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公开(公告)号：CN110271287B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910183903.0
申请日：2019-03-12
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/14 , H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/187
摘要： 本发明提供一种压电特性良好的压电元件以及液体喷出头。压电元件具备：第一电极，其被设置在基体的上方；取向控制层，其含有钛，并且被设置在所述第一电极的上方；压电体层，其具有钙钛矿型的结晶结构，并且被设置在所述取向控制层的上方；第二电极，其被设置在所述压电体层的上方，所述取向控制层的厚度在5.0nm以上且22.0nm以下。
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公开(公告)号：CN101676109A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200910173568.2
申请日：2009-09-17
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , H01L41/0973
摘要： 本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率，提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括：流路形成基板(10)，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12)；和压电元件(300)，其具备：第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO 3 表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80)；上述压电体层具有单斜晶系构造，上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度，比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
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公开(公告)号：CN102024902B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201010282918.1
申请日：2010-09-14
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/083 , B41J2/045
CPC分类号： B41J2/14233 , H01L41/1876
摘要： 本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括：第1导电层10；与第1导电层10相对向配置的第2导电层20；在第1导电层10和第2导电层20之间配置，由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低，压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。
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公开(公告)号：CN102555478A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110435790.2
申请日：2011-12-22
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/1878 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/318
摘要： 本发明提供降低环境负荷，具有高绝缘性而抑制漏电流的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。上述液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室、以及具有压电体层和设置于该压电体层的电极的压电元件，上述压电体层由具有包含铋以及铁的钙钛矿型结构的复合氧化物构成，包含从由钠、钾、钙、锶以及钡构成的组中选择的至少一种第一掺杂元素、和由铈构成的第二掺杂元素。
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公开(公告)号：CN102529371A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110360314.9
申请日：2011-11-14
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/045
CPC分类号： H01L41/0815 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , H01L41/1878 , H01L41/318
摘要： 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。
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公开(公告)号：CN101722730A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910179424.8
申请日：2009-10-09
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
摘要： 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号：CN101638004A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910161246.6
申请日：2009-07-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03
摘要： 本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏，并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)；和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300)，该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80)，所述第一电极(60)含有铂及氧化钛，该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol％以上。
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公开(公告)号：CN108068458A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711114556.3
申请日：2017-11-13
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： B41J2/045
摘要： 本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制，并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层，压电体层为，包含钾、钠、铌，且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜，在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。
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公开(公告)号：CN102180012B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201110005307.7
申请日：2011-01-06
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/187 , B41J2/14233 , B41J2202/03
摘要： 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置，用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备：与喷嘴开口连通的压力产生室；以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件；所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成，且包括具有负电荷的Pb?O复合缺陷和具有正电荷的Pb?O复合缺陷，具有负电荷的Pb?O复合缺陷比具有正电荷的Pb?O复合缺陷更多地存在。
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