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公开(公告)号:CN102180012B
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201110005307.7
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14233 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置,用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备:与喷嘴开口连通的压力产生室;以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件;所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成,且包括具有负电荷的Pb?O复合缺陷和具有正电荷的Pb?O复合缺陷,具有负电荷的Pb?O复合缺陷比具有正电荷的Pb?O复合缺陷更多地存在。
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公开(公告)号:CN102133814B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201110005276.5
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供液体喷头以及液体喷射装置,能够抑制抑制在压电体层产生的裂纹。该液体喷头具备与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)和使上述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300),其中压电元件(300)具备:第1电极(60)、形成在上述第1电极(60)上含有铅、锆、钛的压电体层(70)、和形成在上述压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反一侧的第2电极(80),存在于上述压电体层(70)的上述第2电极(80)侧表面的晶粒(501)间的槽部(502),满足0≤d/ρ≤0.900(d:槽部的深度,w:槽部的宽度,ρ:曲率半径(d2+w2/4)/2d)。
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公开(公告)号:CN101746137B
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN200910252945.1
申请日:2009-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供压电特性或劣化特性优异的液体喷射头及液体喷射装置以及压电致动器。本发明的液体喷射头具备:与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)、压电元件(300),压电元件(300)具备第一电极(60)、形成于该第一电极(60)上的具有以通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、和形成于该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧的第二电极(80),设置如下的压电体层(70),即,在所述压电体层(70)的B位存在有铅,在利用拉曼散射得到的拉曼位移中,A1(3LO)的峰位置为710cm-1~712cm-1。
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公开(公告)号:CN102180012A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201110005307.7
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14233 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置,用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备:与喷嘴开口连通的压力产生室;以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件;所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成,且包括具有负电荷的Pb-O复合缺陷和具有正电荷的Pb-O复合缺陷,具有负电荷的Pb-O复合缺陷比具有正电荷的Pb-O复合缺陷更多地存在。
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公开(公告)号:CN102133814A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN201110005276.5
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供液体喷头以及液体喷射装置,能够抑制抑制在压电体层产生的裂纹。该液体喷头具备与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)和使上述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300),其中压电元件(300)具备:第1电极(60)、形成在上述第1电极(60)上含有铅、锆、钛的压电体层(70)、和形成在上述压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反一侧的第2电极(80),存在于上述压电体层(70)的上述第2电极(80)侧表面的晶粒(501)间的槽部(502),满足0≤d/ρ≤0.900(d:槽部的深度,w:槽部的宽度,ρ:曲率半径(d2+w2/4)/2d)。
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公开(公告)号:CN101746137A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910252945.1
申请日:2009-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供压电特性或劣化特性优异的液体喷射头及液体喷射装置以及压电致动器。本发明的液体喷射头具备:与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)、压电元件(300),压电元件(300)具备第一电极(60)、形成于该第一电极(60)上的具有以通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、和形成于该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧的第二电极(80),设置如下的压电体层(70),即,在所述压电体层(70)的B位存在有铅,在利用拉曼散射得到的拉曼位移中,A1(3LO)的峰位置为710cm-1~712cm-1。
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