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公开(公告)号：CN1512255A
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：CN03148429.8
申请日：2003-06-27
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/35 , G02B6/3552 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3582 , G02B6/3592 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底，安置在衬底的平面上的微电子激励器，一对分别具有接收和发射端的光波导，并且彼此同轴安置成一行并安置在平面上，光闸，可移向光波导的发射端和接收端间的预定位置，并由微电子激励器驱动来移动，以及形成在光闸上的表面层，具有低于80％的反射率以便部分透射其中的入射光束，并具有消光属性，从而根除其中的该部分透射光。
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公开(公告)号：CN1271435C
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200310102590.0
申请日：2003-10-24
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/3508 , G02B6/3548 , G02B6/355 , G02B6/3566 , G02B6/3584 , G02B2006/121
Abstract: 在此公开了一种具有MEMS光学开关以及波导管光学开关的优势，即包括耗电量小、易于封装并且转换速度快的光学开关。所述光学开关包括与输入光纤相连的输入波导管，其中光信号通过输入光纤输入，以及包括与多条输出光纤相连的多个输出波导管，其中光信号通过输出光纤输出。在输入波导管和输出波导管之间定位有致动器，且该致动器具有MEMS结构，并包括固定部件以及通过弹簧与固定部件连接以通过预定力来移动的活动部件。此外，多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起，并按照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管，并且使活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的方式，向与活动部件的移动方向相同的方向移动。
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公开(公告)号：CN1230702C
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN02108425.4
申请日：2002-03-29
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0054 , B81B2201/045 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括：静电驱动器和底座，静电驱动器包括：往复块；对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴；连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块；支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧；连接于所述第1旋转块，并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧；连接于所述线形弹簧的第2旋转块；在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧；连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴；与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器；超微镜片；对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1576928A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200310102590.0
申请日：2003-10-24
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/3508 , G02B6/3548 , G02B6/355 , G02B6/3566 , G02B6/3584 , G02B2006/121
Abstract: 在此公开了一种具有MEMS光学开关以及波导管光学开关的优势，即包括耗电量小、易于封装并且转换速度快的光学开关。所述光学开关包括与输入光纤相连的输入波导管，其中光信号通过输入光纤输入，以及包括与多条输出光纤相连的多个输出波导管，其中光信号通过输出光纤输出。在输入波导管和输出波导管之间定位有致动器，且该致动器具有MEMS结构，并包括固定部件以及通过弹簧与固定部件连接以通过预定力来移动的活动部件。此外，多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起，并按照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管，并且使活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的方式，向与活动部件的移动方向相同的方向移动。
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公开(公告)号：CN1536422A
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN03146520.X
申请日：2003-07-03
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/35 , G02B6/3552 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B6/3592 , G02B6/3594 , G02B26/0841
Abstract: 公开了一种MEMS(微型机电系统)可变光衰减器。MEMS可变光衰减器包括具有上平面的衬底；静电衰减器，布置在衬底的上表面上；发射和接收端，布置在衬底上以便这些端的光轴彼此重合；以及光束闸，由激励器移向发射和接收端间的指定位置；其中光束闸具有第一涂层和第二涂层，该第一涂层由具有超过90％的反射率制成并形成在光束闸的表面上，该第二涂层由具有低于80％的反射率的材料制成，以便由第二涂层透射部分光并具有由第二涂层的厚度确定的透射光的光分解率。该MEMS可变光衰减器最小化由反射生成的光的散射部分的总量并挡住透射光以便不到达接收端，从而降低波长相关损耗(WDL)和极化相关损耗(PDL)，并提高挡住效率。
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公开(公告)号：CN1637457A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN200410059846.9
申请日：2004-06-25
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B6/3584 , G02B6/3514 , G02B6/3546
Abstract: 本发明涉及一种光学开关及其制造方法。在本发明中，基底层具有接收光信号的输入端以及有选择地接收来自于输入端的光信号从而把光信号传输到外面的输出端。在与光信号交叉的方向上，微型镜面分别可移动地位于从输入端接收光信号的光信号通路上，以便有选择地将光信号从第一光通路改变到第二光通路上。MEMS致动元件在光通路上面的层中形成并且分别和微型镜面连接，以便在和光信号交叉的方向驱动微型镜面。
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公开(公告)号：CN1402031A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN01134294.3
申请日：2001-10-30
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/266
Abstract: 本项发明涉及光径改变型可变光衰减器。它包括：通过发送芯线发射光信号的发送光纤；通过接收芯线接收上述发送光纤发射出的光信号的接收光纤；具有阻碍上述发送光纤的发送芯线发射出的光信号到达上述接收光纤的接收芯线上的反射面，且可任意移动，将一部分上述发送光纤发送的光信号传达到接收芯线上，由此将发送光纤发射出的光信号反射到与发送/接收光纤之间的光径毫不相干的路径，因此避免波长对衰减量的影响。
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公开(公告)号：CN1288493C
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN03146520.X
申请日：2003-07-03
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/35 , G02B6/3552 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B6/3592 , G02B6/3594 , G02B26/0841
Abstract: 公开了一种MEMS(微型机电系统)可变光衰减器。MEMS可变光衰减器包括具有上平面的衬底；静电衰减器，布置在衬底的上表面上；发射和接收端，布置在衬底上以便这些端的光轴彼此重合；以及光束闸，由激励器移向发射和接收端间的指定位置；其中光束闸具有第一涂层和第二涂层，该第一涂层由具有超过90%的反射率制成并形成在光束闸的表面上，该第二涂层由具有低于80%的反射率的材料制成，以便由第二涂层透射部分光并具有由第二涂层的厚度确定的透射光的光分解率。该MEMS可变光衰减器最小化由反射生成的光的散射部分的总量并挡住透射光以便不到达接收端，从而降低波长相关损耗(WDL)和极化相关损耗(PDL)，并提高挡住效率。
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