材料的顶部部分上延伸。第二半导体材料可形成在所述氧化物层上。所述第一沟槽及所述氧化物层可协作以将所述第一部分及所述第二部分彼此电隔离。
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公开(公告)号：CN104105991B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201280064307.7
申请日：2012-10-24
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
CPC classification number: G02B13/0045
Abstract: 光学系统包含五个透镜、一个前光瞳，并且经由MEMS致动器，调整透镜子集在光学系统物侧的位置，由近处至无穷远处达成对目标物的聚焦。最近物侧、双凸型的透镜提供大量的系统光学倍率，用于由一离孔径光阑近如10cm的目标物达成聚焦。
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公开(公告)号：CN106443933A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610818383.2
申请日：2011-11-04
Applicant: 数位光学MEMS有限公司
Inventor： 罗伯特·J·卡尔韦特 , 罗曼·C·古铁雷斯 , 王桂芹
CPC classification number: G02B7/04 , G02B7/003 , G02B7/08 , G03B13/34 , Y10T29/49002 , Y10T29/49117 , Y10T29/49899 , G02B7/00
Abstract: 本发明涉及MEMS致动器对准。一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如，致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法，其包含：将多个径向延伸的凸片安置在所述致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在所述邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。
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