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公开(公告)号：CN108206237A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201711094954.3
申请日：2017-11-06
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备，该压电元件在含Mn的KNN类压电材料中，明确了作为添加物而被包含在结晶中的Mn的价数的最佳状态，并且实现了压电体层的结晶取向性的提高，具有优异的绝缘性。该压电元件具备:第一电极，其被形成于基板上；压电体层，其被形成于所述第一电极上，并由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)以及锰(Mn)的钙钛矿结构的复合氧化物构成；第二电极，其被形成于所述压电体层上，其中，锰包括二价的锰(Mn2+)、三价的锰(Mn3+)、四价的锰(Mn4+)，二价的锰相对于三价的锰与四价的锰之和的摩尔比(Mn2+/(Mn3++Mn4+))为1以上且10以下，且钾相对于钠的摩尔比(K/Na)为1.1以下。
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公开(公告)号：CN106103100A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013130.1
申请日：2015-03-18
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC分类号： H01L41/183 , B06B1/0603 , B06B1/0644 , B41J2/04581 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1875 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 一种压电元件，其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构，并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向，并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。
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公开(公告)号：CN102473838B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201180002431.6
申请日：2011-04-07
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319 , B41J2/14 , C23C14/08
CPC分类号： B41J2/14032 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
摘要： 一种压电体薄膜，其具备具有(001)取向的电极膜、具有(001)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜(0.29≤x≤0.4)和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层，其中，电极膜、(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜、和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层以该顺序叠层。由此，含有无铅强介电材料的压电体薄膜就具有很高的强介电特性和压电性能。
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公开(公告)号：CN102208524B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201110064931.4
申请日：2011-03-14
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/27 , B41J2/045 , B41J2/135
CPC分类号： B41J2/14233 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/316 , H01L41/318 , H01L41/319
摘要： 本发明提供一种压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置，能够增大电极材料选择的自由度。本发明的压电元件包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有由贱金属构成的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。
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公开(公告)号：CN103360065A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310098827.6
申请日：2013-03-26
申请人： 三菱综合材料株式会社
IPC分类号： C04B35/491 , C04B35/622
CPC分类号： H01L41/1876 , H01G4/018 , H01G4/1245 , H01L28/56 , H01L29/78391 , H01L37/025 , H01L41/0815 , H01L41/318 , H01L41/319 , H03H9/02031 , Y10T428/24975 , Y10T428/265
摘要： 本发明提供一种PZT系铁电薄膜及其制造方法，该PZT系铁电薄膜具备与以往的铁电薄膜同等的介电特性的同时具备更高寿命可靠性。本发明的PZT系铁电薄膜，其形成于具有结晶面沿（111）轴向取向的下部电极的基板的下部电极上，其中，铁电薄膜具备：取向控制层，形成于下部电极上且择优晶体取向被控制在（111）面，层厚在45nm～270nm的范围内；及膜厚调整层，形成于取向控制层上且具有与取向控制层的晶体取向相同的晶体取向；在取向控制层与膜厚调整层之间形成界面。
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公开(公告)号：CN102473838A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201180002431.6
申请日：2011-04-07
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/08 , H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC分类号： B41J2/14032 , C23C14/088 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316 , H01L41/319
摘要： 一种压电体薄膜，其具备具有(001)取向的电极膜、具有(001)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜(0.29≤x≤0.4)和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层，其中，电极膜、(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75-BaTiO3膜、和(Na，Bi)TiO3-BaTiO3压电体层以该顺序叠层。由此，含有无铅强介电材料的压电体薄膜就具有很高的强介电特性和压电性能。
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公开(公告)号：CN102272963A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080003893.5
申请日：2010-09-22
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/16 , G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22
CPC分类号： B41J2/14233 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , H01L41/319 , H01L41/332
摘要： 本发明提供一种含有无铅强介电材料，且具有低介电损耗、高机电耦合系数以及与钛酸锆酸铅(PZT)相同的高压电常数的无铅压电体薄膜。本发明的压电体薄膜具有由钙钛矿型复合氧化物(Bi、Na、Ba)TiO3构成的(Bi、Na、Ba)TiO3膜。(Bi、Na、Ba)TiO3膜具有(001)取向，还含有Ag。在(Bi、Na、Ba)TiO3膜中的摩尔比Ag/Ti在0.001以上0.01以下。
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公开(公告)号：CN101355134B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200810135194.0
申请日：2003-06-17
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01P15/0922 , B41J2/14233 , B41J2/14282 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/319
摘要： 本发明涉及压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法和喷墨式记录装置，压电元件具备第一电极层、压电体层和第二电极层，第一电极层由选自钴、镍、铁、锰及铜的至少一种金属与贵金属构成，压电体层由钙钛矿型氧化物构成，在第一电极层与压电体层间设有由优先取向于立方或正方晶系的(100)或(001)面的钙钛矿型氧化物构成的取向控制层，该控制层的第一电极层侧的部分为：(100)或(001)面取向的区域存在于位于第一电极层中取向控制层侧的表面部的所述至少一种金属上，且与层厚方向垂直的截面中的所述(100)或(001)面取向区域的面积从第一电极层侧向着压电体层侧变大，所述至少一种金属，在第一电极层以控制取向控制层的成长方向的方式形成图案。
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公开(公告)号：CN101785126A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200880104120.9
申请日：2008-06-11
申请人： 马克西姆综合产品公司
CPC分类号： C23C14/0617 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H2003/025
摘要： 本发明涉及用于BAW谐振器的压电AlN的沉积。用于BAW谐振器的压电沉积，其中薄非晶AlN层在底电极之上，之后在该非晶AlN层上沉积第二AlN层，沉积发生在允许已沉积的AlN自组织成为所需柱状相的温度处。底电极在其下可以具有例如布拉格反射镜的声学隔离。披露了制备工艺的各种细节。
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公开(公告)号：CN100577424C
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200710088474.6
申请日：2007-03-27
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 李欣山
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0973 , H01L41/319 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49401
摘要： 本发明提供防止振动板发生剥离，耐久性与可靠性提高的促动器装置制造方法及具有由该方法形成的促动器装置的喷墨式记录头。该促动器装置具备：设于衬底一面上的振动板、及经由该振动板设置的下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，该促动器装置的制造方法的特征在于，至少具有：振动板形成工序，其至少包括在所述衬底的一面侧形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm并且XRD图案的(002)面峰值的半价宽度为0.4以下的锆层，对该锆层进行热氧化以使形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm的氧化锆从而形成构成所振动板的一部分的绝缘体膜的工序；在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序。
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