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公开(公告)号：CN116782744A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310237641.8
申请日：2023-03-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备：紧贴层(445)，其被形成在振动板(36)上，并包含钛；下部电极(441)，其被形成在紧贴层(445)上；扩散抑制层(447)，其被形成在下部电极(441)上，并包含铱；种子层(442)，其被形成在扩散抑制层(447)上，并包含铋；压电体层(443)，其被形成在种子层(442)上，并包含钾、钠、铌；上部电极(444)，其被形成在压电体层(443)上。
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公开(公告)号：CN116896969A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310303947.9
申请日：2023-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够对裂纹的产生进行抑制的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板，其包含硅；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被形成在压电体层上，在基板与压电体层之间配置有包含绝缘材料的第一扩散抑制层，压电体层在第一区域、第二区域以及第三区域上被连续地形成，其中，所述第一区域为第一电极的表面，所述第二区域为第一扩散抑制层的表面，所述第三区域为基板的表面，第三区域被配置在第一区域与第二区域之间。
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公开(公告)号：CN118632611A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410241819.0
申请日：2024-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/80 , B81B7/02
Abstract: 本发明提供一种能够提高振动板的位移量的压电元件应用器件。本发明的压电元件应用器件具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在振动板的上方；种子层，其形成在第一电极以及振动板的上方；压电体层，其形成在种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在压电体层上，振动板还包含钾和钠，在振动板以及压电体层的二次离子质谱分析中，振动板中的钾的强度低于压电体层中的钾的强度，振动板中的钠的强度低于压电体层中的钠的强度。
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公开(公告)号：CN118632610A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410254181.4
申请日：2024-03-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/05 , H10N30/50 , H10N30/853
Abstract: 本发明提供一种能够降低翘曲量的压电基板的制造方法以及压电基板。本发明的压电基板的制造方法具有：第一成膜工序，其在基板上对第一电极进行成膜；第二成膜工序，其在所述第一电极上对种子层进行成膜；加工工序，其将所述种子层的至少一部分去除或者改性；第三成膜工序，其在所述种子层以及所述第一电极上，对包含钾、钠、铌的压电体层进行成膜，所述基板具有应力缓和区域，在所述加工工序中，将与所述应力缓和区域相对应的所述种子层去除或者改性。
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公开(公告)号：CN116981339A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310446605.2
申请日：2023-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够对第一电极的端部的剥离进行抑制的压电元件以及液滴喷出头。本发明的压电元件具备：基板；第一紧贴层，其被形成在基板之上，且包含钛；至少一层以上的第二紧贴层，其被形成在基板之上，且包含氧化钛；第一电极，其被形成在第一紧贴层以及第二紧贴层之上；种子层，其被形成在第一电极以及基板之上，且包含钛；压电体层，其被形成在种子层之上；第二电极，其被形成在压电体层之上，其中，第一电极的端部的至少一部分被形成在第二紧贴层之上。
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