公开(公告)号：CN1926055B

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200580006571.5

申请日：2005-02-10

申请人： 罗斯蒙德公司

发明人： 查尔斯·R·威尔考克斯

IPC分类号： B81B3/00 ,  G02B6/26

CPC分类号： G02B6/357 ,  B81B3/0018 ,  G02B6/266 ,  G02B6/3508 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3594

摘要： 本发明公开了一种基于MEMS的致动器装置。驻极体用于多种基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)中。驻极体能够很长时间地储存电荷，电荷泄漏可以忽略。因此，当驻极体被装入需要致动的MEMS装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)时，所述装置可以很长时间地被初始偏压到任何所需的致动状态，且没有使用外偏压电压。这样的基于MEMS的致动器装置(100，200，600，700，800，1000，1100，1200)可以包括具有至少一个第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和至少一个第二部件(102，502，1010b)的基于MEMS的致动器。所述第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)和第二部件(102，502，1010b)设有浮动电极和第二电极。第一浮动电极(106，402，506，622，916a，1004，1104，1204)上的电荷被选择以便将第一可偏转部件(108，512，1006，1106，1202，1302)定位在距第二部件(102，502，1010b)所需的分开位置处。所述装置可以被用于对准光学部件或改变电气元件的电学特性。

公开(公告)号：CN100532248C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200480027286.7

申请日：2004-09-21

申请人： 松下电工株式会社

发明人： 冈直正 ,  原田宏 ,  荻原淳 ,  福岛博司 ,  野毛宏 ,  铃木裕二 ,  河野清彦 ,  吉原孝明 ,  铃村正彦

IPC分类号： B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  B81C1/00

CPC分类号： G02B26/0816 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/045 ,  B81C1/00484 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/019 ,  G02B6/3516 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/355 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  H02N1/008

摘要： 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。

公开(公告)号：CN100426029C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200510080992.4

申请日：2005-06-30

申请人： 施乐公司

发明人： F·杨 ,  J·A·库比 ,  A·T·特兰 ,  J·马

IPC分类号： G02B6/35

CPC分类号： G02B6/3508 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/3548 ,  G02B6/3576 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596

摘要： 一种用于在通信系统中给信号选择路径的光学滑闸系统，包括连接着电源的接头，包含用于给信号选择路径的滑闸，以及连接着接头和滑闸的梁，使得梁悬起滑闸。当从电源施加电力给接头的时候，梁驱动滑闸移动。另外，还涉及一种使用光学滑闸系统在通信系统中选择信号路径的方法，该方法包括将接头连接到电源上，将滑闸连接到梁上从而悬起滑闸，以及从电源施加电力给接头，使得梁驱动滑闸，以基本上垂直于梁方向的方向移动。

公开(公告)号：CN100426028C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200580018752.X

申请日：2005-05-02

申请人： 雀莱斯企业股份有限公司

发明人： T·巴瑞特 ,  C·瑟斯顿 ,  D·伯恩斯 ,  D·桑德勒 ,  H·提格里

IPC分类号： G02B6/26

CPC分类号： G02B6/3588 ,  G02B6/266 ,  G02B6/3512 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3542 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/356 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/359 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/62 ,  G02B2006/12104 ,  H04Q11/0062 ,  H04Q11/0071 ,  H04Q2011/0073

摘要： 一种光交叉连接开关。在这种开关中，输入光纤组中携载着通信光束的任一光纤可以交叉连接到输出光纤组中的任一光纤。添加对准光束，并使该对准光束与输入光纤组中的每一根光纤所携载的通信光束共轴对准，从而为每一根光纤界定一束通信对准光束。在受限的光通路内，将每一束通信对准光束引导至输入阵列结构中特定的出射孔径。所有通信对准光束的出射孔径都排列在一种用于定义输入阵列的图形中，所以每一束通信对准光束都可以由它在输入阵列结构中的出射孔径位置来标识。第一透镜微透镜阵列中的微透镜将每一束通信对准光束构成到交叉连接光束中。由第一镜子阵列中的第一镜子和第二镜子阵列中的第二镜子这两个镜子将每一束交叉连接光束引导至第二透镜阵列中的透镜。在输出阵列结构中，第二微透镜阵列中的透镜将通信光束聚焦到受限光通路中特定的输入孔径中，最好是一根光纤。输出阵列结构中的每一个受限光通路以光学方式连接到输出光纤组的光纤。位于第二透镜阵列附近的第一检测器阵列监控每一束对准光束的位置，并将位置信息提供给至少一个镜子阵列中用于控制镜子的处理器。

公开(公告)号：CN100424539C

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200610074386.6

申请日：2006-04-14

申请人： 富士通株式会社

发明人： 曾根田弘光 ,  宓晓宇 ,  奥田久雄 ,  壶井修 ,  高马悟觉 ,  上田知史

IPC分类号： G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC分类号： G02B6/357 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/3584 ,  Y10S359/90

摘要： 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。

公开(公告)号：CN100343712C

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200410100529.7

申请日：2004-10-10

申请人： 日本航空电子工业株式会社

发明人： 加藤嘉睦 ,  森惠一 ,  吉田惠 ,  近藤健治 ,  滨田义彦 ,  伊卷理

IPC分类号： G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/00

CPC分类号： G02B6/3566 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/358 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  G02B6/3636 ,  G02B6/3692

摘要： 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。

公开(公告)号：CN1847916A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610074386.6

申请日：2006-04-14

申请人： 富士通株式会社

发明人： 曾根田弘光 ,  宓晓宇 ,  奥田久雄 ,  壶井修 ,  高马悟觉 ,  上田知史

IPC分类号： G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC分类号： G02B6/357 ,  G02B6/3518 ,  G02B6/3556 ,  G02B6/3584 ,  Y10S359/90

摘要： 本发明涉及一种微移动元件及光开关器件。其中微移动元件包括微移动衬底、封装基底以及导电连接部件。该微移动衬底设有微移动单元，该微移动单元包括：框架；可移动部件，其能够转动；扭转连接部件，连接该框架与该可移动部件；以及致动器，用于产生使该可移动部件转动的驱动力。该封装基底包括内部互连结构。该导电连接部件设置在该微移动衬底与该封装基底之间，用于电连接该致动器与该内部互连结构。

公开(公告)号：CN1275066C

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN200410089799.2

申请日：2004-10-10

申请人： 日本航空电子工业株式会社

发明人： 加藤嘉睦 ,  森惠一 ,  吉田惠 ,  伊卷理 ,  滨田义彦 ,  近藤健治

IPC分类号： G02B26/00 ,  G02B6/35 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC分类号： G02B6/358 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584 ,  G02B6/3596 ,  H02N1/008

摘要： 一种小型可移动设备包括形成于基底上并适于在平行于该基底的片表面方向上移位的可移动部分，形成并固定安装于该基底上的固定部分，及铰链，每个铰链的相对端部连接到该可移动部分和固定部分并呈现两反向弯曲状态，当其呈现任何一种弯曲状态，该铰链可通过自保持作用在两个位置有效保持该可移动部分。该基底形成有壁表面，这些壁表面设置成与铰链的相对面在整个铰链的可移动范围中都相对。当铰链呈现两反向弯曲状态任何一种(呈现生产初始状态)时，在铰链与设置在其相对侧的壁表面在铰链长度方向每个点上彼此相等。这克服了在生产中湿蚀后干燥步骤期间存在的困难，克服了可仅在铰链的一侧剩下液体使得该铰链保持吸附在壁表面上。

公开(公告)号：CN1677157A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200410095156.9

申请日：2004-10-31

申请人： 日本航空电子工业株式会社

发明人： 吉田惠 ,  近藤健治 ,  伊卷理 ,  滨田义彦 ,  加藤嘉睦 ,  森惠一

IPC分类号： G02B26/02 ,  B81B3/00

CPC分类号： G02B6/358 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3584

摘要： 形成在基底上的光学器件包括：多个形成在基底顶面的光纤通道；反射镜，在配置在光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，一端支撑反射镜；梳形静电激励器，在与可移动杆的中间部分相关的位置，在可移动杆长度方向上移动可移动杆；多个支撑梁，在可移动杆的驱动力施加点的两侧上的两端附近，可移动支承可移动杆，驱动力由梳形静电激励器产生。支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持可移动杆，由多个支撑梁支承可移动杆的点关于由梳形静电激励器产生的驱动力的施加点对称。即使由梳形静电激励器产生的驱动力包括不同的矢量分量，可抑制可移动杆在驱动可移动杆的所需方向外的方向上的移动。

公开(公告)号：CN1637457A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410059846.9

申请日：2004-06-25

申请人： 三星电机株式会社

发明人： 李贤基 ,  尹湘基

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B6/3584 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546

摘要： 本发明涉及一种光学开关及其制造方法。在本发明中，基底层具有接收光信号的输入端以及有选择地接收来自于输入端的光信号从而把光信号传输到外面的输出端。在与光信号交叉的方向上，微型镜面分别可移动地位于从输入端接收光信号的光信号通路上，以便有选择地将光信号从第一光通路改变到第二光通路上。MEMS致动元件在光通路上面的层中形成并且分别和微型镜面连接，以便在和光信号交叉的方向驱动微型镜面。