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公开(公告)号：CN102024902B
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201010282918.1
申请日：2010-09-14
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/083 , B41J2/045
CPC分类号： B41J2/14233 , H01L41/1876
摘要： 本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括：第1导电层10；与第1导电层10相对向配置的第2导电层20；在第1导电层10和第2导电层20之间配置，由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低，压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。
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公开(公告)号：CN101638004A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910161246.6
申请日：2009-07-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03
摘要： 本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏，并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)；和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300)，该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80)，所述第一电极(60)含有铂及氧化钛，该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol％以上。
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公开(公告)号：CN102225664A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110096414.5
申请日：2009-07-08
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
摘要： 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号：CN102024902A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010282918.1
申请日：2010-09-14
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/083 , B41J2/045
CPC分类号： B41J2/14233 , H01L41/1876
摘要： 本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括：第1导电层10；与第1导电层10相对向配置的第2导电层20；在第1导电层10和第2导电层20之间配置，由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低，压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。
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公开(公告)号：CN102225664B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110096414.5
申请日：2009-07-08
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
摘要： 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号：CN101638004B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200910161246.6
申请日：2009-07-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03
摘要： 本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏，并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)；和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300)，该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80)，所述第一电极(60)含有铂及氧化钛，该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol％以上。
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公开(公告)号：CN101623953B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200910158840.X
申请日：2009-07-08
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
摘要： 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号：CN101623953A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910158840.X
申请日：2009-07-08
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
摘要： 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号：CN203019823U
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201220370646.5
申请日：2012-07-27
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/1433 , B41J2/1606
摘要： 本实用新型提供液体喷射头及液体喷射装置，其提高了喷射效率及液体喷射特性。液体喷射头具备形成有作为贯穿孔的喷嘴孔（21）的喷嘴板（20），且从喷嘴孔喷射液体，喷嘴孔由第一喷嘴部（21a）和第二喷嘴部（21b）构成，其中，所述第一喷嘴部（21a）在喷嘴板的从喷嘴喷射液体的喷射面侧开口，所述第二喷嘴部（21b）与第一喷嘴部连通，并在喷嘴板的喷射面的相反侧的面上开口，且该开口的大小大于第一喷嘴部的喷射面上的开口，第一喷嘴部的内壁面整体通过与喷嘴板的基材相比防液性较高的防液膜（201）而被覆盖，并且在第二喷嘴部的内壁上设置有与防液膜相比防液性较低的区域。
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