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公开(公告)号：CN102292615A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201080004909.4
申请日：2010-02-10
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 植村猛
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01C19/574 , G01C19/5755 , G01P15/09
摘要： 该惯性力传感器用检测元件具有质量部、激励部、检测部。激励部在相互正交的第一方向、第二方向、第三方向中的第三方向激励质量部。检测部输出与质量部向第一方向、第二方向的至少任一方向的位移相对应的信号。第一方向及第二方向的共振频率Fsx、Fsy设为比第三方向的共振频率Fzd大。
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公开(公告)号：CN102272963A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080003893.5
申请日：2010-09-22
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22
CPC分类号： B41J2/14233 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , H01L41/319 , H01L41/332
摘要： 本发明提供一种含有无铅强介电材料，且具有低介电损耗、高机电耦合系数以及与钛酸锆酸铅(PZT)相同的高压电常数的无铅压电体薄膜。本发明的压电体薄膜具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO3构成的(Bi、Na、Ba)TiO3膜。(Bi、Na、Ba)TiO3膜具有(001)取向，还含有Ag。在(Bi、Na、Ba)TiO3膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。
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公开(公告)号：CN101821586B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200880111086.8
申请日：2008-10-02
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 大越伟生
CPC分类号： G01P1/02 , G01C19/5607 , G01C21/10 , G01P1/023 , G01P3/00 , G01P15/00 , G01P15/18 , H01L2224/04042 , H01L2224/0554 , H01L2224/0557 , H01L2224/05571 , H01L2224/05573 , H01L2224/16225 , H01L2224/32145 , H01L2224/48465 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
摘要： 角速度及加速度检测用复合传感器具有：角速度检测元件、加速度检测元件、角速度信号处理IC、加速度信号处理IC以及壳体。由多层电路基板构成的壳体收容角速度检测元件、加速度检测元件、角速度信号处理IC以及加速度信号处理IC。壳体将角速度检测元件与角速度信号处理IC电连接，并且将加速度检测元件与加速度信号处理IC电连接。
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公开(公告)号：CN102144145A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN201080002523.X
申请日：2010-03-08
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5614
摘要： 本发明提供一种传感器装置，相对于在第1驱动电极与检测电极之间产生的第1寄生电容、和在第2驱动电极与检测电极之间产生的第2寄生电容的比，将第1驱动信号的振幅与第2驱动信号的振幅的比设定为其倒数。由此，能够高效地抵消由电容耦合所产生的噪声分量，能够提高角速度传感信号的检测精度。
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公开(公告)号：CN101501505B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780029100.5
申请日：2007-08-09
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5719 , G01P15/0922 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
摘要： 本发明的复合检测元件(6)的结构是：将加速度检测元件(2)和角速度检测元件(4)相互层叠配置，且使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开地将角速度检测元件(4)配置在加速度检测元件(2)的上方，并且，角速度检测元件(4)在与加速度检测元件(2)的锤部(12)相对的相对面上设置有使其与加速度检测元件(2)的锤部(12)隔开的凹部(26)。该凹部(26)的至少一部分的深度不超过锤部(12)的运动范围，抑制加速度检测元件(2)的锤部(12)的上方运动。
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公开(公告)号：CN101031775B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200580033373.8
申请日：2005-09-29
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G01C19/5628 , Y10T29/42
摘要： 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
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公开(公告)号：CN1948906B
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200610114485.2
申请日：2006-11-10
申请人： 北京大学
摘要： 本发明涉及一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺，其特征在于：它包括玻璃衬底，驱动电容、驱动反馈电容、检测电容、驱动质量块、不对称质量块和检测质量块；驱动质量块位于中央，驱动质量块的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点；驱动电容和驱动反馈电容的可动电极连接在驱动质量块上，驱动电容和驱动反馈电容的固定电极固定在玻璃衬底上；不对称质量块外侧的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接检测质量块，不对称质量块内侧的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接驱动质量块；检测电容的可动电极固定在检测质量块的两侧，检测电容的固定电极固定在玻璃衬底上；检测质量块的两端分别通过竖向设置的检测模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚点。本发明具备双解耦结构，能够很好的抑制寄生效应，降低漂移；且具有良好的线性度和偏轴灵敏度。
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公开(公告)号：CN1954188B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200580006859.2
申请日：2005-03-14
申请人： 松下电工株式会社
CPC分类号： G01C19/5719
摘要： 主基板(1)配置有：从动质量体(11)，该从动质量体(11)以沿与支撑基板(2)的表面相交的方向振动的方式被驱动；和探测质量体(12)，该探测质量体(12)通过驱动弹簧(13)与从动质量体(11)联接，并且适合在沿支撑基板(2)的平面中位移。沿从动质量体(11)和探测质量体(12)的布置方向延伸的两个探测弹簧(15)分别被连接到探测质量体(12)的相对侧；并且探测弹簧(15)的其它端通过联接部分(16)被连接在一起。
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公开(公告)号：CN101910789A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880124267.4
申请日：2008-12-12
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 一种角速度传感器，在基板(2)的表面，相对中心点(O)呈点对称的位置上设置驱动质量部(4～7)。驱动质量部(4～7)彼此连结连结梁(8)。连结梁(8)使用连接部(9～12)和驱动梁(13～16)来可弯曲地支承。在驱动质量部(4～7)的内侧设置检测质量部(22～25)，检测质量部(22～25)使用检测梁(26～29)而在Z轴方向上可移位地支承。在圆周方向上相邻的驱动质量部(4～7)通过振动产生部(17～20)彼此以相反相位振动。在该状态下，施加角速度(Ω1、Ω2)，则检测质量部(22～25)沿基板(2)的厚度方向移位并振动。移位检测部(30～33)检测厚度方向上的检测质量部(22～25)的移位。
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公开(公告)号：CN101900745A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010181558.6
申请日：2010-05-20
申请人： 索尼公司
发明人： 栗原一夫
CPC分类号： H04N5/23248 , H04N5/23258 , H04N5/2328
摘要： 本发明涉及角速度传感器、角速度信号的放大电路和方法、电子设备。该角速度传感器包括传感器装置和放大电路。传感器装置产生与角速度对应的检测信号。放大电路通过以第一增益非反相放大所述检测信号产生第一输出信号，通过以第一增益反相放大所述检测信号产生第二输出信号，并输出第一输出信号和第二输出信号以便通过计算第一输出信号和第二输出信号之差来获得角速度信号。
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