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公开(公告)号：CN108428785A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201711268261.1
申请日：2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/495 , C04B35/622 , C04B41/88
CPC classification number: H01L41/1873 , B41J2/14201 , H01L41/0805 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种提高了压电特性的压电元件、以及压电元件应用装置。所述压电元件为，具备第一电极(60)、第二电极(80)、和被设置于所述第一电极(60)与所述第二电极(80)之间的、由包括钾、钠、铌的钙钛矿型的复合氧化物构成的薄膜的压电体层(70)的压电元件(300)，所述压电体层(70)在由θ-2θ测量所得到的X射线衍射图案中，在2θ为45°～47°的范围内存在因(002)以及(200)而得到的峰值，所述峰值的高角度侧的峰值位置为46.0°≤2θ≤46.5°，且高角度侧的峰值与低角度侧的峰值的2θ之差大于0.60°。
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公开(公告)号：CN107112412A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201480084297.2
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: H01L41/187 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B35/495 , C04B35/62218 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3268 , C04B2235/3272 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/44 , C04B2235/449 , C04B2235/76 , C04B2235/768 , H01L41/0474 , H01L41/39
Abstract: 一种压电材料，含有第1成分、第2成分和第3成分，其中，第1成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度为Tc1且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第2成分在单独组成时为菱方晶系以外的晶体，居里温度Tc2比上述Tc1高且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第3成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度Tc3为上述Tc2以上，由具有钙钛矿型结构且与上述第1成分不同的非铅系的复合氧化物构成，将上述第3成分相对于上述第1成分和上述第3成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1－α)×Tc1＝Tc4时，|Tc4－Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号：CN104512115B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410493624.1
申请日：2014-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 酒井朋裕
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/053 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/0815 , H01L41/1878 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供防止密合层剥离且压电体层整体在(100)面优先取向的压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置。压电元件(300)具备作为第1电极(60)的衬底层设置的密合层(56)、设置于密合层上的第1电极(60)、设置于第1电极上的压电体层(70)和设置于压电体层上的第2电极(80)；密合层(56)由含铋、锰、铁和钛中的至少一个的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，第1电极(60)由在(100)面优先取向的金属构成，压电体层(70)由在(100)面优先取向的钙钛矿结构的复合氧化物构成。
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公开(公告)号：CN102529371B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110360314.9
申请日：2011-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。
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公开(公告)号：CN116390627A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211655936.9
申请日：2022-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电基板、压电元件及液体喷出头。该压电基板能够得到即便是在大气气氛中也具有良好的压电特性的压电元件。一种压电基板，包括：基板；第一电极，形成在所述基板上；以及压电体层，形成在所述第一电极上，并包含钾、钠和铌，针对所述压电体层的表面从垂直方向倾斜54.74°照射X射线的X射线衍射测定的Psi轴方向的扫描结果中的所述压电体层的(100)面的X射线强度峰的半宽度为大于0°且在1.2°以下。
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公开(公告)号：CN113809228A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110653119.9
申请日：2021-06-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/047
Abstract: 本发明提供一种在作为压电体层的材料而使用了铌酸钾钠的压电元件中作为压电特性而能够获得更大的位移特性的压电元件以及压电元件应用设备。压电元件(1)具备第一电极(20)、第二电极(40)和被设置在第一电极(20)与第二电极(40)之间的压电体层(30)，其中，压电体层(30)由包括钾(K)、钠(Na)和铌(Nb)的钙钛矿型结构的复合氧化物组成，并且在基于θ‑2θ测量的X射线衍射图谱中，具有源自(100)面的第一峰、源自(010)面的第二峰和源自(001)面的第三峰。
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公开(公告)号：CN108656749A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810159615.7
申请日：2018-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083 , H01L41/18
Abstract: 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有：基板；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体；第二电极，其被形成在压电体层上，压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值，且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜，并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。
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公开(公告)号：CN107004758A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480084053.4
申请日：2014-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , C04B35/00 , H01L41/39
CPC classification number: C04B35/468 , C04B35/00 , C04B35/453 , C04B35/475 , C04B2235/32 , C04B2235/3236 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/39
Abstract: 压电材料含有：第一成分，其在单独组成中为菱面体晶，居里温度为Tc1，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；第二成分，其在单独组成中为菱面晶以外的结晶，居里温度Tc2比上述Tc1低，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；以及第三成分，其在单独组成中为与上述第二成分相同的上述菱面体晶以外的结晶，居里温度Tc3为上述Tc1以上，具有钙钛矿型构造，且由与上述第二成分不同的非铅系的复合氧化物构成，在将上述第三成分相对于上述第二成分和上述第三成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1‑α)×Tc2＝Tc4的情况下，|Tc4‑Tc2|为50℃以下。
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公开(公告)号：CN104249561B
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410119238.6
申请日：2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/055 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , C04B35/4682 , C04B35/495 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3236 , C04B2235/3244 , C04B2235/3249 , C04B2235/3255 , C04B2235/3262 , C04B2235/3274 , C04B2235/3293 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/768 , C04B2237/76 , C04B2237/765 , G01H11/08 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/186
Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，其减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，居里温度也高。含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第3成分，由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成，Tc2比Tc1高，Tc3为Tc2以上，（0.1×Tc1＋0.9×Tc2）的值为280℃以下。
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