光学开关及其制造方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1576928A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN200310102590.0

    申请日:2003-10-24

    Abstract: 在此公开了一种具有MEMS光学开关以及波导管光学开关的优势,即包括耗电量小、易于封装并且转换速度快的光学开关。所述光学开关包括与输入光纤相连的输入波导管,其中光信号通过输入光纤输入,以及包括与多条输出光纤相连的多个输出波导管,其中光信号通过输出光纤输出。在输入波导管和输出波导管之间定位有致动器,且该致动器具有MEMS结构,并包括固定部件以及通过弹簧与固定部件连接以通过预定力来移动的活动部件。此外,多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起,并按照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管,并且使活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的方式,向与活动部件的移动方向相同的方向移动。

    转动型梳状驱动致动器以及使用该致动器的可变光学衰减器

    公开(公告)号:CN1702489A

    公开(公告)日:2005-11-30

    申请号:CN200410056782.7

    申请日:2004-08-18

    Inventor: 洪允植

    CPC classification number: H02N1/008

    Abstract: 本发明涉及致动器和使用该致动器的光纤衰减器。转动型的梳状驱动致动器包括衬底、可动电极、驱动电极、一个或者多个垂直弹簧、一个或者多个垂直弹簧固定块、水平弹簧和水平弹簧固定块。可动电极布置在衬底平面上并可以平行于衬底平面移动,所述可动电极具有预定的长度,目的是形成包括多个指状物的梳状电极。驱动电极的长度和可动电极的长度相对应,其形成为包括多个指状物的梳状电极,并和可动电极的梳状电极叉指交错布置。垂直弹簧平行于衬底布置,并在可动电极的第一端的两侧上垂直相连可动电极。垂直弹簧固定块和垂直弹簧相连并支持垂直弹簧。水平弹簧的主体部分和可动电极的纵向平行连接。水平弹簧固定块和水平弹簧相连,支持水平弹簧,水平弹簧固定块固定在衬底上。

    光径改变型可变光衰减器

    公开(公告)号:CN1402031A

    公开(公告)日:2003-03-12

    申请号:CN01134294.3

    申请日:2001-10-30

    CPC classification number: G02B6/266

    Abstract: 本项发明涉及光径改变型可变光衰减器。它包括:通过发送芯线发射光信号的发送光纤;通过接收芯线接收上述发送光纤发射出的光信号的接收光纤;具有阻碍上述发送光纤的发送芯线发射出的光信号到达上述接收光纤的接收芯线上的反射面,且可任意移动,将一部分上述发送光纤发送的光信号传达到接收芯线上,由此将发送光纤发射出的光信号反射到与发送/接收光纤之间的光径毫不相干的路径,因此避免波长对衰减量的影响。

    光学开关及其制造方法
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1271435C

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN200310102590.0

    申请日:2003-10-24

    Abstract: 在此公开了一种具有MEMS光学开关以及波导管光学开关的优势,即包括耗电量小、易于封装并且转换速度快的光学开关。所述光学开关包括与输入光纤相连的输入波导管,其中光信号通过输入光纤输入,以及包括与多条输出光纤相连的多个输出波导管,其中光信号通过输出光纤输出。在输入波导管和输出波导管之间定位有致动器,且该致动器具有MEMS结构,并包括固定部件以及通过弹簧与固定部件连接以通过预定力来移动的活动部件。此外,多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起,并按照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管,并且使活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的方式,向与活动部件的移动方向相同的方向移动。

    光学开关
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1230702C

    公开(公告)日:2005-12-07

    申请号:CN02108425.4

    申请日:2002-03-29

    Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括:静电驱动器和底座,静电驱动器包括:往复块;对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴;连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块;支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧;连接于所述第1旋转块,并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧;连接于所述线形弹簧的第2旋转块;在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧;连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴;与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器;超微镜片;对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。

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