固体摄像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101009295A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200710001642.3

    申请日:2007-01-09

    Abstract: 本发明提供一种固体摄像装置,其可以防止由斜光造成的混色,并且可以减少存在于各像素间的受光灵敏度的偏差。在由半导体基板(11)规定的受光区域中形成:等间隔地以矩阵状形成的多个受光元件(15)、与多个受光元件(15)对应地设于半导体基板(11)上并读出各受光元件(15)所产生的电荷的多个读出电极(13)、将多个读出电极(13)覆盖并且在各受光元件(15)上具有开口区域的遮光膜(17)、设于各受光元件(15)上的开口区域中的第一光波导路(8)、设于遮光膜上的第二光波导路(10)。第二光波导路(10)被制成点、条纹或格子状。

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