Invention Grant
- Patent Title: 薄膜微型机械式谐振器、薄膜微型机械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜微型机械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车
- Patent Title (English): Thin-film micromachine resonator, thin-film micromachine resonator gyroscope, navigation system using the thin-film micromachine resonator gyroscope, and automobile
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Application No.: CN02823621.1Application Date: 2002-11-26
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Publication No.: CN100510630CPublication Date: 2009-07-08
- Inventor: 大内智 , 野添利幸 , 野村幸治 , 多鹿博文
- Applicant: 松下电器产业株式会社
- Applicant Address: 日本大阪府
- Assignee: 松下电器产业株式会社
- Current Assignee: 松下电器产业株式会社
- Current Assignee Address: 日本大阪府
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 汪惠民
- Priority: 360560/2001 2001.11.27 JP; 300116/2002 2002.10.15 JP
- International Application: PCT/JP2002/012310 2002.11.26
- International Announcement: WO2003/052350 JA 2003.06.26
- Date entered country: 2004-05-27
- Main IPC: G01C19/56
- IPC: G01C19/56 ; G01P9/04 ; G01C21/00 ; H03H9/17 ; H01L41/08

Abstract:
本发明提供一种提高了驱动效率的薄膜微型机械式谐振器(谐振器)、改善了对所加的角速度的检测灵敏度的谐振器陀螺仪、使用该谐振器陀螺仪的导航系统及汽车。谐振器包括由非压电材料制成的音叉、设于音叉的臂的主平面的内侧和外侧的第1和第2电极。在分别设于第1和第2电极上的第1和第2压电薄膜之上,分别设有第3和第4电极。通过在第3、第4电极上加上相互反相的交流电压,音叉就会以与中心线成直角的方向作为谐振方向而进行谐振。谐振器陀螺仪利用由其他电极和其他压电薄膜构成的检测部检测出与施加在该谐振器上的角速度对应的哥氏力。
Public/Granted literature
- CN1596362A 薄膜微型机械式谐振器、薄膜微型机械式谐振器陀螺仪、使用该薄膜微型机械式谐振器陀螺仪的导航系统及汽车 Public/Granted day:2005-03-16
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