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公开(公告)号：CN118963009A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411276061.0
申请日：2024-09-12
申请人： 天津科技大学
摘要： 本发明提供了一种新型悬浮波导矩阵薄膜铌酸锂声光调制器，属于声光调制技术领域，包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底和多个悬浮波导层，各悬浮波导层均包括由下至上层叠的体铌酸锂衬底、刻蚀后的二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、光波导和叉指电极、刻蚀后二氧化硅缓冲层和电磁屏蔽层，各波导层的所有光波导均对应与其位置相关的二维坐标，所有二维坐标形成波导矩阵，分别记载波导矩阵中各元素所对应的光波导的工作参数，各波导层按照层叠顺序依次制备。本发明能够包含多个可用光波导，可调制多种光波长激光，多波段兼容性：悬浮波导结构可以适用于可见光和红外光等不同波段的光信号调制，因此具有更广泛的应用范围。
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公开(公告)号：CN118963008A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411240226.9
申请日：2024-09-05
申请人： 天津科技大学
摘要： 本发明提供薄膜铌酸锂弯折电光调制网络，属于光电集成器件领域，由下至上由硅衬底和多个弯折型波导层堆叠而成，各波导层由下至上包括二氧化硅缓冲层、铌酸锂薄膜、弯折型波导、弯折型行波电极、电磁屏蔽层堆叠而成。各波导层的所有弯折型波导均对应与其位置相关的二维坐标，所有二维坐标形成电光调制网络，分别记载调制网络中各元素所对应的弯折型波导的工作参数，不同波长光纤可根据需要耦合至对应位置的波导，刻蚀后二氧化硅缓冲层底面刻蚀有与行波电极匹配的凹槽，各波导层按照层叠顺序依次制备，电磁屏蔽层由碳纳米材料制成，采用电子束刻蚀技术在铌酸锂薄膜层制作光波导。本发明包含多个弯折型波导，通过增大调制区间提高带宽，并且使产品的集成度提高。
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公开(公告)号：CN118962896A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411101892.4
申请日：2024-08-12
申请人： 北京大学
摘要： 本申请提供一种片上自反射微环，涉及光电子集成领域，包括耦合波导和自反射微环；所述耦合波导与所述自反射微环耦合；所述自反射微环中的波导形成赛格纳克反射器结构；入射光由所述耦合波导耦合进入所述自反射微环；所述自反射微环内光场经过所述赛格纳克反射器结构将正向传输光场与反向传输光场进行耦合，所述反向传输光场耦合进入所述耦合波导，形成反射光；所述反射光用于对所述入射光进行自注入锁定。本申请提供的装置，在不限制影响微环负载品质因子的同时实现可控的、鲁棒的反射，并且可以实现片上鲁棒、可控、且宽谱内性能一致，适用于晶圆级的大规模可靠制备。
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公开(公告)号：CN118938516A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411354579.1
申请日：2024-09-26
发明人： 朱科建
摘要： 本发明实施例提供了一种多通道光幅度均衡器、调节方法、装置、设备及存储介质，多通道光幅度均衡器集成有多个可重构微环谐振器，每个可重构微环谐振器包括微环、第一折射率调节模块以及第二折射率调节模块，微环用于加载第一折射率调节方式和/或第二折射率调节方式，第一折射率调节方式基于第一折射率调节模块确定的，第二折射率调节方式是基于第二折射率调节模块确定的，第一折射率调节模块包括基于静电排斥或者静电吸引驱动的可移动臂，所述第二折射率调节模块包括悬空分段式加热器，通过将第一折射率调节模块以及第二折射率调节模块集成至同一个微环谐振器上，从而实现超大范围共振波长的调节。
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公开(公告)号：CN115933052B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202211266246.4
申请日：2022-10-17
申请人： 南开大学
摘要： 本申请涉及一种光波导耦合器和光波导耦合器的制备方法。一种光波导耦合器用于与光纤耦合，光波导耦合器包括基片以及高折射率波导，高折射率波导形成于基片上，且沿第一方向延伸；高折射率波导具有沿第一方向相对设置的第一端部和第二端部。相较于第二端部，第一端部更靠近光纤。其中，高折射率波导的第一端部的厚度为第一预设值，高折射率波导的第一端部沿第二方向的尺寸为第二预设值，以使第一端部能够与光纤进行TE基模耦合。该光波导耦合器器件简单，易于制作、且具备了端面耦合器兼起偏的功能。
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公开(公告)号：CN112262342B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN201980028948.9
申请日：2019-03-08
申请人： 拉瓦尔大学
IPC分类号： G02F1/19 , G02B6/12 , H04B10/548
摘要： 描述了通常具有衬底、波导和调制电路的光相位调制器；波导安装在衬底上并沿衬底的路径延伸，该波导具有沿波导分布的相移单元的第一系列，每个相移单元具有两个沿路径彼此隔开的布拉格光栅和两个隔开的布拉格光栅之间的腔；调制电路配置为根据调制信号驱动波导的相移单元的系列的长度，从而调制波导的折射率以诱导向沿波导传播的光信号的相移。
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公开(公告)号：CN118897354A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202310484374.4
申请日：2023-04-28
申请人： 国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司
IPC分类号： G02B6/10 , G02B6/12 , G02B6/13 , G02B6/136 , G02F1/125 , C23C28/04 , C23C14/00 , C23C14/06 , C23C16/40 , C23C16/34
摘要： 一种复合光波导结构，复合光波导结构包括衬底、下包层、形成于复合光波导层的复合光波导芯和上包层；下包层、复合光波导层、上包层依次层叠设置于衬底；所述复合光波导层由压应力层和张应力层构成，压应力层设置于张应力层和下包层之间，且压应力层和张应力层的厚度经设计为其形成的压应力和张应力相匹配，以便沉积形成平整的光学膜层。利用压应力层平衡张应力层的拉应力，缓解张应力层高的拉应力导致衬底的翘曲问题，保证后续的光刻、刻蚀工艺正常进行，确保光波导的尺寸精度。
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公开(公告)号：CN118884626A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410960257.5
申请日：2020-09-21
申请人： 利派克株式会社
IPC分类号： G02B6/42 , G02B6/12 , G02B6/13 , H01S5/02325
摘要： 本发明涉及如下的超小型光发送模块及其制造方法，即，可使得边缘型发光器件、光学部件及光纤之间的所有x方向、y方向、z方向上的光学对准自动化，从而降低组装难度。本发明的光发送模块包括：模具本体，具有相向的第一面及第二面；多个边缘型发光器件，分别以与第一面匹配的方式模塑于上述模具本体内，朝向芯片的边缘(edge)方向产生光信号；以及光学部件，用于对从上述多个边缘型发光器件入射到一侧的多个光信号进行光学多路复用(Multiplexing)来输出，上述发光器件的表面与光学部件的光轴设有相同的高度，上述芯片的边缘(edge)方向与上述模具本体的第一面平行。
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公开(公告)号：CN118859409A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410931933.6
申请日：2024-07-12
申请人： 南京邮电大学
摘要： 本申请提供了偏振无关电光调制和波分复用集成器件，包括包层以及包覆于所述包层内的转换合束器件组、调制器件组和光子晶体波分复用器；转换合束器件组包括两个偏振分束‑旋转‑合束器，两个偏振分束‑旋转‑合束器均具有光波入射端口；调制器件组包括两个调制器，两个调制器的光波输入端口分别与所述两个偏振分束‑旋转‑合束器的光波输出端口对接；所述光子晶体波分复用器的光波输入端口与两个所述调制器的光波输出端口对接，并具有一光波出射端口。本申请方案实现了偏振分束‑旋转‑合束器、调制器和光子晶体波分复用器的片上集成，器件尺寸小，可以实现两种波长的偏振无关电光调制和波分复用功能，适用于光通信和波分复用系统。
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