公开(公告)号：CN102906535B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201280001217.3

申请日：2012-04-26

申请人： 福斯分析股份公司

发明人： 雅各布·弗肯伯格 ,  汉斯·拉森

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J3/453

CPC分类号： G01J3/45 ,  G01J3/4535

摘要： 一种光谱仪（38），包括：一个扫描干涉仪（40，42，44），该扫描干涉仪具有一个光束分离器（40），该光束分离器用于将入射光辐射分成一个跟随反射光束路径的反射光束和一个跟随透射光束路径的透射光束；一个单色光辐射源（52），该单色光辐射源用于将一个基准光束沿着首先入射到该光束分离器（40）的一个第一表面（40’）上的一个第一传播路径（62）发射进入该干涉仪（40，42，44）；一个观察光辐射源（46），该观察光辐射源用于将一个观察光束（64）沿着首先入射到该光束分离器（40）的该第一表面（40’）上的一个第二传播路径（66）发射进入该干涉仪（4，6，8；），并且在该第一表面（40’）处与该基准光束重叠；其中当首先并且同时入射到该第一表面（40’）处时，该辐射源（52；46）合作以在该第一表面（40’）处对应的第一（62）与第二（66）传播路径之间生成一个第一夹角（θ），该第一夹角大于该观察光束（64）的发散半角（α）。

公开(公告)号：CN102906535A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201280001217.3

申请日：2012-04-26

申请人： 福斯分析股份公司

发明人： 雅各布·弗肯伯格 ,  汉斯·拉森

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J3/453

CPC分类号： G01J3/45 ,  G01J3/4535

摘要： 一种光谱仪（38），包括：一个扫描干涉仪（40，42，44），该扫描干涉仪具有一个光束分离器（40），该光束分离器用于将入射光辐射分成一个跟随反射光束路径的反射光束和一个跟随透射光束路径的透射光束；一个单色光辐射源（52），该单色光辐射源用于将一个基准光束沿着首先入射到该光束分离器（40）的一个第一表面（40’）上的一个第一传播路径（62）发射进入该干涉仪（40，42，44）；一个观察光辐射源（46），该观察光辐射源用于将一个观察光束（64）沿着首先入射到该光束分离器（40）的该第一表面（40’）上的一个第二传播路径（66）发射进入该干涉仪（4，6，8；），并且在该第一表面（40’）处与该基准光束重叠；其中当首先并且同时入射到该第一表面（40’）处时，该辐射源（52；46）合作以在该第一表面（40’）处对应的第一（62）与第二（66）传播路径之间生成一个第一夹角（θ），该第一夹角大于该观察光束（64）的发散半角（α）。