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公开(公告)号：CN102639431B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201180004826.X
申请日：2011-06-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/042 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供一种驱动致动器的方法，致动器具有第一电极、由(Bi，Na，Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极，压电体层夹在第一电极与第二电极之间，＋X方向、＋Y方向、＋Z方向分别为[100]方向、[01－1]方向和[011]方向，压电体层优先在＋Z方向取向，通过在第一电极与第二电极之间施加电位差，使致动器驱动。从而抑制致动器驱动时的不必要的变形。
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公开(公告)号：CN103348501A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201380000444.9
申请日：2013-01-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , G01C19/5628 , H01L41/09 , H01L41/107 , H01L41/39
CPC classification number: H02N2/18 , B32B18/00 , B41J2/045 , B41J2/055 , B41J2/14233 , C04B35/462 , C04B35/468 , C04B35/475 , C04B35/50 , C04B2235/3201 , C04B2235/3215 , C04B2235/3227 , C04B2235/3262 , C04B2235/3272 , C04B2235/3279 , C04B2235/3281 , C04B2235/3298 , C04B2235/787 , C23C14/08 , C23C14/3414 , C30B23/02 , C30B29/22 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/316 , H02N2/186 , Y10T428/12667
Abstract: 本发明提供一种具有高结晶取向性、低介质损耗、高极化消失温度、高压电常数以及施加电场与变形量之间的高线性的非铅压电体膜。本发明是具备以下部分的压电体膜。本发明的压电体膜包括：仅具有（001）面取向的NaxLa1-x+yNyO3-x层；和仅具有（001）面取向的（1-α）（Bi，Na，Ba）TiO3-αBiQO3层。上述（1-α）（Bi，Na，Ba）TiO3-αBiQO3层形成在上述NaxLa1-x+yNi1-yO3-x层上。Q表示Fe、Co、Zn0.5Ti0.5或者Mg0.5Ti0.5。x表示0.01以上0.05以下的值。y表示0.05以上0.20以下的值。α表示0.20以上0.50以下的值。
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公开(公告)号：CN103053039B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201280002260.1
申请日：2012-01-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/14 , H01L41/314
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01C19/5621 , H01L41/0815 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 本发明的压电体膜依次层叠有：仅具有(110)取向的第一电极、仅具有(110)取向的(NaxBi0.5)TiO0.5x+2.75－BaTiO3层、仅具有(110)取向的(Bi,Na)TiO3－BaTiO3层和第二电极，其中x的值是0.29以上0.40以下。本发明的目的在于提供具有更高的结晶取向性、更高的压电常数和更高的强介电特性的BNT-BT压电体膜。
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公开(公告)号：CN103443946B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380000872.1
申请日：2013-02-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/045 , B41J2/055 , G01C19/5607 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/39
CPC classification number: H01L41/1871 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , G01C19/56 , G01C19/5769 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/081 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有高的结晶取向性和高的强介电特性的NBT-BT无铅压电体膜。本发明的压电体膜具备NaxM1-x层和（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层。（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层形成在NaxM1-x层上，M表示Pt、Ir或PtIr，x表示0.002以上0.02以下的值，NaxM1-x层和（Bi，Na）TiO3-BaTiO3层均仅具有（001）取向、仅具有（110）取向或仅具有（111）取向。
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公开(公告)号：CN102640315B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201180004799.6
申请日：2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/14 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14032 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/316
Abstract: 本发明的压电体膜具备具有（001）取向的NaxLa1-xNiO3－x层和具有（001）取向的(Na,Bi)TiO3－BaTiO3层，x为0.01以上0.1以下，NaxLa1-xNiO3-x（0.01≤x≤0.1）层和(Na,Bi)TiO3－BaTiO3层被叠层。本发明的目的在于提供一种含有无铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能的压电体膜及其制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102844900A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180019117.9
申请日：2011-06-28
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/18 , H01L41/187 , G01C19/5733 , B41J2/045 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/22
CPC classification number: G01P15/09 , B41J2/14233 , B41J2002/14258 , G01C19/56 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/1878 , H01L41/316
Abstract: 本发明的目的是提供一种具有钙钛矿型复合氧化物(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3层、能够测定准确的角速度的角速度传感器、能够排出准确的量的墨水的喷墨头和能够利用正压电效应发电的压电发电元件。在本发明中，使用具备第一电极、压电体层和第二电极的压电体膜，第一电极具备具有(001)取向的电极层，压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3（0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62）层。
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公开(公告)号：CN102639431A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201180004826.X
申请日：2011-06-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/042 , H01L41/187 , H01L41/316
Abstract: 本发明提供一种驱动致动器的方法，致动器具有第一电极、由(Bi，Na，Ba)TiO3构成的压电体层和第二电极，压电体层夹在第一电极与第二电极之间，＋X方向、＋Y方向、＋Z方向分别为[100]方向、[01－1]方向和[011]方向，压电体层优先在＋Z方向取向，通过在第一电极与第二电极之间施加电位差，使致动器驱动。从而抑制致动器驱动时的不必要的变形。
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公开(公告)号：CN102859736B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201180019166.2
申请日：2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , H01L41/113 , B41J2/14 , C01G23/00 , C01G29/00 , C23C14/02 , C23C14/08 , G01C19/5607
CPC classification number: C01G23/006 , B41J2/14274 , C01G29/006 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2002/72 , C01P2006/32 , C01P2006/40 , C23C14/0021 , C23C14/025 , C23C14/088 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/1871
Abstract: 本发明的目的在于提供含有非铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT相同的高压电性能的压电体膜及其制造方法。本发明的压电体膜具备具有(111)取向的(NaxBiy)TiO0.5x+1.5y+2－BaTiO3层（0.30≤x≤0.46且0.51≤y≤0.62）。
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公开(公告)号：CN102640315A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201180004799.6
申请日：2011-06-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/187 , B41J2/14 , H01L41/09 , H01L41/113
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14032 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1136 , H01L41/316
Abstract: 本发明的压电体膜具备具有（001）取向的NaxLa1-xNiO3－x层和具有（001）取向的(Na,Bi)TiO3－BaTiO3层，x为0.01以上0.1以下，NaxLa1-xNiO3-x（0.01≤x≤0.1）层和(Na,Bi)TiO3－BaTiO3层被叠层。本发明的目的在于提供一种含有无铅强介电材料、具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能的压电体膜及其制造方法。
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公开(公告)号：CN103329297B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180037811.3
申请日：2011-11-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/314 , B41J2/14 , G01C19/5621
CPC classification number: H01L41/183 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2202/03 , C30B29/32 , C30B29/68 , G01C19/5621 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/1136 , H01L41/187 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H01L41/314
Abstract: 本发明的目的在于提供一种非铅压电体薄膜及其制造方法，所述非铅压电体薄膜含有非铅强介电材料并且具有低介电损失和与PZT同样的高压电性能。本发明的压电体薄膜具有层叠结构，层叠结构具有电极膜和具有斜方晶结构的（1-x）（Na，Bi）TiO3-xBaTiO3膜（x表示0.03以上0.15以下的值）。
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