样品气体分析装置与样品气体分析装置用方法

    公开(公告)号:CN103175786B

    公开(公告)日:2017-10-20

    申请号:CN201210551626.2

    申请日:2012-12-18

    摘要: 本发明提供在对一个或多个测量对象成分进行的定量分析中能同时降低干扰影响与测量误差的样品气体分析装置与样品气体分析装置用方法。样品气体分析装置(100)使用向样品照射光而得到的光谱对所述样品中的一个或多个测量对象成分进行定量分析,并根据从开始产生样品气体到经过规定时间为止的第一产生条件以及经过所述规定时间后的第二产生条件对在多变量分析中使用的库数据进行切换,当处于第一产生条件时,使用对测量对象外成分的干扰影响进行了修正的第一库数据对多个测量对象成分进行定量分析,当处于第二产生条件时,使用没有对测量对象外成分的干扰影响进行修正的第二库数据对多个测量对象成分进行定量分析。

    光谱仪
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102906535B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201280001217.3

    申请日:2012-04-26

    IPC分类号: G01B9/02 G01J3/453

    CPC分类号: G01J3/45 G01J3/4535

    摘要: 一种光谱仪(38),包括:一个扫描干涉仪(40,42,44),该扫描干涉仪具有一个光束分离器(40),该光束分离器用于将入射光辐射分成一个跟随反射光束路径的反射光束和一个跟随透射光束路径的透射光束;一个单色光辐射源(52),该单色光辐射源用于将一个基准光束沿着首先入射到该光束分离器(40)的一个第一表面(40’)上的一个第一传播路径(62)发射进入该干涉仪(40,42,44);一个观察光辐射源(46),该观察光辐射源用于将一个观察光束(64)沿着首先入射到该光束分离器(40)的该第一表面(40’)上的一个第二传播路径(66)发射进入该干涉仪(4,6,8;),并且在该第一表面(40’)处与该基准光束重叠;其中当首先并且同时入射到该第一表面(40’)处时,该辐射源(52;46)合作以在该第一表面(40’)处对应的第一(62)与第二(66)传播路径之间生成一个第一夹角(θ),该第一夹角大于该观察光束(64)的发散半角(α)。

    干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置

    公开(公告)号:CN103201603B

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201180052338.6

    申请日:2011-09-06

    发明人: 平尾祐亮

    IPC分类号: G01J3/45

    CPC分类号: G01B9/02061 G01J3/4535

    摘要: 干涉仪(1)基于参照光检测器(25)的检测结果来检测移动镜(16)的位置,并且对测定干涉光进行计测,参照光源(21)构成为包含由半导体激光器构成的光源(21a)。参照光学系统(20)具有将从参照光源(21)射出的激光变换成准直光的参照光用准直光学系统(22),上述准直光相对固定镜(15)倾斜入射。

    光学特性测量装置以及光学特性测量方法

    公开(公告)号:CN103403528B

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201280010861.7

    申请日:2012-02-28

    发明人: 石丸伊知郎

    IPC分类号: G01N21/23 G01J4/04 G01N21/27

    摘要: 经由偏振器到达试样(S)的直线偏振光通过试样(S)附加延迟之后,经由第一偏振片(9)和第二偏振片(11)到达移相器(13)的可移动镜部(131)和固定镜部(132)。而且,由这些镜部反射的测量光经由检偏振器(15)通过成像透镜(17)在检测器(19)的受光面形成干涉图像。此时,通过移动可移动镜部(131)来使由该可移动镜部(131)反射的光束与由固定镜部(132)反射的光束之间的光路长度差连续地发生变化,因此由检测器(19)检测的干涉图像的成像强度连续地发生变化,从而能够获取类似于干涉图的合成波形。通过对此进行傅里叶变换,能够得到每个波长的振幅和每个波长的双折射相位差。

    光学特性测量装置以及光学特性测量方法

    公开(公告)号:CN103403528A

    公开(公告)日:2013-11-20

    申请号:CN201280010861.7

    申请日:2012-02-28

    发明人: 石丸伊知郎

    IPC分类号: G01N21/23 G01J4/04 G01N21/27

    摘要: 经由偏振器到达试样(S)的直线偏振光通过试样(S)附加延迟之后,经由第一偏振片(9)和第二偏振片(11)到达移相器(13)的可移动镜部(131)和固定镜部(132)。而且,由这些镜部反射的测量光经由检偏振器(15)通过成像透镜(17)在检测器(19)的受光面形成干涉图像。此时,通过移动可移动镜部(131)来使由该可移动镜部(131)反射的光束与由固定镜部(132)反射的光束之间的光路长度差连续地发生变化,因此由检测器(19)检测的干涉图像的成像强度连续地发生变化,从而能够获取类似于干涉图的合成波形。通过对此进行傅里叶变换,能够得到每个波长的振幅和每个波长的双折射相位差。

    分光器中的倾斜修正方法

    公开(公告)号:CN103180699A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201180051362.8

    申请日:2011-07-26

    发明人: 原吉宏

    IPC分类号: G01J3/45

    摘要: 在分光测定前的粗调工序中,使移动镜移动(#11),将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加,来检测干涉光的对比度的变化(#12),并且基于该对比度的变化,检测两反射光的相对倾斜量(#13),对初始倾斜误差进行修正(#14)。另一方面,在分光测定前的微调工序中,基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差,检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向,对初始倾斜误差进行修正。

    样品气体分析装置与样品气体分析装置用方法

    公开(公告)号:CN103175786A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210551626.2

    申请日:2012-12-18

    IPC分类号: G01N21/25 G01N21/35

    摘要: 本发明提供在对一个或多个测量对象成分进行的定量分析中能同时降低干扰影响与测量误差的样品气体分析装置与样品气体分析装置用方法。样品气体分析装置(100)使用向样品照射光而得到的光谱对所述样品中的一个或多个测量对象成分进行定量分析,并根据从开始产生样品气体到经过规定时间为止的第一产生条件以及经过所述规定时间后的第二产生条件对在多变量分析中使用的库数据进行切换,当处于第一产生条件时,使用对测量对象外成分的干扰影响进行了修正的第一库数据对多个测量对象成分进行定量分析,当处于第二产生条件时,使用没有对测量对象外成分的干扰影响进行修正的第二库数据对多个测量对象成分进行定量分析。

    傅里叶变换型分光光度计

    公开(公告)号:CN107430033A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201580077537.0

    申请日:2015-04-16

    发明人: 上挂惟史

    IPC分类号: G01J3/45

    摘要: 本发明在具有控制干涉仪的傅里叶变换型分光光度计中,削减光学部件的部件数量,从而容易进行光轴调整,并且使装置小型化。通过第一反射镜(131)和激光源保持部使测定光与激光的光轴一致,该第一反射镜具有朝向分束器(140)反射从测定用光源(110)发出的测定光的反射面(131a)、以及沿着被反射面反射的所述测定光的光轴方向延伸的第一贯通孔(131b),该激光源保持部将激光源(120)保持为使从激光源(120)发出的激光通过所述第一贯通孔并向分束器入射。由于无需以往的用于使测定光与激光的光轴一致的激光用反射镜,从而能够削减部件数量,能够容易地进行光轴调整,并实现装置的小型化。