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公开(公告)号：CN118494020A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410175482.8
申请日：2024-02-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种即使反复驱动也抑制了液体喷射特性发生劣化的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备：基板，其形成有多个与喷射液体的喷嘴连通的压力室；振动板，其被设置在基板的一面侧；压电致动器，其具有从振动板侧起在第一方向上层叠的第一电极、压电体层以及第二电极，在将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分设为活性部，将压电致动器中的沿第一方向观察时与压力室重叠并且第一电极、压电体层以及第二电极不重叠的部分设为非活性部时，压电体层在活性部与非活性部之间连续地设置，非活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径大于活性部中形成压电体层的压电体的结晶粒径。
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公开(公告)号：CN113442587B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202110312033.X
申请日：2021-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 板山泰裕
Abstract: 本发明提供一种适当地填充压电体层表面的空穴的压电元件以及液滴喷出头。该压电元件(300)具备：基板(110)；第一电极(160)，其被形成在基板(110)的第一方向的第一基板面(110a)上；第一压电体层(171)，其被形成在第一电极(160)上，且具有沿着第一基板面(110a)的平面部分(170b)和相对于平面部分(170b)倾斜的倾斜面部分(170a)；第二压电体层(172)，其被形成在倾斜面部分(170a)上，且与第一压电体层(171)的平面部分(170b)的厚度(L1)相比较薄；第二电极(180)，其至少被形成在平面部分(170b)上。
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公开(公告)号：CN116890533A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310318683.4
申请日：2023-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及液滴喷出头、打印机。提供即便在高频驱动时也能够抑制异常喷出的液滴喷出头。一种液滴喷出头，具备：喷嘴板，具有喷嘴；压力室形成基板，具有压力室；振动板；以及压电元件，包含钾、钠以及铌，并形成在振动板上。压电元件具有第一电极及第二电极和位于第一电极与第二电极之间的压电体层。压电体层、第一电极及第二电极的厚度的合计比振动板的厚度大。将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积膨胀的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值为将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积收缩的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值的2倍以上。
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公开(公告)号：CN116782744A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310237641.8
申请日：2023-03-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备：紧贴层(445)，其被形成在振动板(36)上，并包含钛；下部电极(441)，其被形成在紧贴层(445)上；扩散抑制层(447)，其被形成在下部电极(441)上，并包含铱；种子层(442)，其被形成在扩散抑制层(447)上，并包含铋；压电体层(443)，其被形成在种子层(442)上，并包含钾、钠、铌；上部电极(444)，其被形成在压电体层(443)上。
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公开(公告)号：CN113442587A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110312033.X
申请日：2021-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 板山泰裕
Abstract: 本发明提供一种适当地填充压电体层表面的空穴的压电元件以及液滴喷出头。该压电元件(300)具备：基板(110)；第一电极(160)，其被形成在基板(110)的第一方向的第一基板面(110a)上；第一压电体层(171)，其被形成在第一电极(160)上，且具有沿着第一基板面(110a)的平面部分(170b)和相对于平面部分(170b)倾斜的倾斜面部分(170a)；第二压电体层(172)，其被形成在倾斜面部分(170a)上，且与第一压电体层(171)的平面部分(170b)的厚度(L1)相比较薄；第二电极(180)，其至少被形成在平面部分(170b)上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106103100B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201580013130.1
申请日：2015-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/0603 , B06B1/0644 , B41J2/04581 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1875 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 一种压电元件，其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构，并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向，并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。
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公开(公告)号：CN116896969A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310303947.9
申请日：2023-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够对裂纹的产生进行抑制的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板，其包含硅；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被形成在压电体层上，在基板与压电体层之间配置有包含绝缘材料的第一扩散抑制层，压电体层在第一区域、第二区域以及第三区域上被连续地形成，其中，所述第一区域为第一电极的表面，所述第二区域为第一扩散抑制层的表面，所述第三区域为基板的表面，第三区域被配置在第一区域与第二区域之间。
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公开(公告)号：CN113696632A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110538520.8
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。
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公开(公告)号：CN111823714A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010300803.4
申请日：2020-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动板的位移量较大的液体喷出头以及打印机。液体喷出头包括：喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；振动板，其被设置于所述硅基板上；压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包括含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。
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公开(公告)号：CN107949480B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201680050676.9
申请日：2016-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/319
Abstract: 提供了一种压电装置，包括：基板(10)，所述基板上设置有多个凹部(12)；振动板(50)，其设置在所述基板的一个表面侧；和压电元件(300)，其设置在所述振动板(50)上方，并且在所述压电元件上自基板(10)侧层叠有第一电极(60)、压电层(70)以及第二电极(80)，其中所述第一电极(60)形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部(12)的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层(70)延伸到所述第一电极(60)的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层(70)具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部(12)在所述并排设置方向上的宽度小，所述振动板(50)含有氧化锆层(52)，并且当氧化锆层(52)的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域(p)，氧化锆层(52)的与所述压电层(70)设置在所述第一区域(p)的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域(q)，并且氧化锆层(52)的与在所述第二区域(q)的所述并排设置方向的外侧的凹部(12)相对应的区域被设定为第三区域(r)时，所述氧化锆层(52)在所述第一区域(p)中在厚度方向的至少第一电极(60)侧含有粒状晶体，并且在所述第三区域(r)中含有柱状晶体。
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