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公开(公告)号：CN104078452B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410116108.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明提供能够使发送部以及接收部双方的灵敏度均提高的压电元件模块、超声波换能器、超声波设备、液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件模块的制造方法。在同一基板（310）上具备具有第一压电体层（371）的第一压电元件、和具有与上述第一压电体层不同的第二压电体层（372）的第二压电元件，且上述第一压电体层的d常量比上述第二压电体层的d常量大。
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公开(公告)号：CN104851970A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510086511.4
申请日：2015-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古林智一
CPC classification number: B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , H01L41/0815 , H01L41/0933 , H01L41/0973 , H01L41/277 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/332 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及压电致动器、液体喷射头、以及压电致动器的制造方法，不管基底如何都能够使压电体层在(100)面优先取向，并能够以不伴随位移量的降低的方式抑制裂缝的产生。是具备设置有多个压力产生室(12)的流路形成基板(10)、以及设置在流路形成基板(10)上的振动板(50)的压电致动器，该压电致动器具备：第一电极(60)，其与压力产生室(12)对应地形成；第一种子层(65)，其设置于第一电极(60)；第二种子层(66)，其设置于振动板(50)的、至少与第一电极(60)邻接的位置；第一压电体层(71)，其设置于第一种子层(65)，具有钙钛矿结构；第二压电体层(72)，其以覆盖第一压电体层(71)以及第二种子层(66)的方式设置；以及第二电极(80)，其设置于第二压电体层(72)，第一压电体层(71)以及第二压电体层(72)在(100)面优先取向。
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公开(公告)号：CN107887498A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201710877982.6
申请日：2017-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H02N2/103 , A61B8/4494 , B06B1/0603 , B25J9/12 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/11 , B65G23/00 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/0913 , H01L41/29 , H01L41/317 , H01L41/332 , H02N2/004 , H01L41/22
Abstract: 提供能够降低失效概率的压电元件、压电执行器以及压电元件的制造方法。压电元件具有压电体以及配置在所述压电体的第一电极，在所述第一电极和所述压电体的排列方向观察的平面图中，所述压电体的配置有所述第一电极的一侧的面中的、位于所述第一电极的周围且从所述第一电极的边缘起10μm以内的区域具有晶面。
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公开(公告)号：CN107800325A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710762727.7
申请日：2017-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供压电元件、致动器及马达、机器人、输送装置及打印机，提供一种能够充分地抑制电极成分向压电体层的扩散，并且能够在充分地提高电特性的同时使压电元件的厚度变厚的压电元件，另外，提供具备该压电元件的压电致动器、压电马达、机器人、电子部件输送装置及打印机。压电元件的特征在于，具备：基板；第一电极，配置于所述基板上；压电体层，配置于所述第一电极上，并具有构成为包含压电体材料的多个层，所述多个层的厚度的总和在1.6μm以上且10μm以下的范围内；以及中间层，配置于所述压电体层的层间，并构成为含有钛。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104851970B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201510086511.4
申请日：2015-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古林智一
CPC classification number: B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , H01L41/0815 , H01L41/0933 , H01L41/0973 , H01L41/277 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/332 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及压电致动器、液体喷射头、以及压电致动器的制造方法，不管基底如何都能够使压电体层在(100)面优先取向，并能够以不伴随位移量的降低的方式抑制裂缝的产生。是具备设置有多个压力产生室(12)的流路形成基板(10)、以及设置在流路形成基板(10)上的振动板(50)的压电致动器，该压电致动器具备：第一电极(60)，其与压力产生室(12)对应地形成；第一种子层(65)，其设置于第一电极(60)；第二种子层(66)，其设置于振动板(50)的、至少与第一电极(60)邻接的位置；第一压电体层(71)，其设置于第一种子层(65)，具有钙钛矿结构；第二压电体层(72)，其以覆盖第一压电体层(71)以及第二种子层(66)的方式设置；以及第二电极(80)，其设置于第二压电体层(72)，第一压电体层(71)以及第二压电体层(72)在(100)面优先取向。
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公开(公告)号：CN106229405A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610191495.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318 , B41J2/0452
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的
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公开(公告)号：CN104078452A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116108.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明提供能够使发送部以及接收部双方的灵敏度均提高的压电元件模块、超声波换能器、超声波设备、液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件模块的制造方法。在同一基板（310）上具备具有第一压电体层（371）的第一压电元件、和具有与上述第一压电体层不同的第二压电体层（372）的第二压电元件，且上述第一压电体层的d常量比上述第二压电体层的d常量大。
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公开(公告)号：CN107068850B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201710059759.0
申请日：2017-01-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。
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公开(公告)号：CN106229405B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201610191495.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。
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